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  • 本发明涉及一种装船机除尘系统水箱供水自动上水对接装置,包括底座、X向伸缩机构、Y向伸缩机构及对接万向补偿单元,底座上安装X向伸缩机构,X向伸缩机构上安装Y向伸缩机构,Y向伸缩机构前端安装对接万向补偿单元,对接万向补偿单元的一侧通过受水管路卡...
  • 本发明公开了一种带防尘功能的用于座椅网背自动扪制的设备,包括工作台,所述工作台上设有用于固定椅背的固定机构、用于加工椅背顶部的X轴扪制机构、以及用于加工椅背两侧的Y轴扪制机构,所述X轴扪制机构包括用于对网背进行折弯和下压的折压块、以及用于驱...
  • 本申请提供一种MEMS器件及其制备方法,涉及半导体器件技术领域。该MEMS器件,包括:基底层和设置在基底层上的功能层,基底层上设有贯通腔,功能层包括至少一层压电层以及分别设置在压电层两侧的电极层,功能层的部分区域与基底层固定连接、部分区域位...
  • 本发明提供一种MEMS封装结构,其中第一、第二基板相互键合以形成密闭微真空腔,该密闭微真空腔包括依次连通的第一真空腔、气体分子流通通道与第二真空腔,用于监测密闭微真空腔内部真空度的微型真空计位于第一真空腔中并设置于第一支撑层的背离第一凹腔的...
  • 本发明公开了一种惯性器件的MEMS芯片封装结构及工艺,涉及芯片封装技术领域。本发明包括陶瓷基板,其下表面设有导电凸点,其下表面贴装有ASIC芯片,且其上设有贯穿的散热通孔;陶瓷管壳,其上表面设有与所述导电凸点相对应的导电凹槽,其内表面贴装有...
  • 提供了半导体封装及其制造方法。本公开描述了一种在微机电系统(MEMS)结构上具有光子器件的半导体封装。该半导体封装包括:衬底、设置在衬底上的MEMS结构以及设置在MEMS结构上的光子器件。MEMS结构包括:键合到衬底的梳齿结构和耦合到梳齿结...
  • 本发明提供一种MEMS封装结构的制造方法,该方法分别在第一、第二基板上形成微型真空计、真空度控制单元,并分别在第一、第二基板中形成第一、第二凹腔与第三、第四凹腔,微型真空计悬置于第一凹腔上方,真空度控制单元悬置于第四凹腔上方,之后将第一、第...
  • 本发明属于微纳制造与先进材料加工领域,具体涉及一种基于电牵引限域拉伸流变成形的微结构制造方法及微结构。所述制造方法包括步骤:图案化改性,增材打印,电牵引限域拉伸流变成形,光固化脱模。该制造方法利用图案化固液界面浸润性梯度势垒和空间电场规范约...
  • 本发明公开了一种MEMS器件制备方法及其制得的MEMS器件,涉及传感器技术领域,包括如下步骤:提供第一衬底, 刻蚀第一衬底表面以形成图案;在第一衬底具有图案的表面形成二氧化硅层;显露出第一键合锚点;提供第二衬底,基于第一键合锚点,将第二衬底...
  • 本发明属于柔性电极技术领域,涉及一种柔性管状电极及其制备方法与应用,所述制备方法通过单次光刻制得柔性电极,并采用拉伸卷曲成型的方式制得柔性管状电极,包括依次进行的基片预处理、柔性基底制备、单次光刻、导电层沉积、去胶、剥离电极、拉伸电极、固定...
  • 本发明公开了一种MEMS流量传感器的SMT封装设备及方法,所述设备包括MEMS流量传感器、PCB转接板拼版结构、全自动贴片机上机钢网等;所述方法包括利用SMT钢网印刷机,将低温锡膏通过钢网印刷在PCB转接板焊盘上,并采用SMT全自动贴片机将...
  • 本发明公开了一种微流控芯片的批量加工工艺,涉及芯片加工技术领域。本发明包括如下步骤:首先,提供至少两层聚合物卷材,分别为用于形成微通道结构的第一卷材和用于封闭微通道的第二卷材,所述卷材为连续卷状材料,选自聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、环烯...
  • 本发明公开了一种镁基复合储氢材料及其制备方法,属于储氢合金及其制备技术领域。本发明解决了现有镁基储氢材料存在的动力学与热力学性能差,无法满足实际应用要求的问题。本发明通过有机溶剂丙酮辅助球磨使得合金材料的平均粒径显著降低,得到晶粒尺寸更小、...
  • 本发明属于氢能技术领域,涉及一种多维度Ti基固态储氢材料及其制备方法,该多维度Ti基固态储氢材料由Ti、V、Mn、Zr、Ni元素组成,该材料的化学表达式为TiaVbMncZrdNie,其中各元素原子比a=0.60‑0.65,b=0.08‑0...
  • 本发明公开了一种常温常压下高容量储氢材料的制备方法,首先将叶腊石与ZIF‑8溶液进行水热处理,经真空干燥后得到叶腊石/ZIF‑8复合材料,然后将该复合材料与碳纳米管进一步复合,得到储氢材料。本发明制备方法简单,过程易于控制,制备得到的储氢材...
  • 本发明公开了一种石墨烯凝胶负载镁镍储氢块状材料及其制备工艺,属于储氢材料领域。制备工艺第一步是高频等离子(RF)动态烧结法制备镁镍纳米合金粉体,第二步是放电等离子快速烧结法(SPS)制备石墨烯凝胶负载镁镍储氢块状材料。本发明提供的石墨烯凝胶...
  • 本发明涉及一种K2TiF6+Nb2O5催化的高容量Mg‑RE(Sm, Nd)‑Ca‑Cu‑Zn系储氢复合材料,属于固态储氢材料技术领域,解决了现有技术中镁基储氢材料热力学稳定性高、活化过程复杂、放氢温度高、吸氢/放氢动力学缓慢等问题之一,本...
  • 本发明公开了一种含二价铁水镁石材料通过氧化还原反应催化水分解产生氢气的新方法。该方法包括:在厌氧碱性条件下,将二价铁源与镁源共沉淀形成含二价铁水镁石悬浊液;经加热反应促进沉淀生成,并通过水洗离心分离获得纯净固体;将该固体在脱氧水中分散后,在...
  • 本发明提出了一种车用的分布式甲醇制氢机及其工作方法,包括甲醇储存单元、换热单元、甲醇汽化单元、甲醇裂解单元,甲醇储存单通过换热单元与甲醇汽化单元连接,甲醇汽化单元与甲醇裂解单元和换热单元连接成回路以使裂解后的热流体用于预加热甲醇,且汽车发动...
  • 本发明提供了一种基于化学链反应天然气重整制氢系统和方法。该系统包括至少一个固定床反应单元和阀门控制系统;各固定床反应单元均包括依次串联的入口阀门组、至少一个固定床反应器和出口阀门组;各固定床反应器的载氧体装填区的高径比为4‑10 : 1、直...
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