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一种用于纳米压印拼版设备的晶圆搬运机械手
本发明公开了一种用于纳米压印拼版设备的晶圆搬运机械手,涉及晶圆加工设备领域,包括:壳体,以及安装在壳体侧部的若干个呈竖直等距分布的托板,托板呈Y型,且托板的分叉端位于壳体的外部,壳体的内部固定装配有两个呈竖直状的光轴,且光轴滑动贯穿托板,壳...
一种基于模块化微纳光学结构模版制备方法以及模版
本发明揭示一种基于模块化微纳光学结构模版制备方法,包括以下步骤:提供一基元库,所述基元库中包括若干基础纹理模块;目标图像设计,通过图像形成机构形成目标图像;对所述目标图像进行分析,并进行分割,得到若干子图像模块,其中至少存在两个子图像模块的...
一种耐刻蚀性复合硬掩膜的制备方法及其应用
本发明涉及一种耐刻蚀性复合硬掩膜的制备方法及其应用,包括以下步骤:S1、在待刻蚀的基底表面上旋涂负性光刻胶,经软烤后固化得到底层光刻胶层;S2、在底层光刻胶层上旋涂正性光刻胶,经软烤后固化得到顶层光刻胶层;S3、在顶层光刻胶层上覆盖具有预设...
掩膜图的光学邻近校正方法、装置、设备及存储介质
本发明涉及半导体加工工艺技术领域,公开了一种掩膜图的光学邻近校正方法、装置、设备及存储介质,该掩膜图的光学邻近校正方法包括对待加工晶片的抛光面进行形貌预测,获得抛光面形貌信息;根据所述抛光面形貌信息对仿真光学模型中的焦平面参数进行修正;利用...
自动添加光学邻近校正图形的方法、系统及存储介质
本发明公开一种自动添加光学邻近校正图形的方法、系统及存储介质,该方法包括:获取待校正的原始版图数据;加载预先生成的光学邻近校正规则脚本,光学邻近校正规则脚本包含用于驱动设计规则检查工具执行图形创建与修改操作的指令代码;通过设计规则检查工具执...
一种多波长半导体激光数字照明装置
本发明公开了一种多波长半导体激光数字照明装置,属于投影技术领域,包括壳体机构,所述壳体机构的内部固定设置有合光机构,所述合光机构用于调节光线输出方向,所述绿光机构的内部安装有集束机构,所述集束机构用于整合光线。本发明通过设置合光机构、集束机...
一种三色激光投影光源驱动及智能恒温控制系统
本发明涉及投影显示技术领域,且公开了一种三色激光投影光源驱动及智能恒温控制系统,系统包括三色激光光源驱动模块、制冷器驱动模块、温度监控模块、智能恒温控制模块、微处理器集中控制模块。系统通过高效率光源驱动芯片单元实现三色激光光源的恒流驱动,本...
激光投影光学系统及投影设备
本申请公开了一种激光投影光学系统及投影设备,包括激光光源、第一照明光路、全反射棱镜组、相位光调制器件、第二照明光路、显示器件和镜头。通过设置全反射棱镜组,可以将激光光束以最佳角度全反射至相位光调制器件,使相位光调制器件达到最高的衍射效率。还...
一种可折叠式柔光箱卡盘
本发明提供了一种可折叠式柔光箱卡盘,包括有呈环状结构的第一伞盘座、呈弧状或半环状结构的第二伞盘座和第一锁定机构;在第一伞盘座的外周设有第一支撑件,在第二伞盘座的外周设有第二支撑件;所述第二伞盘座转动连接于第一伞盘座。本发明通过第二伞盘座相对...
一种电磁驱动式镜头光圈调节装置
本发明涉及镜头光圈技术领域,公开了一种电磁驱动式镜头光圈调节装置,包括:镜头上设有电磁驱动器,电磁驱动器连接旋转载体,旋转载体上开设轨道,层叠的光圈叶片通过导杆与轨道导向连接,镜头盖上设有玻璃;还包括摆清部和挤润部。摆清部转动设置在电磁驱动...
相机模块和光学装置
本发明涉及相机模块和光学装置。一方面,涉及一种相机模块,包括:基部;壳体,其与基部间隔开;线圈架,其以可移动的方式联接至壳体;透镜,其联接至线圈架;线圈和磁体,其构造成使线圈架沿光轴方向移动;形状记忆合金构件,其构造成使壳体相对于基部沿与光...
透镜驱动装置及包括透镜驱动装置的摄像头模块和光学设备
本发明涉及透镜驱动装置及包括透镜驱动装置的摄像头模块和光学设备。实施方式包括:基板;壳体,壳体包括彼此面对的第一侧部部分和第二侧部部分以及彼此面对的第三侧部部分和第四侧部部分;布置在壳体内部的绕线架;布置在绕线架上的第一线圈;以及布置在壳体...
一种云台机构
本发明提供了云台机构。本发明的云台机构,包括基座、设置于基座的防抖机构、设置于防抖机构的镜头模组、以及装配于基座内且电性连接于防抖机构的控制电路板,云台机构还包括设置于基座的磁吸结构,磁吸结构用于与设置有陀螺仪的外部设备磁吸固定;云台机构设...
可调的手性液晶量子门及其制备方法、量子态制备装置
本发明提供一种可调的手性液晶量子门及其制备方法、量子态制备装置。手性液晶量子门基于手性液晶层实现,手性液晶层包括向列相液晶、右手性掺杂剂和左手性掺杂剂,手性液晶层具有周期性的右旋螺旋结构,且螺距随温度变化而变化;当作用于单光子量子比特时,手...
熔石英光学元件紫外激光损伤抑制方法及装置
本发明涉及超快激光技术领域,具体涉及熔石英光学元件紫外激光损伤抑制方法及装置,所述方法包括:获取氧‑18同位素丰度高于天然丰度的氧‑18改性DKDP晶体;将氧‑18改性DKDP晶体制备为匹配预设紫外激光波长的波片;在激光惯性约束聚变装置的紫...
一种基于VO2的非线性光限幅器件及其制备方法
一种基于VO22的非线性光限幅器件及其制备方法,它涉及一种非线性光限幅器件及其制备方法。本发明要解决现有VO22单膜构成的光限幅器透过开关比较小,频段较宽且复杂,难以满足高功率光能量限幅要求的问题。光限幅器件从下至上依次由透明基底、VO22...
可用于光学相控阵的铌酸锂八通道分束器及制备方法
本发明公开了可用于光学相控阵的铌酸锂八通道分束器,包括硅基底、二氧化硅缓冲层、铌酸锂芯层和二氧化硅包层;二氧化硅缓冲层附在硅基底上,铌酸锂芯层设置在二氧化硅缓冲层上;二氧化硅包层附在铌酸锂芯层上且包裹住所述的铌酸锂芯层;铌酸锂芯层包括依次连...
电光调制器
本公开提供一种电光调制器,涉及通信技术领域。该电光调制器包括:输入光波导,用于接收光载波;第一光分束器,与输入光波导的输出端相连,用于将光载波分为功率相等的第一光束和第二光束;第一调制臂,与第一光分束器相连,用于接收并传导第一光束,并根据调...
相干调制器及其制作方法、偏振复用相干调制系统
本发明涉及相干调制器技术领域,提供了一种相干调制器,包括I‑MZM、Q‑MZM以及第一多模干涉器,输入光经过所述I‑MZM输出第一调制信号光,输入光经过所述Q‑MZM调制输出第二调制信号光,所述第一多模干涉器用于所述第一调制信号光和所述第二...
一种强度-相位混合硅基光子调制器
本发明属于光计算技术领域,具体为一种强度‑相位混合硅基光子调制器。本发明混合硅基光子调制器包括马赫‑曾德尔干涉仪的两臂或微环谐振器上集成由离子注入形成的PIN微加热器,并在微加热器上方的窗口中沉积有相变材料和保护层;在微加热器两端的金属电极...
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