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一种折转光路空间距离非接触测量方法及调试结构
本发明涉及一种折转光路空间距离非接触测量方法及调试结构,属于光学精密设备空间位置测量技术领域,解决折转光路空间距离测量精度低、镜面易损伤的技术问题,其非接触测量方法包括安装分划板,引出光轴;对折转光路两侧镜组光轴进行自准穿心;测量折转光路两...
一种基于气体透过压力检测折叠滤芯孔径均匀性装置及方法
本发明公开了一种基于气体透过压力检测折叠滤芯孔径均匀性装置及方法。该装置包括真空浸润模块、压力检测模块、智能分析模块,装置以乙醇为浸润液,通过真空浸润模块、压力检测模块与智能分析模块的协同工作,实现折叠滤芯孔径均匀性的非破坏性检测。该方法采...
一种基于激光位移传感器的管道内径高精度拟合方法
该发明公开了一种基于激光位移传感器的管道内径高精度拟合方法,涉及工业测量、三维建模与智能检测技术领域。本发明将激光三角测距、360°周向旋转扫描与模数标定‑迭代补偿‑姿态误差校正‑统计滤波‑圆拟合的算法链路一体化,在封闭小口径管道内实现亚毫...
激光投影法氧弹弹筒直径形变量检测装置及方法
本发明公开了一种激光投影法氧弹弹筒直径形变量检测装置,包括准直激光部件、CCD采集电路、显示屏和主控芯片,待测氧弹设于所述准直激光部件和CCD采集电路之间;所述主控芯片分别与所述准直激光部件、CCD采集电路、LCD显示屏连接,主控芯片用于控...
一种精密离心机静态半径测量装置及方法
本发明属于测量技术领域,公开了一种精密离心机静态半径测量装置及方法,该测量装置包括与精密离心机主轴同轴安装的殷钢定位环;殷钢定位环外周面正交的四个方向上安装有4个第一反射镜组件;待校惯性仪表安装平台所在径向上安装有调整机构;调整机构包括用于...
一种林业调查用便携式林木胸径与树高快速测量装置
本发明涉及激光测量技术领域,尤其涉及一种林业调查用便携式林木胸径与树高快速测量装置,包括第一测量架第二测量架和防护罩,所述第一测量架的端壁与第二测量架的端壁铰接在一起。本发明通过设置的防护罩,使得将防护罩翻转至于第一测量架和转向块的端面平行...
一种轴生产用外周激光测量装置
本申请公开了一种轴生产用外周激光测量装置,涉及激光测量技术领域,包括机架、轴类零件、料盘组件、显示屏、移料组件与外径测量单元,外径测量单元带有沿轴类零件外侧周向移动测量的激光测头,所述激光测头通过滑块对偏移时的轴类零件进行位移补偿,保证测量...
一种PCB板铜厚与线宽均匀性检测方法及系统
本发明属于PCB板检测技术领域,具体公开一种PCB板铜厚与线宽均匀性检测方法及系统,通过将PCB板面分为多个检测区域,在每个检测区域进行铜厚均匀性和线宽均匀性检测,构建空间关联与时间连续性双重维度的均匀性评估机制,实现对各检测区域在电镀过程...
一种基于多层感知机的二氧化硅薄膜厚度测量方法及系统
本发明提出了一种基于多层感知机的二氧化硅薄膜厚度测量方法及系统,属于薄膜厚度测量技术领域,包括:采用成像椭偏系统对二氧化硅薄膜样品进行测试获得光强数据,对所述光强数据进行预处理并求解傅里叶系数得到薄膜椭偏参数的平面分布;基于所述薄膜椭偏参数...
一种通过高温色计算钛合金超薄氧化膜厚度的方法及系统
本发明属于航空发动机钛合金零部件服役性能技术领域,提供了一种通过高温色计算钛合金超薄氧化膜厚度的方法及系统,所述方法包括:对钛合金零部件在高温服役后的表面目标区域进行适用性检测;对通过适用性检测的,通过测色计获取钛合金表面高温色的反射光谱,...
一种氧化钇薄膜厚度及宽波段光学常数的检测方法
本申请提供一种氧化钇薄膜厚度及宽波段光学常数的检测方法,包括以下步骤:预设四个高斯振子的中心频率,分别对应氧化钇本征吸收峰、水分子氢键吸收峰以及羟基吸收峰;将四个中心频率及高频介电常数设为预设固定值,且预设固定值根据氧化钇薄膜的固有吸收特征...
一种用于测量机械臂取片端绝对高度差的装置
本发明属于半导体机械臂制造与检验设备领域,具体地说是一种用于测量机械臂取片端绝对高度差的装置,包括底座、回转支承轴承、旋转框架、立架、上安装板、校准平台、激光测距传感器。本发明通过底座、回转支承轴承、旋转框架、立架、上安装板、校准平台、激光...
测量管壁厚度的设备
本发明公开一种测量管壁厚度的设备,该设备包括:第一载体,包括彼此嵌套连接且可相对活动的第一伸缩部和第二伸缩部;多个驱动部,与第一载体连接,每个驱动部具有第一电机和对应的驱动轮,驱动部可进行伸缩;第二载体,其一端与第二伸缩部连接;多个从动轮,...
汽轮机汽缸开缸高度监测用辅助组件、监测用装置和监测方法
本申请实施例提供一种汽轮机汽缸开缸高度监测用辅助组件、监测用装置和监测方法,包括:筒体和反射体;其中,筒体可连接于螺帽压紧面;筒体包括相连接的筒壁和筒顶,筒顶包括远离筒壁一侧的第一平面;第一平面形成有至少四个用于固定激光测距传感器的安装位,...
一种燃料电池质子交换膜厚度测试装置及方法
本申请提供了一种燃料电池质子交换膜厚度测试装置,其包括光学探测器、载物反射镜组件和第一固定反射镜;激光发射器,其用于发射目标光束;分光部件,其用于将光束反射至载物反射镜组件上,并通过第一固定反射镜将光束反射至光学探测器上,得到干涉图像;载物...
一种可用于激光沉积镀膜厚度检测的干涉测量系统
本发明属于测量技术领域,涉及一种可用于激光沉积镀膜厚度检测的干涉测量系统,包括激光模块、外差调制模块、空间光路模块、数据采集模块与数据处理模块。本发明通过得到一对具有固定频差的参考光与观测光,再通过空间光路模块将一对具有固定频差的参考光与观...
一种用于晶圆形貌膜厚检测的双远心阵列光纤光路系统
本发明属于形貌、膜厚检测技术领域,提供一种用于晶圆形貌膜厚检测的双远心阵列光纤光路系统,包括白光光源、多芯光纤分光模块、第一阵列光纤接头、双远心分光光路、第二阵列光纤接头和光谱仪;多芯光纤分光模块包括多个逆用的1×2的耦合器,多个耦合器的第...
一种光学薄膜参数无损测量设备及方法
本发明公开了一种光学薄膜参数无损测量设备及方法,包括样品台,所述样品台上设置有通光孔,所述样品台用于放置薄膜样品,所述样品台内部为中空的光阱,所述光阱用于吸收穿过所述薄膜样品的透射光;所述测量设备还设置有光学测量系统,所述光学测量系统中设置...
一种轻量化岩土体变形及运动监测系统及方法
一种轻量化岩土体变形及运动监测系统及方法,属于地质灾害监测技术领域。技术方案:图像采集模块采集目标区域的图像序列;数据存储与传输模块用于图像缓存与远程传输;数据处理与分析模块包括点跟踪单元、深度计算与矫正单元、坐标转换与位移计算单元,分别用...
一种双峰光谱峰值波长定位方法、电子设备及存储介质
本申请公开了一种双峰光谱峰值波长定位方法、电子设备及存储介质,涉及光谱共焦系统技术领域。方法包括:S1、对采集到的光谱信号进行快速傅里叶变换,得到光谱信号的幅度谱和相位谱;S2、对相位谱进行相位解缠绕处理,以获得连续的相位值;S3、基于幅度...
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