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  • 本发明提供一种MEMS谐振器结构及其制备方法,将谐振器穿通锚点与谐振子图形通过一次光刻工艺形成,避免了因多次光刻所引入的套准偏差,确保了谐振器穿通锚点能够精确位于谐振器理论不动节点处,提高了谐振器的一致性,使器件的品质因数更易于接近理论最大...
  • 本申请公开一种低动态电阻的MEMS谐振器及其制备方法,涉及微机电系统技术领域。该低动态电阻的MEMS谐振器包括基础层、下电极层和上电极层。下电极层包括多个相同的正方阵。每个正方阵包括相互隔开的连接组和独立组。连接组包括相互连接的两个连接电极...
  • 本申请涉及微机电系统技术领域,具体公开一种低温漂纵向MEMS谐振器及其制造方法。该低温漂纵向MEMS谐振器包括由上至下堆叠的上器件层、下器件层、绝缘层和基底层。纵向MEMS谐振器还包括热量消散层,热量消散层连接上器件层;热量消散层的热传导系...
  • 本申请公开MEMS谐振器及其制作方法,涉及微电子机械系统技术领域。该MEMS谐振器包括上电极组件、下电极层、氮化物层、上氧化物层和硅基层。上氧化物层覆盖在硅基层的上表面。氮化物层覆盖上氧化物层的上表面。下电极层沉积在氮化物层之上。上电极组件...
  • 本发明公开一种基于机器学习优化的多频段超表面滤波方法,该方法首先构建多层硅基集成架构的多频段可重构超表面滤波硬件,从下至上依次设底层介质层、隔离层、中间介质层、顶层介质层及金属覆层;其次采集电磁仿真数据与实物实测数据,构建含结构、频率、性能...
  • 本发明提供一种基于声场相位延迟的宽波段声光可调谐滤波器,涉及声光滤波技术领域,其包括第二声光介质、至少两组换能器、射频信号源以及实现相邻两个换能器接收到的射频信号在时间上具有延迟的射频线。通过设计同向、直线分布连接在所述第二声光介质的侧平面...
  • 本申请涉及一种滤波器、射频前端模组和电子设备。该滤波器包括至少两个谐振器,谐振器的谐振模式分别包括主模和杂模,滤波器中至少有两个谐振器的主模的第一频率之差的绝对值,大于该两个谐振器的杂模的二分之一的谐振宽度之和;其中谐振宽度为杂模的反谐振频...
  • 本发明属于半导体制造技术领域,提供了一种POI衬底、其制造工艺与声表面波滤波器,所述制造工艺包括提供具有第一键合面的压电材料膜层,从第一键合面进行离子注入,然后在第一键合面上依次进行涂胶、曝光、显影、刻蚀,在压电材料膜层的内部形成开孔;将带...
  • 本发明公开了一种弹性滤波器、多工器和弹性滤波器的制造方法。该弹性滤波器包括:支承基板;低声速层,低声速层设置在支承基板的一侧;压电基体,压电基体设置在低声速层远离支承基板的一侧,压电基体包括压电功能部和附着部;其中,附着部包括第一附着电极和...
  • 本发明涉及电路技术领域,具体涉及一种基于支撑结构的谐振器滤波器结构、滤波器及电子设备。基于支撑结构的谐振器滤波器结构,包括衬底和集成在所述衬底一侧的电路结构;所述衬底包括谐振器区域和电容区域;所述谐振器区域设置有谐振器电路结构,所述电容区域...
  • 本申请涉及一种滤波器、射频前端模组和电子设备,滤波器包括压电衬底、以及设于压电衬底表面的第一反射栅和两个叉指换能器,两个叉指换能器分列于第一反射栅的相对两侧;第一反射栅包括相连接的第一指条、第二指条和第三指条,第一指条和第二指条沿第一方向分...
  • 本发明公开的一种具有输入端宽带无反射特性的高隔离高选择性滤波功分器,包括:输入端口、两个输出端口、双L形无反射吸收结构、两段微带连接线、两段平行耦合线、两个L形阶跃谐振器、两个无反射吸收隔离电阻、四分之一波长平行耦合连接线和两段U形传输线;...
  • 本发明涉及一种工程应用的降采样率方法,包括以下步骤,步骤1,升降采样过程设计:基于工程需求根据降采样后每一批的点数确定升采样前数据点数和每一批数据抽样起始位置进行设计;步骤2,升采样过程:在升采样过程中,首先要根据降采样前后的采样率确定升采...
  • 本发明提供一种基于源随器的高线性高镜像抑制比的混合复数滤波器电路,属于射频接收机技术领域。本发明通过采用源随器结构实现多相信号滤波与低通滤波的混合功能,有效提升电路线性度并显著增强镜像抑制能力。同时,引入具有高通特性的AC耦合网络,为电路提...
  • 本发明实施方式公开了一种可变增益移相器和相控阵系统,该移相器包括:被配置为响应于输入信号输出正交信号的信号产生模块,正交信号包括I路信号和Q路信号;被配置为响应于第一控制信号,调节I路信号的幅值以输出第一加权信号的第一加权模块;被配置为响应...
  • 本发明涉及滤波电路技术领域,公开了一种用于ADC的滤波电路、真有效值计算电路和ADC,滤波电路包括模拟调制器、IIR滤波器和CIC滤波器;模拟调制器用于对输入的模拟信号进行调制,输出疏密波信号;IIR滤波器用于在模拟调制器的OSR低于阈值时...
  • 本发明公开了一种基于IWOA的声级计A计权滤波器设计方法及测量装置,本发明方法包括确定声级计A计权滤波器中需要优化的目标子滤波器;对目标子滤波器进行数字化建模以获得数字化后的滤波器模型,对数字化后的滤波器模型建立约束条件并构建目标优化函数,...
  • 本发明涉及干扰抑制技术领域,具体为一种船舶轴带变频器的电磁兼容优化方法及系统,本发明中,通过基于频率序列的离散与跳变限制后,将敏感干扰能量与电流误差与开关损耗逐项判定并筛除越界序列,遗传算法在剩余序列中执行交叉组合与幅值叠加,再通过变换与重...
  • 本发明提供一种用于无线通信的脉冲成形电路及其校准方法,所述电路包括多个脉冲形成器,所述多个脉冲形成器中的每一个包括至少一个上升延迟单元和至少一个下降延迟单元,所述至少一个上升延迟单元和所述至少一个下降延迟单元的具体延迟时间能够分别进行独立控...
  • 本发明公开了一种倍宽线脉冲平顶振荡改善结构及方法,解决了现有倍宽线存在由于内线、外线反射畸变不一致引起的脉冲平顶振荡的问题;本发明倍宽线结构,包括一端封闭的倍宽线外筒,倍宽线外筒内依次同轴设置有内置磁芯的倍宽线中筒、倍宽线内筒,还包括内线短...
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