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最新专利技术
  • MEMS晶圆的复合刻蚀方法及具有预划片道的晶圆
    MEMS晶圆的复合刻蚀方法及具有预划片道的晶圆_崂山国家实验室_202511275509.1
    本发明属于芯片加工的技术领域，具体涉及MEMS晶圆的复合刻蚀方法及具有预划片道的晶圆。本发明所述的MEMS晶圆的复合刻蚀方法：使用同一掩膜版和单次刻蚀工艺，在晶圆的正面或背面上同步形成该具有预划片道的晶圆的功能图形结构和预划片道；其中，所述...
    2026-02-17
  • 空腔结构及其形成方法
    空腔结构及其形成方法_芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司_202511265596.2
    本发明提供一种空腔结构及其形成方法，所述空腔结构的形成方法包括：提供衬底；在所述衬底上形成牺牲层；对所述牺牲层进行刻蚀以形成凹槽结构，所述凹槽结构的位置与待形成的空腔单元顶部轮廓位置相对应；利用加强筋材料填充所述凹槽结构以形成加强筋；对所述...
    2026-02-17
  • 一种锥形硅基中空微针阵列及其制备方法
    一种锥形硅基中空微针阵列及其制备方法_中国科学技术大学_202510425750.1
    本发明公开了一种锥形硅基中空微针阵列制备方法，包括：在单晶硅片正面旋涂光刻胶，光刻后，在光刻胶上形成圆孔阵列图形；以圆孔阵列图形的光刻胶为掩膜，对单晶硅片正面进行深硅刻蚀，在单晶硅片正面形成针孔通道阵列；在单晶硅片背面上旋涂光刻胶，背面对准...
    2026-02-17
  • 一种MEMS器件及其制造方法
    一种MEMS器件及其制造方法_华润微电子控股有限公司_202410712950.0
    本发明公开了一种MEMS器件及其制造方法，所述方法包括：形成第一MEMS结构：提供第一衬底，在所述第一衬底上形成第一感测层，在所述第一感测层上依次形成第一空腔和第二感测层；形成第二MEMS结构：提供第二衬底，在所述第二衬底上形成第三感测层，...
    2026-02-17
  • 一种基于压电叠层的可调谐MEMS结构
    一种基于压电叠层的可调谐MEMS结构_合肥领航微系统集成有限公司_202511461992.2
    本发明公开了一种基于压电叠层的可调谐MEMS结构，包括衬底，所述衬底具有相对的正面和背面，所述衬底的正面生长有压电层，衬底的背面开有为振膜提供振动空间的背腔，衬底的正面设有第一高度板，第一高度板与所述衬底和压电层之间形成第一介质腔；衬底的背...
    2026-02-17
  • 一种MEMS传感器器件封装结构
    一种MEMS传感器器件封装结构_河北美泰电子科技有限公司_202511298360.9
    本发明提供了一种MEMS传感器器件封装结构，包括封装管壳、ASIC芯片以及MEMS芯片，封装管壳具有开口向上的容纳腔，封装管壳的上方连接有封盖，封盖用于封堵容纳腔；ASIC芯片设于容纳腔内，且与封装管壳电连接；MEMS芯片设于ASIC芯片的...
    2026-02-17
  • MEMS结构及其制备方法、超声换能器单元
    MEMS结构及其制备方法、超声换能器单元_安徽奥飞声学科技有限公司_202511251624.5
    本发明涉及超声换能器技术领域，尤其涉及一种MEMS结构及其制备方法、超声换能器单元。本发明MEMS结构包括：支撑结构，其内侧形成空腔；其外围部分的上表面形成台阶结构；压电复合层，形成于支撑结构上，在水平方向上，压电复合层的第一内侧部分与台阶...
    2026-02-17
  • 一种变粘度工质充装系统、装置及控制方法
    一种变粘度工质充装系统、装置及控制方法_北京卫星制造厂有限公司_202511291475.5
    本发明涉及一种变粘度工质充装系统、装置及控制方法，变粘度工质充装系统放置在烘箱内，烘箱为充装装置提供温控环境，真空泵组用于对2#储液罐、3#储液罐及充装管路进行抽真空处理；氮气源用于对充装完后的相变储能装置中的容器进行压实，对充装管路的吹除...
    2026-02-17
  • 一种用于加油枪的密封除静电集气罩
    一种用于加油枪的密封除静电集气罩_郑州力诺电气有限公司_202511319273.7
    本发明公开了一种用于加油枪的密封除静电集气罩，涉及加油枪集气罩技术领域，包括加油枪本体，加油枪本体的枪头上设有连接套，连接套上设有卡接主体用于将连接套固定在加油枪本体的枪头上，连接套的另一端连接有延长管，延长管上固定有集气罩，集气罩的下端固...
    2026-02-17
  • 一种具备数显计量和打标功能的泵箱及罐式加油车
    一种具备数显计量和打标功能的泵箱及罐式加油车_湖北成龙威专用汽车有限公司_202511669261.7
    本申请涉及一种具备数显计量和打标功能的泵箱，涉及车载设备的技术领域，包括箱体，所述箱体内安装有输送管道，所述输送管道一端连接于车上油罐，另一端安装有对接头，输送管道上安装有输出泵，输送管道上安装有流量计，所述箱体内安装有打标装置，打标装置包...
    2026-02-17
  • 一种基于流体驱动的无压燃油加注系统、加注方法及矿山设备
    一种基于流体驱动的无压燃油加注系统、加注方法及矿山设备_徐州徐工矿业机械有限公司_202511536614.6
    本发明公开一种基于流体驱动的无压燃油加注系统、加注方法及矿山设备，包括：燃油箱，作为燃油储存主体；接收器，作为燃油进入的初始通道，包括加注口塞、接收器壳体及加注复位弹簧，加注口塞活动安装于接收器壳体入口端，加注复位弹簧套装在加注口塞与接收器...
    2026-02-17
  • 一种中药膏加工用倾倒辅助装置
    一种中药膏加工用倾倒辅助装置_临清清源正本生物医药科技有限公司_202511587125.3
    本发明涉及中药膏加工辅助装置技术领域，且公开了一种中药膏加工用倾倒辅助装置，包括端板，所述端板的一端与外部的旋转驱动源连接设置，该中药膏加工用倾倒辅助装置，通过设置有中心组件，在中心组件的外侧嵌入设置有刮除组件，这样在药罐将大部分中药膏倾倒...
    2026-02-17
  • 一种药液灌装及封装装置
    一种药液灌装及封装装置_成都顺千和科技有限公司_202511541978.3
    本发明涉及药瓶制造的技术领域，主要公开了一种药液灌装及封装装置，其包括输送单元，包括盘架和并列设置的驱动盘组，所述驱动盘组设置于盘架内，所述驱动盘组上盘设有输送链组；灌装单元，其设置于输送链组一侧，并与所述输送链组上的瓶体对接；进瓶单元和送...
    2026-02-17
  • 一种电子胶分装机
    一种电子胶分装机_潍坊精恒自动化设备有限公司_202511517708.9
    本发明涉及产品包装技术领域，尤其涉及一种电子胶分装机，包括工作台，所述工作台上设有水平设置的筒体输送平台，筒体输送平台上由上游向下游方向依次设有用于放置分装筒的等待工位、灌装工位和打盖工位；还包括灌装单元和打盖单元，灌装单元与灌装工位的位置...
    2026-02-17
  • 一种直线跟随式灌旋一体机
    一种直线跟随式灌旋一体机_江苏金旺智能科技有限公司_202511401436.6
    本发明公开了一种直线跟随式灌旋一体机, 包括设置于机架内沿直线并列分布的灌装机部件和旋盖机部件，灌装机部件和旋盖机部件前端设置有固定在机架上的输送带部件，所述旋盖机部件包括设置于输送带部件下方的第二升降组件，第二升降组件顶部分别与第二平移机...
    2026-02-17
  • 一种灌装设备
    一种灌装设备_南通白蒲黄酒有限公司_202511668970.3
    本发明公开了一种灌装设备，包括灌装调节机构，灌装调节机构的底部设有夹紧组件，灌装调节机构的两端设有驱动机构，夹紧组件的底端设有运输组件，灌装调节机构包括有固定板，固定板开设有水平横槽，固定板的内侧面固定连接有相互平行的两条滑轨，滑轨活动套接...
    2026-02-17
  • 一种制药用全自动灌封装置
    一种制药用全自动灌封装置_徐州生物工程职业技术学院_202511456472.2
    本发明涉及一种制药用全自动灌封装置，包括架体，架体内转动连接有传输带，传输带上固定均匀固定设有放置座，架体侧壁固定设有倒L形支架，倒L形支架顶部依次设有柱塞泵和可上下移动的封口机，倒L形支架的顶部设有用于柱塞泵的柱塞杆上下移动的升降机构，下...
    2026-02-17
  • 一种旋转式吹瓶机双风道出瓶装置
    一种旋转式吹瓶机双风道出瓶装置_广州西力机械有限公司_202511388425.9
    本发明公开了一种旋转式吹瓶机双风道出瓶装置，机械手、第一吹风装置、第二吹风装置、拔瓶装置和分道开关装置；机械手设有多个，且机械手沿周向方向分布设置且沿周向方向旋转；前过渡通道的输出端与第二吹风装置的输入端连通，机械手带动瓶子向第一吹风装置的...
    2026-02-17
  • 一种安瓿瓶开瓶器
    一种安瓿瓶开瓶器_向爽_202511675280.0
    本发明公开了一种弹性锥度安瓿瓶开瓶器，包含锥形橡胶套管(1)、砂轮(2)及牵引绳(3)。套管(1)内壁设有双向防滑纹路(1a)，壁厚从大口端(Φ16mm)向小口端(Φ7mm)梯度增加，邵氏硬度从40A增至60A。操作时通过捏压套管外壁实现安...
    2026-02-17
  • 一种浮动式IBC开盖器
    一种浮动式IBC开盖器_展一智能科技(苏州)有限公司_202511656727.X
    一种浮动式IBC开盖器，包括浮动支撑框(20)、一字型开盖组件(30)、IBC开盖组件(40)，所述一字型开盖组件(30)通过锥面结构与浮动支撑框(20)连接，一字型开盖组件(30)包括浮动体(31)、三爪气缸(32)、越级驱动齿(33)和...
    2026-02-17
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