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  • 本发明公开了一种超硬复合膜层的制备方法,采用真空镀膜技术进行多层复合膜层的制备。本发明针对金属结构件膜层分段加工损失率高,及现有PVD颜色层绝缘差、耐刮不足易脱落问题,采用真空镀膜一体化制备超硬复合膜层。先真空等离子处理基材以保洁净,再依次...
  • 本发明涉及电池材料技术领域,具体为一种磁控溅射法制备Sn‑Zn‑C复合负极材料的方法,包括将铜箔基底进行洁净处理,以及采用磁控溅射技术将SnZn合金和石墨沉积在铜箔基底上;铜箔基底的洁净处理为:将铜箔基底置于有机溶剂中后超声清洗,真空干燥;...
  • 本发明提供了一种平行靶磁控溅射设备,包括真空室;磁控机构,设置在所述真空室内,所述磁控机构包括基材承载部;靶材组件,设置在所述真空室内,所述靶材组件包括外壳体、靶材和固定架;传动组件,设置在所述靶材组件内;本发明通过同时驱动三组磁体产生复合...
  • 本发明涉及电极制备技术领域,且公开了一种高纯锗探测器电极制备方法,包括以下具体步骤,S1:磁控靶与基材的固定:将环形的靶材安装在磁控靶上,环状的基材夹持固定在定位条之间,使得基材套设在靶材的外部;S2:基材内环竖直面的镀膜:使得基材水平套设...
  • 本发明公开了一种射频旋转阴极镀膜设备,包括有真空壳体、屏蔽壳体以及射频电源匹配器,真空壳体内侧设有连接座,两侧连接座之间连接有冷却水管、以及套设在冷却水管外侧且可转动的靶筒,靶筒内设有固定在冷却水管上的磁钢,磁钢与靶筒不接触,靶筒设有射频导...
  • 本发明涉及电子元件制造技术领域,具体是一种一体成型溅射贴片电阻的制备料盘及制备方法,所述制备料盘包括下支撑盘、支撑架、多个挂板和上支撑盘。下支撑盘设有环形槽口及滑动其中的环形滑板,滑板顶部装内齿环。挂板底部设齿轮与内齿环啮合。本发明使用时,...
  • 本发明的一种多工位滤光片表面镀膜装置及其方法,属于镀膜装置技术领域,包括:设置磁悬浮输运系统、溅射系统及动态气幕隔离系统于一单一的隧道式主真空腔室内,其中,磁悬浮输运系统包括安装在腔室外部的线性驱动线圈、设置在腔室内部用于承载基板的磁悬浮托...
  • 本发明公开一种碱金属种子注入混合系统及其使用方法。其包括加热炉、碱金属泡外夹破碎组件和试验段,所述碱金属泡外夹破碎组件与所述加热炉连通,所述加热炉与所述试验段连通;其中所述碱金属泡外夹破碎组件包括外套管和安装在所述外套管中的玻璃泡,所述碱金...
  • 本发明公开了一种基于离子注入处理的耐磨减摩柱塞复合涂层的制备方法,包括将预处理后的基材清洗后置于工装卡具上采用微波离子源进行离子注入得到过渡功能层后关闭微波离子源,打开金属离子源进行离子注入后,关闭金属离子源后打开微波离子源进行离子注入,交...
  • 本申请涉及材料表面处理技术领域,公开了一种金属表面处理方法及金属工件。本申请金属表面处理方法包括以下步骤:S1、基底预处理:在真空环境中对金属基底进行烘烤、清洗;S2、离子注入:利用离子源向基底表面注入金属离子,在基底内部形成离子注入层;S...
  • 本发明高硬度高耐磨表面精密涂层制备法,流程:对应设置快捷展开式挂具承载结构、上部挂设模组;产品挂设时,呈12‑18°的倾斜状;推入涂层制备设备进行高速涂层制备;涂层制备设备内进行加热至150°;炉体内填充氩气0.5Pa,离子源模组进行离子刻...
  • 本申请涉及一种夹持组件、真空蒸镀装置及传感器探测工件表面镀膜方法,所述夹持组件包括承载件和盖件,所述承载件上设置有贯穿所述承载件的通孔;所述通孔用于承放待镀工件,并使所述待镀工件的表面从所述承载件沿所述通孔轴向的两侧露出;所述盖件盖设于所述...
  • 本申请涉及一种真空镀膜用托盘传动系统及连续真空镀膜设备,涉及真空镀膜托盘传动领域,包括:托盘主体和驱动装置,托盘主体一侧设置有导向配合件,驱动装置包括动力输入设备和导向驱动件,导向驱动件被设计为可驱动导向配合件移动,动力输入设备设置于真空镀...
  • 本申请公开了一种基片台结构、TGV基板的种子层沉积设备及方法,基片台结构包括:基片台本体;绝缘支撑部,绝缘支撑部设置于基片台本体的上表面,绝缘支撑部被配置为适于贴合支撑TGV基板;第一顶升部,第一顶升部被配置为能够向上穿过绝缘支撑部,以顶升...
  • 本发明公开了一种真空镀膜工艺参数自适应调节方法及系统,包括数据采集层、DRL智能体和执行层,其中所述DRL智能体包含策略网络和评价网络,所述DRL智能体采用双循环学习机制,包括离线模仿学习模块和在线强化学习模块。本技术方案通过DRL解耦多辊...
  • 本发明提供一种脉冲激光沉积过程在线监测装置及方法,涉及材料制备与过程监测技术领域,包括:生长腔、设置于所述生长腔内的衬底支撑机构和靶材支撑机构、以及对靶材进行烧蚀的脉冲激光器,还包括:光谱采集单元,用于采集由所述脉冲激光器烧蚀靶材产生的等离...
  • 本发明公开了一种用于塑料制品的真空镀膜装置,属于镀膜设备技术领域,本发明包括固定腔和转动连接于固定腔上的两组活动腔,所述活动腔的上下两端均转动连接有两组转盘,两组转盘之间设有若干沿圆周阵列的转杆,两组所述转盘之间还设有位于轴线上的驱动轴,所...
  • 本发明涉及滤光片镀膜技术领域,特别是涉及一种光通信滤光片镀膜系统及镀膜方法。通过布置双光路监测组件和监控系统,能够在镀膜过程中针对两种材料的喷镀区域分别进行膜厚动态监测,并根据膜厚监测结果实时调控两修正挡板的姿态,实现滤光片镀膜厚度的实时修...
  • 本发明涉及镀膜设备领域,公开了一种高效热交换卷绕镀膜冷辊,其包括外套和芯轴。其中,外套套于芯轴上,并密封固定连接。外套的端面上设置有若干直线冷却水道;每条冷却水道的两端密封堵住。芯轴的外壁上设置有若干个汇水槽,汇水槽与外套的内壁形成一个集水...
  • 本发明公开了一种用于物理气相沉积过程中贵金属回收的涂层及方法,该涂层主要由位于下层的镀银层和位于镀银层表面的有机硅改性层组成。回收贵金属前,首先在物理气相沉积过程中需要进行贵金属回收的位置表面制备该涂层,物理气相沉积完成后,采用粘胶带粘贴在...
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