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最新专利技术
  • 一种沉积设备
    一种沉积设备_深圳市新凯来工业机器有限公司_202511468057.9
    本申请公开了一种沉积设备，包括外壳、磁控装置、电源、导电连接件和馈入件。磁控装置包括驱动件、磁控件和联轴器，驱动件安装在外壳上，驱动件设有输出轴，磁控件设有输入轴，输出轴通过联轴器与输入轴连接，并且输出轴和输入轴同轴。电源安装在外壳上，电源...
    2026-03-10
  • 一种基于增厚与退火复合工艺抑制离子束诱导铬/钽酸锂界面起泡的方法
    一种基于增厚与退火复合工艺抑制离子束诱导铬/钽酸锂界面起泡的方法_山东大学_202511378566.2
    本发明涉及一种基于增厚与退火复合工艺抑制离子束诱导铬/钽酸锂界面起泡的方法。包括步骤：(1)将切割好的钽酸锂薄膜进行清洗；(2)通过磁控溅射法在钽酸锂薄膜上沉积铬掩膜，得到镀膜钽酸锂；(3)对镀膜钽酸锂进行退火处理；(4)使用聚焦离子束在退...
    2026-03-10
  • 磁控装置及半导体工艺设备
    磁控装置及半导体工艺设备_北京北方华创微电子装备有限公司_202410978371.0
    本申请公开一种磁控装置及半导体工艺设备，属于半导体技术领域。磁控装置包括背板和多个磁组，多个磁组相配合以形成用于约束等离子体的运动方向的水平磁场，各磁组均包括电磁模块和永磁体，电磁模块和永磁体均设置于背板，电磁模块包括电磁线圈，电磁线圈环绕...
    2026-03-10
  • 一种复合掩膜版及其制备方法
    一种复合掩膜版及其制备方法_重庆翰博显示科技研发中心有限公司_202410962935.1
    本发明涉及光掩膜基版技术领域，具体涉及一种复合掩膜版及其制备方法，包括以下步骤：选择低膨胀系数高分子膜材，并采用等离子进行清洗；在该高分子膜材表面设定的位置上开出带锥角的类圆锥台孔洞；对开出带锥角的类圆锥台孔洞的高分子膜材进行清洗；按照设计...
    2026-03-10
  • 一种不易形变的靶材背板安装结构
    一种不易形变的靶材背板安装结构_湖北海创科技有限公司_202511492356.6
    本发明属于显示屏生产领域，具体涉及一种不易形变的靶材背板安装结构，包括：一个面用于安装靶材且另一个面用于固定的长条状背板，背板固定面的两个长边侧设有若干阶梯状的豁口，背板设有若干个且依次间隔排列；与背板垂直设置的长条状支撑板，背板固定面的两...
    2026-03-10
  • 旋转阴极
    旋转阴极_爱发科股份有限公司_202510778476.6
    根据一实施例的旋转阴极用于溅射装置，是可旋转地分别连接到端块和端盖的旋转阴极，包括；轴，其可以旋转轴为中心旋转；头部连接器，其布置在所述轴的前端部；主体连接器，其布置在所述轴的侧面；电缆，其布置在所述轴的内部，并连接所述头部连接器与主体连接...
    2026-03-10
  • 旋转阴极的电磁铁组件
    旋转阴极的电磁铁组件_爱发科股份有限公司_202510777845.X
    根据一实施例的电磁铁组件，其用于旋转阴极，并可旋转地分别连接至端块和端盖，包括：轴；主体连接器，其布置在所述轴；电磁铁，其与所述轴平行布置；以及电磁铁连接器，其布置在所述电磁铁上，并可拆装地布置在所述主体连接器，所述电磁铁，包括：电磁铁壳体...
    2026-03-10
  • 离子束沉积设备和合金薄膜沉积方法
    离子束沉积设备和合金薄膜沉积方法_江苏鲁汶仪器股份有限公司_202410971224.0
    本申请公开了一种离子束沉积设备及合金薄膜沉积方法，涉及合金制备技术领域，首先根据预沉积的合金薄膜的厚度、合金薄膜中各合金元素的比例和各合金元素的沉积速率，计算得到各合金元素的溅射时间，继而，控制第一离子源产生第一离子束，并控制第一载台旋转，...
    2026-03-10
  • 一种适用于中央有孔的镜片的光学镀膜装置
    一种适用于中央有孔的镜片的光学镀膜装置_上海现代先进超精密制造中心有限公司_202511325331.7
    本发明公开了一种适用于中央有孔的镜片的光学镀膜装置。其包括用于支撑镜片的支撑机构，支撑机构包括锥形块、中心杆以及柔性组件；锥形块的外壁的锥度与镜片的中央的内孔的锥度相匹配，锥形块上开设有至少三个周向排布且用于安装柔性组件的安装孔位；柔性组件...
    2026-03-10
  • 一种光学镀膜装置用镜片夹持机构
    一种光学镀膜装置用镜片夹持机构_上海现代先进超精密制造中心有限公司_202511325330.2
    本发明公开了一种光学镀膜装置用镜片夹持机构。一种光学镀膜装置用镜片夹持机构，包括光学镜片固定在镜座上，光学镜片与镜座组成镜组，镜组通过周向排布的柔性件与行星盘上表面连接；柔性件呈一圆柱体，圆柱体上开设有至少两个从上至下排布的力缓冲槽，相邻的...
    2026-03-10
  • 基板沉积设备和使用该基板沉积设备的基板沉积方法
    基板沉积设备和使用该基板沉积设备的基板沉积方法_三星显示有限公司_202510988092.7
    公开基板沉积设备和使用该基板沉积设备的基板沉积方法。该基板沉积方法包括：将基板放置在基板沉积设备中；以及在所述基板沉积设备中对所述基板执行沉积工艺。所述基板沉积设备包括：工艺室，具有工艺空间；台，在所述工艺室中并且被配置以支撑所述基板；以及...
    2026-03-10
  • 铌酸锂微纳结构表面稀土掺杂二维材料的原位集成方法
    铌酸锂微纳结构表面稀土掺杂二维材料的原位集成方法_中国科学院长春光学精密机械与物理研究所_202511942268.1
    本发明涉及集成光子学与二维材料器件制造技术领域，尤其涉及一种铌酸锂微纳结构表面稀土掺杂二维材料的原位集成方法。包括：对铌酸锂微纳结构基底进行预处理；采用高真空磁控溅射沉积亚纳米金属层，亚纳米金属层厚度小于1nm；在200~250℃惰性气氛下...
    2026-03-10
  • 低摩擦固/脂润滑体系及其制备、使用方法和应用
    低摩擦固/脂润滑体系及其制备、使用方法和应用_中国科学院兰州化学物理研究所_202511443563.2
    本发明涉及低摩擦固/脂润滑体系及其制备、使用方法和应用。该固/脂润滑体系由高熵氮化物涂层与润滑脂组成，所述高熵氮化物涂层沉积于轴承钢基体上，包括Cr过渡层和CrAlVTiNbN高熵氮化物涂层。所述高熵氮化物涂层采用高功率脉冲磁控溅射技术制备...
    2026-03-10
  • 掩模组件及其制造方法
    掩模组件及其制造方法_三星显示有限公司_202510826590.1
    本发明公开了一种掩模组件及其制造方法。本发明的掩模组件包括：掩模支承部，界定有多个单元开口部；掩模，配置在掩模支承部上，并包括与多个单元开口部重叠的多个单元区域以及围绕多个单元区域的周边区域；以及张力部，配置在掩模支承部之下，并与周边区域重...
    2026-03-10
  • 一种粉末冶金材料及制备方法
    一种粉末冶金材料及制备方法_中国航发西安动力控制科技有限公司_202511552537.3
    本发明公开了一种粉末冶金材料及制备方法，涉及材料热处理领域，旨在解决现有工艺制备的粉末冶金材料硬度和耐磨性难以满足航空航天等领域需求的问题。该粉末冶金材料包含基础成分(Si、Mn、S、P、Cr、C)和微量成分(W≤0.5％、Mo1.1‑1....
    2026-03-10
  • 一种42CrMo渗碳淬火和中频感应淬火工艺
    一种42CrMo渗碳淬火和中频感应淬火工艺_徐州徐工传动科技有限公司_202511817738.1
    一种42CrMo渗碳淬火和中频感应淬火工艺，包括如下步骤：S1、对42CrMo轴进行渗碳淬火处理；S2、对轴进行高温回火处理；S3、对轴进行中频感应淬火处理；S4、对轴进行低温回火处理。其中，渗碳淬火处理通过精准控制升温、强渗、扩散、降温、...
    2026-03-10
  • 一种大气等离子喷涂与激光重熔复合工艺制备高熵合金涂层的方法
    一种大气等离子喷涂与激光重熔复合工艺制备高熵合金涂层的方法_新疆大学_202511604760.8
    本发明提供一种大气等离子喷涂与激光重熔复合工艺制备高熵合金涂层的方法，属于表面工程技术领域。所述方法包括以下步骤：首先通过真空气雾化法制备AlCoCrFeNi高熵合金喷涂粉末；随后对基体表面进行喷砂粗化与预热处理；接着采用大气等离子喷涂在基...
    2026-03-10
  • 一种基于增压装置改善小粒径喷涂粉末流动性的方法
    一种基于增压装置改善小粒径喷涂粉末流动性的方法_安徽富乐德科技发展股份有限公司_202511061585.2
    本发明属于喷涂技术领域，具体而言，涉及一种基于增压装置改善小粒径喷涂粉末流动性的方法，公开了一种基于增压装置改善小粒径喷涂粉末流动性的方法，旨在解决小粒径喷涂粉末流动性差，易堵塞且送粉流量不稳定，导致涂层孔隙率高、沉积效率低及重复性差等问题...
    2026-03-10
  • 一种锌锅均匀镀锌生产线
    一种锌锅均匀镀锌生产线_江苏友发钢管有限公司_202511947660.5
    本发明提供了一种锌锅均匀镀锌生产线，属于热镀锌锌锅技术领域，包括基座台面，基座台面的下方设置有锅体，锅体的上方设置有上支架，上支架与外部整体支架结构固定连接，上支架的底部固定连接有多个下支架，下支架的底部转动连接有主轴，还包括：压杆组件，压...
    2026-03-10
  • 用于热浸镀的衬底的预处理
    用于热浸镀的衬底的预处理_通用汽车环球科技运作有限责任公司_202411218696.5
    一种热浸镀系统，包括衬底路径、预涂覆区段、预加热区段和热浸镀区段，所述衬底路径包括被配置成沿着所述衬底路径在第一端和第二端之间移动衬底的一个或多个辊，所述预涂覆区段相对于所述衬底路径布置并且被配置成将第一涂层施加到所述衬底，所述预加热区段相...
    2026-03-10
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