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最新专利技术
  • 一种MEMS传感器及其空腔结构的制备方法
    一种MEMS传感器及其空腔结构的制备方法_上海新微技术研发中心有限公司_202511309009.5
    本申请提供了一种MEMS传感器及其空腔结构的制备方法，属于微电子机械系统加工工艺技术领域。所述制备方法在第一硅衬底上沉积硼纳米颗粒，形成带有自停止层的第一硅衬底；将所述带有自停止层的第一硅衬底进行后处理，形成空腔结构。本发明通过沉积硼纳米颗...
    2026-02-23
  • 微纳制备和表征装置
    微纳制备和表征装置_中煤科工(天津)岩层智控科技有限公司_202511240535.0
    本发明公开了一种微纳制备和表征装置，涉及微纳技术领域。本发明的微纳制备和表征装置包括架体、支撑板、第一调节平台和扫描探针模组，所述架体包括平行设置的底板和顶板，所述支撑板转动设于所述底板，所述支撑板用于支撑并固定样品，所述第一调节平台设于所...
    2026-02-23
  • 多探针并行式微纳制备和表征方法
    多探针并行式微纳制备和表征方法_中煤科工(天津)岩层智控科技有限公司_202511240468.2
    本发明公开了一种多探针并行式微纳制备和表征方法，涉及微纳技术领域，包括以下步骤：S1、放置样品并调整样品在支撑板的位置以及支撑板的位置；S2、确定样品待作业区域并将待作业区域划分为M个环形作业单元；S3、在环形作业单元内确定作业路径；S4、...
    2026-02-23
  • 扫描探针制备和表征装置
    扫描探针制备和表征装置_中煤科工(天津)岩层智控科技有限公司_202511240444.7
    本发明公开了一种扫描探针制备和表征装置，涉及微纳技术领域。本发明的扫描探针制备和表征装置包括底板、容置台、第一移动平台和第一扫描探针模组，所述容置台转动设于所述底板，所述容置台用于承载并固定样品，所述第一移动平台对应所述容置台设于所述底板，...
    2026-02-23
  • MEMS电场传感器的批量封装治具、应用方法及封装设备
    MEMS电场传感器的批量封装治具、应用方法及封装设备_中科飞龙(北京)智能科技有限公司_202510858534.6
    本发明提供一种MEMS电场传感器的批量封装治具、应用方法及封装设备，其中：管壳载具用于盛装封装管壳，使得封装管壳在各封装工序中周转，完成指定的加工；防静电料盒位于入料端和出料端，用于盛装待加工的管壳载具、或者盛装完成加工后的管壳载具；芯片吸...
    2026-02-23
  • 一种介质隔离双极IC和压阻MEMS器件的单片集成结构
    一种介质隔离双极IC和压阻MEMS器件的单片集成结构_安徽华鑫微纳集成电路有限公司_202511557151.1
    本发明涉及半导体和IC‑MEMS集成技术领域，尤其是一种介质隔离双极IC和压阻MEMS器件的单片集成结构。本发明中，第一硅基、第二硅基与中间绝缘层构成MEMS器件常用的SOI晶圆片基础衬底，单晶硅外延层和第二硅基充当互补集成IC的器件层。本...
    2026-02-23
  • 一种IC-MEMS三维异构微系统集成结构及其制备方法
    一种IC-MEMS三维异构微系统集成结构及其制备方法_安徽华鑫微纳集成电路有限公司_202511557149.4
    本发明涉及三维异构微系统集成技术领域，尤其是一种IC‑MEMS三维异构微系统集成结构及其制备方法。本发明提出的一种IC‑MEMS三维异构微系统集成结构，纵向集成了多芯片集成层、布线联通层和IC‑MEMS集成层，实现了三层结构的组合、排布、集...
    2026-02-23
  • 一种基于MEMS器件的环形束流散热装置
    一种基于MEMS器件的环形束流散热装置_斯威库(常州)科技有限责任公司_202511545569.0
    本发明涉及散热装置技术领域，尤其涉及一种基于MEMS器件的环形束流散热装置，包括，进气栅口：所述进气栅口位于散热装置的最上端，用于外部空气进入散热装置的内部，同时对空气中的杂质进行过滤；压电振子：所述压电振子用于对气流进行驱动，同时为每个结...
    2026-02-23
  • 一种用于量子传感的高密封微型原子气室及其制造方法
    一种用于量子传感的高密封微型原子气室及其制造方法_武汉华中天纬测控有限公司_202511465192.8
    本发明公开了一种用于量子传感的高密封微型原子气室，从上至下依次为第一玻璃基片、第二玻璃基片和第三玻璃基片，第二玻璃基片内部分别设置有用于容纳缓冲气体与原子蒸气的大气室腔体、用于放置固态铷源的小铷源腔体以及连接大小腔体以实现铷原子释放的微孔道...
    2026-02-23
  • 一种磁力计用微型原子气室及其制造方法
    一种磁力计用微型原子气室及其制造方法_武汉华中天纬测控有限公司_202511465179.2
    本发明公开了一种磁力计用微型原子气室，从上至下依次为第一玻璃基片、第二玻璃基片和第三玻璃基片，第二玻璃基片内部分别设置有用于容纳缓冲气体与原子蒸气的大气室腔体、用于放置固态铷源的小铷源腔体以及连接大小腔体以实现铷原子释放的微孔道，第一第三玻...
    2026-02-23
  • 基于激光焊接的高温MEMS器件引线装置及方法
    基于激光焊接的高温MEMS器件引线装置及方法_中冶赛迪技术研究中心有限公司_202511409616.9
    本发明属于MEMS引线技术领域，涉及一种基于激光焊接的高温MEMS器件引线装置及方法，该装置包括引线框架、激光焊接设备、自动送线机构和滑动导轨；其中，所述自动送线机构通过滑动导轨与激光焊接设备连接，所述引线框架用于固定高温MEMS器件的wa...
    2026-02-23
  • 具有铰链层级致动的非接触式微机电系统装置
    具有铰链层级致动的非接触式微机电系统装置_德州仪器公司_202510840739.1
    本公开涉及一种具有铰链层级致动的非接触式微机电系统装置。微机电系统装置(400，图5A)包含：衬底(403)；第一电极(406A)，其在所述衬底(403)上；第二电极(410A)，其在所述衬底(403)上，第一间隙(430C)在所述第一电极...
    2026-02-23
  • 一种红外探测器及其封装方法
    一种红外探测器及其封装方法_烟台睿创微纳技术股份有限公司_202511456089.7
    本申请涉及半导体领域，公开了一种红外探测器及其封装方法，包括：玻璃基衬底、盖板、红外感应芯片、焊盘、处理芯片和导电连接线；玻璃基衬底包括第一区域和第二区域，红外感应芯片位于第一区域，焊盘位于第二区域，处理芯片与焊盘电连接，且处理芯片与焊盘倒...
    2026-02-23
  • 一种FLNG船用甲醇卸料导向装置
    一种FLNG船用甲醇卸料导向装置_连云港远洋流体装卸设备有限公司_202511724698.6
    本申请公开了一种FLNG船用甲醇卸料导向装置，属于船体卸料领域，包括安装板，所述安装板右侧装配有调节组件，所述调节组件右侧装配有导向组件，所述导向组件包括筒体，所述筒体外表面设置有推进环，所述推进环内表面固定连接有第一连接片，所述第一连接片...
    2026-02-23
  • 一种车辆装酸设备及控制方法
    一种车辆装酸设备及控制方法_江西金德铅业股份有限公司_202511619202.9
    本发明提供一种车辆装酸设备及控制方法，包括支架总成、固定设置在支架总成两侧沿纵向延伸的联动滑轨、沿联动滑轨轨迹滑移的联动滑架、至少部分嵌于支架总成内且与联动滑架锁接的联动总成，以及沿横向滑动设置在联动滑架顶部的装酸总成，联动总成通过车辆后轮...
    2026-02-23
  • 一种收发油控制方法
    一种收发油控制方法_北京航天三发高科技有限公司_202511632098.7
    本发明涉及一种收发油控制方法，属于油料收发技术领域，解决了现有技术中油料收发效率不高的问题。本发明采用收发油管路进行收油或者发油作业，包括：S1：根据实际需求，确认工作模式；铺设输油支路；S2：根据步骤S1中确认的工作模式，控制收发油管路中...
    2026-02-23
  • 基于防溜车装置识别定位的鹤管自动对位灌装系统及方法
    基于防溜车装置识别定位的鹤管自动对位灌装系统及方法_兰州理工大学_202511332418.7
    本发明提供了一种基于防溜车装置识别定位的鹤管自动对位灌装系统及方法，车辆信息数据库绑定存储物料车的车辆固有结构属性及对应的车牌号；车牌识别系统识别待灌装物料车的车牌号；车辆定位系统利用防溜车装置定位待灌装物料车车轮的位置，并获取定位数据，根...
    2026-02-23
  • 一种撬块式低温液体自动充装装置
    一种撬块式低温液体自动充装装置_浙江汉顶能源装备有限公司_202511769932.7
    本发明公开了一种撬块式低温液体自动充装装置，涉及到低温液体充装领域，包括底座，底座上设置有充装系统和收放系统；充装系统：充装系统包括泵机，泵机通过底部安装架与底座的顶部固定连接，泵机的输入端连接有第一连接管，第一连接管的另一端连接有入口阀，...
    2026-02-23
  • 一种挖掘机加注可视化系统及控制方法
    一种挖掘机加注可视化系统及控制方法_徐州徐工矿业机械有限公司_202511756423.0
    本发明公开一种挖掘机加注可视化系统及控制方法，属工程机械领域，旨在解决超大型矿用挖掘机油品加注人力依赖强、准确性低、观察环境差的问题。系统以整机控制器为核心，连接液位传感器、集中加注平台摄像头、仪表、呼吸灯、蜂鸣器等，仪表与视频监控器通过C...
    2026-02-23
  • 一种密闭装卸汽油回收油气的装置及方法
    一种密闭装卸汽油回收油气的装置及方法_云天嘉润(北京)石油化工有限公司_202511817899.0
    本发明公开了一种密闭装卸汽油回收油气的装置及方法，涉及回收油气装置技术领域，包括设置于回收管上的油滴预分离机构、管路内壁自清洁机构以及油液拦截机构；油滴预分离机构包括锥形分离筒、集油槽、回油管以及辅助回油机构。本发明通过设置油滴预分离机构，...
    2026-02-23
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