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  • 本发明公开了一种半球谐振陀螺电极检测基座金属化膜层蒸镀工装、系统及方法,解决了现有技术中存在电极检测基座表面蒸镀的金属化膜层粗糙且均匀性较差的问题,具体包括真空腔、设置在真空腔内的蒸镀设备,以及设置在蒸镀设备上经过优化的半球谐振陀螺电极检测...
  • 本发明公开了一种用于光学元器件的真空镀膜机,涉及真空镀膜机技术领域,包括镀膜机主体和镀膜架体,镀膜机主体内设有真空室,镀膜架体设置在真空室内,镀膜架体包括滑动安装组件、旋转安装组件、旋转驱动组件和翻转固定组件,滑动安装组件与真空室滑动连接,...
  • 本发明涉及半导体制造技术领域,公开了一种氧化层的生成方法、半导体结构的制备方法及半导体结构,氧化层的生成方法包括:在第一工艺参数下,通过原位蒸汽生成工艺在初始半导体结构的一侧形成第一氧化层;在第二工艺参数下,通过原位蒸汽生成工艺在第一氧化层...
  • 本申请公开了一种水晶玻璃制品的表面镀膜工艺,属于镀膜工艺的技术领域,其技术方案要点是具体步骤包括:S1,将水晶玻璃制品表面清洁,再进行干燥;S2,然后将水晶玻璃制品通过夹持装置进行夹持,将夹持装置置于真空镀膜装置中;S3,通过真空镀膜装置对...
  • 本发明涉及一种晶面取向、元素含量差异的复合金属氮化物涂层及其制备方法,属于表面工程技术领域。包括依次附着在金属基体表面的金属过渡层、第一TiN层和第二TiN层;第一TiN层中,Ti与N的原子百分比≤1.2,以(111)晶面取向优势生长;第二...
  • 本发明公开了一种用于MCrAlY涂层的金属‑陶瓷‑MAX相三元协同扩散阻挡结构及其制备方法。该扩散阻挡结构包括在其厚度方向上依次层叠的金属层、陶瓷层和MAX相层,MCrAlY层叠设于金属‑陶瓷‑MAX相三元协同扩散阻挡结构的顶端,M包括Ni...
  • 本发明公开了一种超薄磁性掩模版的制作工艺方法,属于半导体制造技术领域。该工艺包括在硅基晶圆表面形成氧化层并光刻刻蚀得到硬掩模层,经热氧化及周边氧化层去除后,通过PVD或电镀沉积NiFe磁性薄膜;对NiFe薄膜研磨除杂后形成氧化膜正面保护层;...
  • 本发明公开了一种基于多段式降温退火的氧化物薄膜后处理方法,旨在通过精确设计的热处理工艺,在修复氧空位的同时主动调控薄膜应力。该方法解决了退火过程中应力控制与缺陷修复难以兼顾的难题,为制备低吸收、高稳定性的氧化物强激光薄膜器件奠定了坚实的理论...
  • 一种强(200)织构的耐高温高熵氮化物涂层及其制备方法,其特征在于,所述涂层由以下原子百分比含量的成分组成:Ti 8%~10%,Zr 8%~10%,Nb8%~10%,Ta 8%~10%,Mo 8%~10%,Al 0%~6%,N 40%~50...
  • 一种硒化锌900‑1700nm反射膜系制备方法包括步骤:S0,将陪镀片和产品的表面进行清洁处理,陪镀片和产品作为镜片且均为硒化锌基底,陪镀片为等厚度的圆片和第一面为抛光平面而第二面为粗糙毛面的斜面的楔形片;S1,放入烤箱烘烤;S2,装入工装...
  • 本申请涉及包覆切削工具的涂层及其制备方法,包覆切削工具的涂层,沿远离切削工具的方向包括依次层叠设置的第一膜层、第二膜层及第三膜层;第一膜层包括多层交替层叠设置的A1层和A2层,A1层包括Al1‑a1‑aCraaN,0.3≤a≤0.5,A2层...
  • 本申请涉及磁控溅射镀膜技术领域,具体提供了一种用于深孔结构的磁控溅射镀膜设备,其包括:溅射腔室;水平驱动组件,用于驱动载板水平移动;旋转阴极,安装在溅射腔室内且位于载板上方,包括一个第一磁极和两个第二磁极,第一磁极和第二磁极的长度均大于载板...
  • 本申请公开了一种硬质无机颗粒增强铝合金表面复合涂层及其制备方法,属于金属涂层技术领域,以解决相关技术中外加增强颗粒由于界面问题导致材料的整体强度不高的技术问题。该复合涂层包括铝合金基体层、增强层和位于基体层与增强层之间的过渡层,还包括界面层...
  • 本发明提供一种预防靶材铜背板变色的方法及靶材铜背板和靶材组件,所述方法包括如下步骤:靶材铜背板依次经抛光处理、第一擦拭处理和第二擦拭处理,得到防变色的靶材铜背板;其中,所述第二擦拭处理采用的擦拭剂为pH为5~6的空调冷凝水。本发明通过采用p...
  • 本发明公开了一种具有内部流道的镍基合金零件及其加工方法,所述具有内部流道的镍基合金零件的加工方法,包括以下步骤:对镍基合金坯体进行内部流道结构精加工及外部结构粗加工,得到半成品零件;对所述半成品零件进行去应力处理;对去应力处理后的所述半成品...
  • 本发明公开了一种42CrMo深层氮化工艺,属于金属材料热处理技术领域;首先对齿圈进行斜率升温,升温速度≤60℃/h,时间为8‑10h,升温温度580‑600℃;对齿圈进行氮化处理:第一阶段,温度为580‑600℃,不控制Kn值,通气量为24...
  • 本发明公开了一种钢管防脱碳的加工方法,本发明中,将Rx气体发生炉与钢管煅烧炉连通,根据钢管煅烧炉的容积及钢管的数量确定Rx气体的首次通入量,并且精准的控制Rx气体中各组分的占比,使钢管能够充分进行渗碳反应,随后再次进行补通Rx气体及N₂,N...
  • 本发明涉及渗碳设备技术领域,提供了一种风力发电用输出齿轮渗碳设备,包括渗碳炉和齿轮料架,其特征在于:齿轮料架包括料架主体和栅网,料架主体包括一对矩形框和四根立柱,栅网包括上栅网和下栅网,上栅网四角与立柱固定连接,下栅网四角与立柱滑动连接,立...
  • 本发明涉及锆基合金相关技术领域,尤其涉及一种锆基合金表面仿生织构化与热氧化复合改性方法,将锆基合金棒通过线切割工艺加工成试样后,进行仿生圆形微织构绘制,并导入激光打标机中,加工完成后打磨、抛光和清洗工作,最后放入热等静压炉加工后,进行摩擦磨...
  • 本发明公开了一种大气压等离子体射流制备一氧化氮薄膜的方法,属于等离子体医学技术领域。该方法包括:构建大气压等离子体射流反应系统;以惰性气体为载气,携带TEMPO(2, 2, 6, 6‑四甲基哌啶氧化物)单体蒸汽进入等离子体射流;在常温常压下...
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