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  • 本发明公开了一种气体供应装置、薄膜生长设备及薄膜生长方法。气体供应装置包括:远程等离子体源,用于将反应气体至少部分地解离为等离子体;磁偏转筛选器,其与所述远程等离子体源的出口连通,用于对所述等离子体进行筛选,输出选定元素的带电粒子。通过气体...
  • 本发明公开了一种甲基碘化胺薄膜的制备方法和MAPbI3钙钛矿薄膜的制备方法,属于电池技术领域。所述甲基碘化胺薄膜的制备方法,包括以下步骤:依次将甲胺和氢碘酸进行原子层沉积并重复得到甲基碘化胺薄膜。所述制备方法首次通过原子层沉积(ALD)方法...
  • 本发明公开了一种喷淋盘冷却结构及半导体设备,喷淋盘冷却结构包括喷淋盘主体、连接件和接触面积调节组件,接触面积调节组件与连接件连接,用于通过调节与连接件的接触面积来动态调节喷淋盘主体的冷却效率。本发明通过引入接触面积调节组件,提供了一种动态调...
  • 本发明提供了一种喷淋板及一种薄膜沉积设备。所述喷淋板包括:喷淋板本体,由透明的耐高温材料制成,并包括中空的第一混气腔,其中,所述第一混气腔的下表面设有多个喷淋孔;以及热辐射光源,环绕所述喷淋板本体,并透过所述喷淋板本体向所述第一混气腔提供热...
  • 本申请涉及光伏和半导体技术领域,尤其涉及一种镀膜设备,包括:反应腔体,具有反应腔室,反应腔室内设置有多个气氛区,多个气氛区绕所反应腔室的中心间隔布置;盖体,设置于反应腔体上方,用于闭合反应腔体以形成反应腔室,盖体设有多个进气孔;硅片载板,可...
  • 本申请提供了一种制备低介电常数薄膜的方法和半导体结构。该方法包括:在等离子体环境下向基板表面提供混合物,混合物包括烷基硅氧烷前驱体和致孔剂,混合物用于在基板表面生成薄膜,混合物具有第一供应参数;向基板表面提供含氧气体,含氧气体具有第二供应参...
  • 本发明公开了一种薄膜沉积设备和调机方法。该薄膜沉积设备包括设于反应腔内的上电极和下电极,用于生成等离子体。所述薄膜沉积设备还包括:侧电极,设于所述反应腔内的晶圆的侧上方,且与所述上电极绝缘隔离,用于向所述晶圆上表面的边缘位置提供第一射频电压...
  • 本发明提供用于CVD化学气相沉积设备的温度控制方法及系统,涉及温度控制技术领域,该方法在完成薄膜沉积后,采集并分析基底与薄膜的热动力学特征,确定并优化初始降温约束条件;其次,生成自适应的降温过渡曲线,指导CVD设备实现精准温度控制,并实时监...
  • 本发明公开了用于MOCVD设备的智能温度控制方法及系统,属于温度控制技术领域,包括:获取MOCVD设备的反应室壁温辐射干扰判定指数,进行反应室壁温辐射干扰分析,判定反应室内壁辐射的慢耦合增热存在性,在存在反应室内壁辐射的慢耦合增热时,基于边...
  • 本发明公开了基于化学镀覆的金属表面聚瓷涂层一体化方法,涉及化学镀覆技术领域;包括以下步骤:对金属基材依次进行碱性除油、针对性除锈处理;采用脉冲式氩气-氧气等离子体处理,其中气体体积比为3 : 1,脉冲频率为80kHz,占空比为40%,功率为...
  • 本发明公开了一种锌镍合金钝化液及其制备方法,包括如下步骤:将KCr(SO4)2和草酸在第一温度的去离子水中搅拌溶解,降温至第二温度后,加入Co(NO3)2搅拌溶解,得到A剂;将丙氨酸溶解于去离子水中,在搅拌条件下加入HNO3,然后加入NaN...
  • 本发明提供了一种镀锌钢材钝化液及其制备方法和应用,属于镀锌表面处理技术领域。镀锌钢材钝化液包括以下质量分数的组分:水性丙烯酸树脂35~50%、新癸酸10~15%、蜡乳液3~8%、助溶剂5~10%、表面活性剂0.5~2%、pH调节剂1~3%、...
  • 本发明的具备膜层自修复功能锈转化剂是由自组装微胶囊颗粒、磷酸、乙酸、乳液、水以及各助剂复配后纯化所得,所述自组装微胶囊颗粒由两亲性嵌段共聚物负载缓蚀剂,进行胶束自组装后,再经过交联固化得到,可以响应机械损伤或pH变化释放修复剂,从而延长产品...
  • 本发明公开了一种盾构滚刀涂层激光‑超声复合强化机构及其连续成形方法,该复合强化机构包括盾构滚刀、微钉锤单元、浆料涂敷单元、预热固定单元、线激光烧结单元和超声滚压单元;该方法通过盾构滚刀的旋转,将其表面依次进行微钉锤、浆料涂敷、预热固定、激光...
  • 本申请公开了一种金属表面合金化的改性方法,属于金属表面加工技术领域,包括采用脉冲激光灼烧方式,在金属的表面制备微米级微孔阵列,获得待加工金属表面;将用于表面合金化的原料粉末填充于微孔阵列的孔内;采用激光扫描方式熔融微孔阵列的区域,激光扫描的...
  • 本发明属于激光熔覆制备耐磨涂层领域,公开了钨包覆碳化钨壳核粉体在抑制涂层开裂和气孔中的应用。钨包覆碳化钨壳核粉体在激光熔覆制备碳化钨金属陶瓷涂层抑制涂层开裂和气孔中的应用,钨包覆碳化钨壳核粉体是以碳化钨为核、金属钨为壳的壳核结构粉末。本发明...
  • 本发明提供一种助卷辊的激光熔覆再制造方法,具体包括以下步骤:(1)助卷辊预处理:对助卷辊的辊面依次进行车削和清洗;(2)熔覆材料的的选用:在助卷辊基体外依次制备过渡层和耐磨层;过渡层采用的熔覆材料选用低硬度合金粉末;耐磨层采用的熔覆材料选用...
  • 本发明提供一种表面改性的镁合金制备方法,涉及合金制备技术领域,包括称取镁合金基体表面熔覆材料,球磨,得到球磨物料;对镁合金基材进行表面预热;对预热后的镁合金基材表面依次进行打磨、清洗和干燥处理;将得到的涂覆物料采用冷喷涂工艺涂覆在干燥后的镁...
  • 本发明公开了一种航空发动机叶片表面缺陷的分层轮廓提取及分区域修复方法。本发明的方法包括:通过对STL缺陷模型进行分层,提取每层切片外轮廓;选择最佳激光熔覆修复工艺参数,根据熔覆宽度对外轮廓进行熔覆;通过对外轮廓熔覆后,将剩余未熔覆区域与叶片...
  • 本发明公开了一种用于槽式集热器旋转轴表面的防腐耐磨涂层制备方法,包括以下具体步骤:S1对基材表面进行除锈去污处理;S2对喷涂粉末进行真空烘干预处理,其中,喷涂粉末为铁基合金粉末,所述铁基合金粉末中各组分的质量分数为:C:0.15%‑0.2%...
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