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  • 本发明涉及微机电系统原件制造的技术领域,公开了一种基于MEMS工艺的超快速熔断保险丝器件及其制备方法;所述制备方法,具体包括以下步骤:S101:获取具有良好半导体特性与机械稳定性的单晶硅衬底作为器件的基础支撑结构,在单晶硅衬底底表面生长一层...
  • 本申请公开了一种MEMS器件及其制备方法,涉及半导体器件技术领域。MEMS器件包括由下至上依次层叠布置的衬底层、应力匹配层和掺杂多晶硅结构层,制备方法包括:在衬底层上形成牺牲层并对牺牲层进行图形化,定义出应力匹配层和掺杂多晶硅结构层的锚区;...
  • 本发明公开了一种晶圆键合方法,包括以下步骤:步骤一:提供第一晶圆和第二晶圆,所述第一晶圆的表面具有高深宽比的微结构;步骤二:清洗所述第一晶圆和所述第二晶圆;步骤三:对所述第一晶圆和所述第二晶圆进行真空干燥处理,所述真空干燥处理过程中控制真空...
  • 本发明涉及半导体和MEMS器件技术领域,尤其是一种介质隔离双极IC和压阻MEMS器件的单片集成方法。本发明在第二硅基上表面制备双极IC电路埋层;然后在第二硅基上表面生长单晶硅外延层;在单晶硅外延层上对应双极IC电路的区域制备电路功能区(包括...
  • 一种Ni‑Mn双金属氧化物改性的镁基储氢复合材料及其制备方法,步骤1:在氩气氛围的保护下,将纯镁粉置于反应釜中,获取产物MgH2;步骤2:将硝酸镍水合物与硝酸锰水合物溶于无水乙醇中,向混合溶液中加入尿素,于室温下继续搅拌,然后在四氟聚氯乙烯...
  • 本发明公开了一种钛锰系固态储氢材料及其制备方法,该材料包括按重量份计的以下原料:TiZrVFeMn合金粉末100份、Ti@CNTs 4‑15份和载镍铁抗氧化MXene 1.9‑7.6份;TiZrVFeMn合金粉末中各成分的质量百分含量为:T...
  • 一种双调控的TM(Ni, Co, Fe, )/Ti3C2TX催化氢化镁储氢体系复合材料及其制备方法, 具体包含以下步骤:步骤一:在Ti3C2TX中滴入氯化钠、氯化钴或硝酸铁三种溶液中的任意一种,将所得到的溶液设置超声,随后缓慢加入NaBH4...
  • 本发明涉及储氢材料领域,具体涉及一种新型的镁基复合储氢材料及其制备方法。一种镁基复合储氢材料的制备方法,其特征在于,所述的镁基复合储氢材料包括MOF前驱体NiFe(CN)5和镁粉;前驱体NiFe(CN)5以NiFe(CN)5NO·5H2O为...
  • 本发明公开了一种用于水解制氢的铝镓石墨复合材料及其制备方法,所述铝镓石墨复合材料(Al‑Ga‑C),由铝粉、镓和石墨经高能球磨工艺制备而成,其中铝与镓的原子比为1 : 3至3 : 1,石墨的质量分数为5‑20%,该复合材料在室温中性水环境中...
  • 本申请公开了一种天然气高温裂解制氢方法及系统,属于石油天然气化工生产技术领域。其中,天然气高温裂解制氢方法包括以下步骤:将天然气通入裂解反应器,在1000℃~1200℃下发生裂解反应,生成裂解气和固体碳产物;将裂解气通入变压吸附装置,进行氢...
  • 本发明公开了一种甲烷水蒸汽无催化高效重整制氢气的方法,该方法在常压无催化条件下进行,采用管式反应器,反应温度控制在1100‑1400℃,甲烷与水蒸汽的体积流量比为1 : 1~2 : 1,气体在反应器中的停留时间为15秒。本发明制备氢气的方法...
  • 本发明公开了一种硼氢阴离子B11H14-的合成方法。所述合成方法以硼氢化物及卤代烷烃为原料,在有机溶剂中充分热解制备前体盐,将前体盐与季铵盐进行离子交换反应使得无机硼氢化合物转化为有机季铵盐,之后采用不良溶剂实现结晶纯化目的。本发明可以高效...
  • 本发明涉及一种高纯溴化氢的制备方法,所述制备方法包括如下步骤:使用改性硅胶脱除脱水溴素中的不挥发有机物,使不挥发有机物的含量为0.005wt%以下,得到纯化溴素;纯化溴素气化为溴蒸汽,使氢气与所述溴蒸汽反应,得到溴化氢气体;溴化氢气体经过后...
  • 本发明涉及含氟有机物处理领域,具体涉及一种含氟有机物的处理方法、含有含氟有机物的氯化氢净化方法、氯气的制备方法以及金属氟化物的制备方法。所述含氟有机物的处理方法包括:在氯化氢存在下,使得含氟有机物与金属化合物接触,生成金属氟化物,其中,所述...
  • 本发明公开了一种连续化燃烧制备硫化锂的方法,方法步骤如下:将金属锂融成液态,再通过喷雾喷头按照一定速率喷射到燃烧室内形成锂雾滴;将单质硫加热得到硫蒸气,并通过流量计按照一定流速通入燃烧室内;硫蒸气在燃烧室内与锂雾滴进行反应生成硫化锂粗粉,生...
  • 本发明提供一种基于工业废盐资源化制备高纯度硫化锂的工艺,包括:S1、取含硫废盐和废炭材料混合,经造粒、还原煅烧和分离纯化,得到固体硫化钠;S2、将所得固体硫化钠和氯化锂混合球磨,加入催化剂和乙醇的混合物,催化反应得到硫化锂粗品;S3、将所得...
  • 本发明提供一种工业废硫资源化制备硫化锂的方法,包括:S1、取含硫废盐和废炭材料混合,经催化造粒、还原煅烧和酸性浸出,得到含硫化物的混合气;S2、将所得含硫化物的混合气和氢氧化锂在射流反应器中反应得到硫化锂粗品;S3、将所得硫化锂粗品和硫化钠...
  • 本发明属于优级纯硫酸生产技术领域,具体涉及一种优级纯硫酸生产工艺。包括如下步骤:S1、将进入优级纯硫酸装置的烟气引入到洗涤塔(1)中,进行洗涤除杂处理;S2、将步骤S1处理后的烟气引入到吸收塔(3)中,进行氧化处理后排出即可。本发明采用烟酸...
  • 本发明提出了一种低浓度二氧化硫冶炼酸性气生产浓硫酸的装置及其生产工艺,属于制备浓硫酸装置领域。解决了现有生产浓硫酸工艺流程长、投资大、能耗高,并且生成的硫酸浓度低,废液产生不经济环保的问题。本发明采用除尘+预热+反应转化+冷凝成酸的化工过程...
  • 本发明提供了一种硫酸法钛白废酸中钛回收与全组分资源化协同处理方法,包括以下步骤:扩散渗析分离、硫酸浓缩、金属分离、钛组分回用、铁锰沉淀、沉淀废液处理;本发明的硫酸法钛白废酸中钛回收与全组分资源化协同处理方法,通过“扩散渗析+萃取和/或吸附”...
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