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含金属材料的气相蚀刻
所公开和要求保护的主题涉及用于进行金属(包括Ti、Co、Ni、Cu、Mo、Ru、Ta和/或W)及其化合物(如氧化物、氢氧化物、羟基氧化物、碳酸盐、碳化物、氟化物或氯化物)的选择性热气相蚀刻的方法,其不需要使用等离子体或卤化的挥发剂。
半导体器件处理用组合物、修饰基板的制造方法
本发明提供一种半导体器件处理用组合物及使用上述半导体器件处理用组合物的修饰基板的制造方法,上述半导体器件处理用组合物在与具有包含金属原子的第1表面及不包含金属原子的第2表面的基板接触时,能够优先在第1表面形成被膜,并且在保存后也能够优先在第...
膜形成用组合物、基板的制造方法及膜形成用组合物的制造方法
本公开的膜形成用组合物为用以形成拒水性膜的膜形成用组合物,包含(I)甲硅烷基化剂、(II)含氯甲硅烷基酯化合物与(III)非质子性溶剂。
清洗液、清洗方法以及半导体元件的制造方法
本发明提供能够有效地去除附着于被清洗物的磨粒和有机成分的清洗液、使用该清洗液的清洗方法以及半导体元件的制造方法。一种用于去除磨粒的清洗液,其包含具有酸性基团的氟聚合物和水。
闪光灯
一种闪光灯(1),其具备:灯壳体(2),其封入有非活性气体且被密封;阴极(20)及阳极(30),产生电弧放电;触发电极(40),其在电弧放电之前进行预备放电;以及多个火花件(60、70),促进用于电弧放电启动的离子化。多个火花件(60、70...
基于平流的烧蚀材料输送
在一些例子中,一种设备可以包括平流流动结构,所述平流流动结构包括用以通过气体流经由平流将烧蚀样品从烧蚀区域输送至电离区域的通路。
快速调谐射频(RF)匹配网路
一些实施例涉及一种调谐电路。调谐电路通常包括:第一阻抗;第二阻抗,耦合到第一阻抗;变压器,具有初级绕组及磁性耦合到初级绕组的次级绕组,其中初级绕组耦合到调谐电路的控制输入;以及信号路径,与第一阻抗或第二阻抗并联耦合,其中次级绕组系与第一阻抗...
远程等离子体源和具有所述远程等离子体源的等离子体处理腔室
提供了用于远程等离子体源使用点的方法和设备。在实施例中,远程等离子体设备包括:壳体,所述壳体围绕空腔;第一导体,所述第一导体围绕所述壳体的第一部分;第二导体,所述第二导体围绕所述壳体的第二部分,其中所述壳体的所述第一部分与所述壳体的所述第二...
补偿扫描带电粒子光学装置的收集变化
一种用于用带电粒子扫描样品并且检测从样品发射的信号带电粒子的带电粒子光学装置,带电粒子光学装置包括:带电粒子光学设备,被配置为将带电粒子束引导到样品的视场上;包括多个检测器元件的检测器,检测器元件被配置为检测从视场内的相应位置发射的信号带电...
柱体、处理装置及方法
一种用于分析和/或处理样品(10)的柱体(102),该样品为例如用于光刻设备的掩模,该柱体包含粒子源(104),其配置成沿第一方向(R1)将粒子束(106)发射到该样品(10)上;检测器装置(214、216),其配置成检测沿与第一方向(Rl...
保险丝单元及保险丝单元的制造方法
保险丝单元(10)具备:与对象部件电连接的第一端子(20);与布线部件直接或间接地电连接的第二端子(30);覆盖第一端子(20)的一部分和第二端子(30)的一部分的树脂部(40);及芯片保险丝(50),树脂部(40)维持第一端子(20)与第...
数字传感器和监控系统,用于使用集成在开关设备的线路或负载、主电流路径中的罗氏线圈和电容式分压器类设备来进行开关设备的保护、监控和控制
一种用于保护、控制和监控电中程范围开关设备的设备,该设备包括对嵌入在开关设备的瓶内的罗氏线圈的使用,并且瓶环绕主电源的电压和电流的流动,电容式或类似的分压器也同样围绕主电源并延伸至瓶周围,并且从这些设备中提供模拟信号至集成电路,用于转换成数...
弹簧片和弹簧片布置
本发明涉及一种弹簧片(10),用于使多个位于第一平面中、相互绝缘的触点(20)分别电接触,其中,弹簧片(10)具有:支撑体(11),用于支撑在位于第一平面中的表面上;与支撑体(11)连接的变形体(12);以及多个布置在变形体(12)上、与支...
电子部件
本公开提供一种电子部件,能够抑制迁移等不良情况的产生。电子部件(1)具备:绝缘体(3),层叠了多个绝缘基板,上述多个绝缘基板分别包含侧面电极(21)~(24)以及内部电极(11)~(14);以及外部电极(41)~(44),与侧面电极(21)...
电抗器、转换器以及电力变换装置
一种电抗器,具备:线圈;和磁芯,具有配置于所述线圈的内侧的内侧芯部和配置于所述线圈的外侧的外侧芯部,所述内侧芯部具有:第一芯部和第二芯部,在沿着所述线圈的轴的X方向上排列配置;间隙板,配置于所述第一芯部与所述第二芯部之间;以及连结芯部,连接...
电感器
本公开提供不被线圈导体的剖面尺寸限制,而具有直流电阻较低的良好的电特性的电感器。本公开中的电感器具备:线圈导体,具有卷绕了与导线的长边方向正交的剖面大致呈长方形的平角状的导线的卷绕部、和从卷绕部引出的一对引出部;坯体,含有磁性粉和树脂,且内...
感应式构件和用于制造感应式构件的方法
本发明涉及感应式构件,所述感应式构件具有线圈式绕组、由能够导磁的材料制成的底板以及用于SMT组装(Surface Mounted Technology,表面贴装技术)的在底板的下侧上的至少两个能够导电的连接面,其中所述线圈式绕组被构造为平坦...
线圈基板、马达用线圈基板以及马达
提供线圈基板、马达用线圈基板以及马达,能够降低布线电阻、涡电流的影响。实施方式的线圈基板包含具有第一面和第二面的树脂基板以及形成于所述树脂基板的第一面和第二面的线圈布线。所述线圈布线由第一导体层和追加镀覆层构成,所述第一导体层由金属箔层、形...
电解质组合物和电池
本公开提供一种电解质组合物,其为包含具有传导碱金属离子的能力的聚合物和有机溶剂的电解质组合物,电解质组合物中所含的有机溶剂的整体的供体数为16.5以上,[数学式1] 式中,n为电解质组合物中所含的有机溶剂的总数,并且为1以上,DNi为第i个...
用于燃料通道检测的涡流装置及方法
用于燃料通道的涡流检测的装置及方法。涡流检测装置包含围绕非旋转部分的外周定位的涡流传感器阵列。将该装置插入压力管的内部中,涡流传感器的有源线圈以激活模式驱动,并且以采集模式从涡流传感器的参考线圈采集数据。涡流传感器的相对放置、每个涡流传感器...
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