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  • 本申请涉及半导体技术领域,提供了一种扫描电子显微镜的放大倍率校准方法。该方法包括:在TEM成像模式下,确定TEM样品的关键结构的TEM测量数据,所述TEM样品为已知工艺结构尺寸或具有清晰晶格条纹的TEM样品;在SEM成像模式下,确定所述TE...
  • 本申请提供一种金属间化合物的检测方法,涉及材料检测技术领域。该金属间化合物的检测方法包括:对待测样品进行加热,以使待测样品中的金属间化合物充分生长;将加热后的待测样品放入腐蚀液中腐蚀直至金属间化合物露出,其中,腐蚀液的温度为50°~80°;...
  • 本发明提供一种基于表面形貌特征与电导率联合分析的汽车板硅烷电泳膜完整性评估方法,包括:将样品进行硅烷化处理;样品置于低真空SEM样品台上,无需金属镀膜;SEM形貌分析;统计SEM图像中空洞区域的占比;采用四探针电导率测试方法对样品进行电导率...
  • 本申请公开了一种电芯化成工艺参数确定方法、装置、介质、设备,所述方法包括:获取第一电芯的特征参数;根据各个所述基本组成单元的第一尺寸确定用于表征所述固体电解质膜的均匀性的第一参数,并根据各个所述间隙的第二尺寸和数量确定用于表征所述固体电解质...
  • 本发明涉及试验与测试技术领域,尤其涉及一种非金属薄膜厚度的检测方法,包括以下步骤:S1、制备微米孔标尺;S2、将所述微米孔标尺与溅射非金属薄膜的试样共同置于扫描电镜的样品座中;S3、利用扫描电镜在第一高压下对微米孔进行扫描,确定荷电效应消失...
  • 本发明涉及试验与测试技术领域,尤其涉及一种用于GH3030合金贫铬层深度的检测方法、零件质量评估方法。检测方法步骤包括:S1、制备试样:切取GH3030合金试样,经镶嵌、磨抛、清洗及烘干处理;S2、扫描电镜观测:将试样置于扫描电镜中,设定电...
  • 本发明涉及聚焦离子束FIB和扫描电子显微镜SEM技术领域,具体公开了一种在双束电镜内实现微区XRF的分析方法与系统,该方法包括以下步骤:利用聚焦离子束对目标靶材进行减材加工,形成X射线激发探针;将X射线激发探针精确定位到分析位置,并调整X射...
  • 本发明公开了一种扫描电镜全自动微波快速制样装置,包括微波发生模块、样品处理模块、液体输送模块和温度控制模块,微波发生模块包括屏蔽罩和磁控管,磁控管安装在屏蔽罩内部,用于产生微波。样品处理模块由样品室和分液器组成,样品室和分液器均安装于微波炉...
  • 本发明公开了一种基于伴随粒子的鬼成像系统,属于量子成像与粒子探测交叉技术领域,旨在解决传统粒子成像系统成本高、精度有限、架构复杂的问题。系统包括中子源、桶式探测器、高精度α粒子探测器阵列及数据处理与重建单元;中子源优选D‑T中子源,发射中子...
  • 本发明提供了一种三维中子衍射的取向与应变场重构方法、系统、介质及设备,包括:步骤S1:根据三维中子衍射技术原理,连续转动欧拉环旋转角对材料样品进行扫描,获得三维衍射数据;其中,, 为探测器坐标,为欧拉环旋转角;步骤S2:基于三维衍射数据明确...
  • 本发明属于半导体材料的测试与表征技术领域,具体涉及一种半导体材料基平面位错的无损表征方法。包括步骤:制备待检测的半导体材料,根据其BPD的柏氏矢量选择衍射几何,使衍射几何与所述柏氏矢量的点乘结果不为0;使用X射线形貌系统,根据衍射几何计算对...
  • 本发明公开了一种碳化硅材料穿透性刃型位错无损表征方法,属于半导体材料位错缺陷表征技术领域。本发明所提供的无损表征方法如下:S1、选定=作为衍射矢量,基于布拉格衍射原理,计算出基于X射线形貌检测系统的测试参数;S2、根据计算出的测试参数进行初...
  • 本发明公开了一种基于磁畴运动特性的铁磁性金属材料再结晶率快速表征方法,首先,制备样品;其次,获取铁磁性金属材料的特征微观组织结构‑再结晶率;然后,基于多磁检测设备对铁磁性金属材料进行电磁无损检测,获取表征磁畴可逆和不可逆运动的电磁信号,同时...
  • 本发明公开了一种基于磁畴运动特性的铁磁性金属材料平均晶粒尺寸表征方法,首先,制备用于EBSD方法材料表征和多磁检测设备检测的样品;其次,基于EBSD方法材料表征对样品的平均晶粒尺寸进行量化表征;然后,基于多磁检测设备对铁磁性金属材料进行电磁...
  • 本发明公开了一种铁磁性金属材料的特征微观组织结构表征方法,制备样品;基于EBSD材料表征方法,对铁磁性金属材料的微观组织结构进行量化表征,得出铁磁性金属材料的特征微观组织结构;基于多磁检测设备,对铁磁性金属材料进行电磁无损检测获取表征磁畴可...
  • 本发明公开一种多层复合自愈合建筑防水卷材检测方法及系统。所述多层复合自愈合建筑防水卷材检测方法包括:S10:建立多层复合自愈合防水卷材的初始结构健康模型;S20:基于初始健康模型实施机械损伤并记录损伤参数;S30:根据损伤参数计算损伤闭合率...
  • 本发明涉及X射线三维成像技术领域,具体的是一种低震动高稳定性的亚微米CT冷冻三维成像装置,本发明包括原位装置底座、杜瓦瓶、支架盘、空心紫铜管、紫铜束、样品夹具中空柱、可调式样品夹具、高透成像区模块、保温活动盖及温度监测系统,所述杜瓦瓶置于原...
  • 一种基于稀土钢轨微观组织差异的早期疲劳伤损检测识别方法,使用高灵敏度超声波探头对钢轨疑似疲劳伤损区域进行三维定位;对疑似区域切割取样,于轨底开3mm槽后使用压力机实施断裂,使裂纹源区充分暴露;对试样断口进行高倍率扫描观察,分析夹杂物类型,区...
  • 本发明实施例提供一种评价致密砂岩气藏酸化解堵液的方法及装置,该方法包括:获取目标岩心的第一三维扫描数据;通过待测酸化解堵液对所述目标岩心进行酸化解堵,获取所述酸化解堵后目标岩心的第二三维扫描数据;根据所述第一三维扫描数据和第二三维扫描数据评...
  • 本发明实施例涉及成像检测技术领域,尤其是涉及一种元件照射剂量预测方法、成像系统及存储介质,预测方法应用于成像系统,成像系统包括射线源和探测器。本发明实施例通过获取关注元件在射线源照射下的实测剂量,拟合射线源的照射强度分布与实测剂量,得到射线...
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