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一种非接触感应加热晶圆载台以及半导体刻蚀设备
本发明涉及半导体设备技术领域,更具体地说,涉及一种非接触感应加热晶圆载台以及半导体刻蚀设备。本发明的晶圆载台,至少包括:导热层,用于接触并加热晶圆;冷盘,内部设有冷却水道,以实现对晶圆降温;感应底盘,用于在交变电磁场作用下产生涡流并发热;感...
玻璃基板、制备方法和半导体器件
本申请实施例公开了一种玻璃基板、制备方法和半导体器件,玻璃基板包括了基板本体,基板本体上形成有多个单元模块,单元模块可以为半导体器件的功能单元,或需要形成功能器件的区域,后续需要对基板本体进行切割以获取多个玻璃基板或半导体器件。密封环组中每...
一种用于烟气污染物的自清洁旋转放电等离子装备
本申请涉及一种用于烟气污染物的自清洁旋转放电等离子装备,属于大气污染物处理的技术领域,其包括支撑外筒、同轴设置于支撑外筒内的第一正压电极柱、旋转布置于第一正压电极柱的外侧且与第一正压电极柱同轴布置的负压电极柱、布置于负压电极柱的外侧且与第一...
一种自封袋生产用导向装置
本实用新型公开了一种自封袋生产用导向装置,属于自封袋生产加工装置技术领域,包括底座,焊接在所述底座表面的导料架,以及等距转动连接在所述导料架内部的导向轮,所述导料架的末端位置固定连接有轴杆,所述轴杆的外部安装有导料框且为活动连接,所述导料框...
一种可配置电感和可配置电容无线电能传输的电源装置
本发明公开了一种可配置电感和可配置电容无线电能传输的电源装置,包括谐振腔电路和次级补偿电路,谐振腔电路包括初级谐振电感和初级谐振电容,次级补偿电路包括次级补偿电容;初级谐振电容包括多个并联的不同电容量的初级谐振电容;初级谐振电感包括多个并联...
一种电力施工用加强四位街码
本实用新型涉及街码装置技术领域,具体涉及一种电力施工用加强四位街码,包括两组固定板和调整组件,固定板之间设置有安装板结构,且调整组件中包括定位板和设置于定位板之间的螺纹杆,螺纹杆中设置有定位组件,定位组件的顶端设置有绝缘子,定位组件中包括滑...
一种免布线蓝牙开关
本实用新型公开了一种免布线蓝牙开关,包括波谷取电电路以及波峰增流电路,所述波谷取电电路采用一整流桥连接电器控制开关的火线,整流桥的正极输出端经可控硅以及第一开关晶体管和二极管输出降压电源1级,为通电信号发生电路提供工作电源;所述第一开关晶体...
一种油绝缘三相一体式换流变系统
本申请提供了一种油绝缘三相一体式换流变系统,系统包括:设置二极管阀以及直流侧出线和换流变阀侧出线的换流阀,设置三相绕组结构,各相绕组结构包括网侧出线、阀Y侧出线和阀D侧出线的三相三绕组换流变压器;顶部设置有直流套管,侧壁连通有换流变阀侧套管...
用于散热的风道控制方法、控制装置和机框装置
本公开涉及一种用于散热的风道控制方法、控制装置、机框设备和存储介质。所述用于散热的风道控制方法包括:获取机框内热量生成组件的位置信息以及可调导风组件的位置信息;获取指示所述热量生成组件的温度的组件温度信息和指示所述热量生成组件的不同于温度的...
一种双层通道主动流动控制液冷装置及方法
本发明属于半导体器件散热器领域,具体涉及到一种双层通道主动流动控制液冷装置及方法,其中双层通道主动流动控制液冷装置包括散热通道和射流装置;所述散热通道包括相互隔绝的通道Ⅰ和通道Ⅱ,所述通道Ⅰ和通道Ⅱ具有共同的介质入口和介质出口;所述通道Ⅰ内...
室外人机扫地机
本实用新型属于人力半自动扫地领域,提供了室外人机扫地机,包括:车架,车架的顶部开设有相互对称的安装槽,车架底部的一侧架设有脚踏轴架,脚踏轴架上套设有可移动的动力飞轮,动力飞轮上方的车架内部活动安装有调节架;传动齿轮组,传动齿轮组架设于脚踏轴...
逆变器的散热方法以及热泵系统
本发明公开了一种逆变器的散热方法以及热泵系统,逆变器设置于热泵系统,热泵系统包括热水箱,热水箱被配置为存储热泵系统制热水模式下制取的生活热水,逆变器中设置有散热管路,热水箱与散热管路连接,散热方法包括:实时检测逆变器的第一温度;当第一温度满...
玻璃通孔及其制备方法
本申请公开了一种玻璃通孔及其制备方法,包括:在玻璃衬底的表面上形成光刻胶掩膜;执行第一刻蚀步骤,使用滤除了带电粒子的第一气体和第二气体的等离子体,对玻璃衬底的露出表面进行各向同性的第一刻蚀,形成通孔中间结构,并在其内壁和光刻胶掩膜上形成第一...
用于承载晶片之具有疏水薄层的卷带薄膜及其制造方法
本发明提供一种用于承载晶片的卷带薄膜,包含绝缘基板,具有前面、后面及介于所述前面及所述后面的侧面;配线图案形成于所述绝缘基板的所述前面;防焊层形成于所述绝缘基板的所述前面且部份地覆盖所述配线图案;以及疏水薄层形成于所述卷带薄膜的表面,其中所...
高深宽比玻璃通孔的制备方法及玻璃通孔
本申请公开了一种高深宽比玻璃通孔的制备方法及玻璃通孔,包括:在衬底的表面上形成光刻胶掩膜;执行第一刻蚀步骤,使用滤除了带电粒子的第一气体的等离子体,对衬底进行各向同性的第一刻蚀,并在形成中的通孔内壁和光刻胶掩膜上形成第一聚合物层进行保护;执...
电动机驱动装置
本发明提供一种电动机驱动装置。该电动机驱动装置能够容易地更换风扇电动机单元,并且在更换风扇电动机单元时不会污染电动机驱动装置主体的内部。安装于控制板的电动机驱动装置包括:电动机驱动装置主体;散热器,其配置于电动机驱动装置主体的背面侧;风扇电...
一种局部散热式叠层母排结构
本实用新型属于电解电容连接设备技术领域,具体涉及一种局部散热式叠层母排结构,包括导体层和散热片,所述导体层包括第一母排和第二母排,三个所述散热片分别设置在所述第一母排的顶部、所述第二母排的底部以及第一母排的底部和第二母排的顶部之间;其中,所...
半导体封装及其制造方法
一种半导体封装包括:封装衬底;中间衬底,在封装衬底上;光引擎单元,在中间衬底上;逻辑器件,与光引擎单元相邻,并且在中间衬底上;以及存储器件,与逻辑器件相邻,并且在中间衬底上,其中,光引擎单元包括第一再分布衬底、第一再分布衬底上的光子集成电路...
屏幕组件穿排线装置及其方法
本公开涉及一种屏幕组件穿排线装置及其方法。其中,屏幕组件穿排线装置包括屏幕组件拾取机构,用于拾取带有排线的屏幕;理排线机构,用于夹持限位排线;移动机构,驱动屏幕组件拾取机构及理排线机构移动,将被夹持限位的排线穿入中框对应的通孔。本公开通过理...
电子设备
本申请提供一种电子设备,该电子设备包括壳体、电路板、摄像头支架及紫外成像系统,电路板设于壳体内;摄像头支架设于电路板上;紫外成像系统包括发射模块和接收模块,发射模块和接收模块彼此独立封装,发射模块用于发射紫外光线,接收模块用于接收目标物体反...
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