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  • 本发明提供一种静电吸盘及等离子体处理装置,所述静电吸盘包括:第一绝缘层,其上设置有若干个贯穿所述第一绝缘层的冷却孔;底座组件,其设置在第一绝缘层的下方用于支撑所述第一绝缘层;若干个冷却通道,其贯穿所述底座组件设置,分别与对应的所述冷却孔连通...
  • 本申请公开了一种应用于半导体工艺设备的起辉控制方法及半导体工艺设备,该起辉控制方法包括:在电源开启之前,屏蔽硬件软互锁报警,硬件软互锁报警包括:在检测到目标硬件的状态信号为异常时,中止起辉过程;目标硬件包括半导体工艺设备中参与起辉过程的硬件...
  • 本发明公开了一种外延方法及设备,外延方法包括:提供III族卤化物和第一卤化物气体;混合所述第一卤化物气体和所述III族卤化物,得到混合气体;将所述混合气体通入反应区域,与含V族元素气体在衬底上反应形成外延层;其中,在混合所述第一卤化物气体和...
  • 本发明提供了一种适用于等离子体激活中抑制芯片表面颗粒的方法。本发明的适用于等离子体激活中抑制芯片表面颗粒的方法,包括如下步骤:S1:将晶圆抛光、减薄后划切成芯片,将芯片重构在蓝膜上;S2:将掩膜版置于蓝膜上方,掩膜版具有用于暴露芯片并且遮挡...
  • 本发明提供了一种适用于混合键合中芯片表面颗粒控制的方法。本发明的方法包括如下步骤:S1:将晶圆切割成芯片,将芯片间隔粘贴在蓝膜上;S2:将蓝膜及芯片置于激光下,对芯片之间的蓝膜进行照射改性;S3:采用化学药液对照射改性后的蓝膜及芯片进行湿法...
  • 本申请实施例公开了一种混合键合方法和半导体器件,混合键合方法先将芯片设置在蓝膜上,而后通过UV光对蓝膜进行固化,之后在对芯片进行活化,最后在将芯片与晶圆键合,如此设置通过UV光对蓝膜进行固化可以抑制等离子体激活过程中的颗粒,避免产生大量颗粒...
  • 本申请公开了一种制造装置与制造方法以及其所制成的半导体器件与其制作方法。所述制造装置包括:对器件进行制造工艺操作的处理腔;以及,根据所述器件的历史制造参数设定所述处理腔的初始操作温度的处理腔参数设定器,且所述历史制造参数包括两个所述器件的历...
  • 本申请实施例提供了一种冷却座、承载装置及半导体工艺设备,涉及冷却座调温技术领域,其中,所述冷却座包括:座体和多个调节件;座体设有冷却流道,冷却流道包括入口和出口,冷却介质能够经入口进入冷却流道,流经冷却流道的冷却介质能够从出口流出;调节件包...
  • 本发明的实施例提供一种导电结构及其形成方法,且该导电结构包括导电特征层、介电层、第一导线部件及覆盖层。导电特征层设置于基板上。介电层位于导电特征层上。第一导线部件位于介电层中,且包括第一导电层、第一阻挡层及第一覆盖件。第一阻挡层包覆第一导电...
  • 本申请涉及一种多孔负极材料及其制备方法、负极极片、二次电池和用电装置,多孔负极材料包括具有内部孔结构的二次颗粒,二次颗粒包含多个一次颗粒,一次颗粒包含碳基材料,相邻一次颗粒之间填充有多孔硬碳,二次颗粒包含的多孔硬碳形成网状结构,多孔负极材料...
  • 本申请提供了一种制备正极材料的方法、正极材料、正极极片、电池及用电装置。本申请方法包括:将前驱体与磷源在溶剂中混合,干燥,烧结,得到中间产物;其中,所述前驱体包括含有或不含有掺杂元素的磷酸锰铁锂,所述掺杂元素包括ⅡA族元素、ⅢA族元素、ⅣA...
  • 本申请公开了一种正极活性材料及其制备方法、正极极片、电池和用电装置,所述正极活性材料包括正极活性材料本体和形成在所述正极活性材料本体至少部分表面的包覆层,所述包覆层包括CeaZrbLc<...
  • 本申请提供了一种正极材料及其制备方法、正极极片、电池和用电装置。该正极材料包括基体和包覆在所述基体表面的包覆层;所述基体包括锂过渡金属氧化物;所述包覆层包括CaxAy(PO4...
  • 本申请公开了正极活性材料及其制备方法、正极极片及钠二次电池和用电装置。所述正极活性材料满足化学式NaxMnyM1zO2+δ,其中,0.8<x≤1,...
  • 本申请公开了正极活性材料及其制备方法、正极极片、电池和用电装置。该正极活性材料包括钠锰氧化物,钠锰氧化物包括第一相和第二相,第一相包括依次交替的第一钠离子层和第一过渡金属层,第一相中相邻的两个第一过渡金属层在垂直于(001)晶面方向上的层间...
  • 本申请提供了一种氢动力模块阳极子系统(100),其配置成能够将氢气储存罐中所储存的氢气传送入到氢动力模块反应堆并包括:断流阀(1),其配置成能够控制来自氢气储存罐的氢气的供应;氢喷阀(6),其配置成能够调节氢气的压力;布置在氢动力模块反应堆...
  • 本发明属于新能源技术领域,涉及一种卤素阴离子掺杂的富锂相氟基固态电解质材料及其制备方法和应用。为了开发一种高离子导电率、低电子导电率、宽电化学窗口的固态锂电池用的氟基固态电解质材料体系,本发明提供卤素阴离子掺杂的富锂相氟基固态电解质材料,所...
  • 本申请涉及一种储能单元加热方法、装置、设备、存储介质和程序产品。所述方法包括:在确定储能系统需要预留电量的情况下,获取储能系统的各储能单元的电量,并控制各储能单元的电量不小于预设电量,若各储能单元中存在温度小于第一预设温度的第一目标储能单元...
  • 采用盐作为电解质的燃料电池可以得到酸和碱。在燃料电池溶液中外加电场使燃料极,空气极周围的活性物质增加。这样可以增加燃料电池的反应效率,消除极化的不利影响。根据能斯特方程可以计算出燃料极,空气极的反应速度。
  • 本发明公开了一种电池单体、电池及用电设备,电池单体包括电极组件,电极组件包括电极组件,电极组件包括电极主体和极耳,极耳包括第一连接部、弯折部和第二连接部,第一连接部与电极主体相连,第一连接部和第二连接部通过弯折部相连;转接片,转接片在厚度方...
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