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最新专利技术
  • 研磨装置及研磨装置的控制方法
    研磨装置及研磨装置的控制方法_株式会社荏原制作所_202511217993.2
    本发明涉及一种研磨装置及研磨装置的控制方法，控制研磨装置以在适当的时机实施修整。研磨装置的控制器基于由测定装置测定出的研磨垫的研磨面的状态，决定预测为研磨垫的研磨能力低于阈值水平的时机，从动作计划中的多个空闲时间段中确定预测时机来临前的空闲...
    2026-04-19
  • 基于重力补偿的平面自适应无级加压研磨装置
    基于重力补偿的平面自适应无级加压研磨装置_浙江工业大学_202610074431.5
    本发明的基于重力补偿的平面自适应无级加压研磨装置包括机架、上研磨组件、下研磨组件、无级加压模块和恒力磁弹簧；无级加压模块包括与上研磨组件相连接的浮动法兰板和液体容器，液体容器通过水管和计量泵与水箱相连接，在抛光时可以通过向液体容器内加液体来...
    2026-04-19
  • 一种减少抛光片浅坑的方法
    一种减少抛光片浅坑的方法_上海中欣晶圆半导体科技有限公司_202511569085.X
    本发明涉及半导体材料加工技术领域，特别是涉及一种减少抛光片浅坑的方法，所述方法包括如下步骤：1)将硅片进行清洗；2)随后，对清洗后的硅片进行刷洗和干燥处理；3)将刷洗后的硅片贴付至抛光承载器上；4)将贴付有硅片的抛光承载器安装于抛光机上，使...
    2026-04-19
  • 一种抛光装置
    一种抛光装置_江苏元夫半导体科技有限公司_202411207157.1
    本申请提供一种抛光装置，抛光装置包括：固定安装座、支撑件、抛光件、转动轴承以及电机组件，固定安装座为环形件，沿竖直方向，固定安装座包括上表面和下表面，上表面上开设有环形安装槽；沿竖直方向，支撑件可转动地设置于固定安装座的上表面上方；抛光件设...
    2026-04-19
  • 一种晶圆平坦化方法及晶圆平坦化系统
    一种晶圆平坦化方法及晶圆平坦化系统_北京晶亦精微科技股份有限公司_202511834416.8
    本申请涉及晶圆平坦化技术领域，提供一种晶圆平坦化方法及晶圆平坦化系统。晶圆平坦化方法包括：在晶圆的平坦化研磨过程中，实时同步进行以下步骤：采用SLD光源，使用低相干干涉技术照射研磨中的晶圆，接收晶圆的上表面的反射光和下表面的反射光，获得干涉...
    2026-04-19
  • 一种新能源材料加工用化学机械抛光装置
    一种新能源材料加工用化学机械抛光装置_浩通景维新能源材料技术(常州)有限公司_202512012227.9
    本发明涉及新能源材料加工技术领域，具体涉及一种新能源材料加工用化学机械抛光装置，包括箱体，包括，上料单元，包括设置于箱体上的上料机构，以及设置于上料机构上用于固定并带动工件旋转的承载机构，抛光单元、包括设置于箱体上的抛光机构；通过优化压力控...
    2026-04-19
  • 抛光头组件、化学机械抛光系统及晶圆的制备方法
    抛光头组件、化学机械抛光系统及晶圆的制备方法_西安奕斯伟材料科技股份有限公司_202511911677.5
    本申请实施例提供了抛光头组件、化学机械抛光系统及晶圆的制备方法。该抛光头组件包括：刚性基座；弹性承载件，设置于所述刚性基座的一侧，所述弹性承载件具有背离所述刚性基座且用于承载晶圆的承载面；厚度检测组件，设置于所述刚性基座上，且位于所述弹性承...
    2026-04-19
  • 晶圆研磨设备及晶圆研磨方法
    晶圆研磨设备及晶圆研磨方法_中芯国际集成电路制造(上海)有限公司_202411205218.0
    本申请实施例提供一种晶圆研磨设备及晶圆研磨方法，所述晶圆研磨设备包括：晶圆夹取装置，用于夹取待研磨晶圆至预定工作位置，且预定工作模式下所述晶圆夹取装置绕轴线旋转；基础研磨垫，位于所述预定工作位置的侧面，所述基础研磨垫与预定工作位置的预定工作...
    2026-04-19
  • 一种油压驱动珩磨头的压力自适应调控方法
    一种油压驱动珩磨头的压力自适应调控方法_青岛颂工自动化科技有限公司_202610156572.1
    本申请公开了一种油压驱动珩磨头的压力自适应调控方法，其涉及珩磨头压力控制评估技术领域，通过集成多源传感器数据，包括珩磨头振动振幅、油压系统压力波动频率以及主轴电机负载电流，综合计算珩磨状态指数，从而精准评估加工状态。技术效果体现在能够自动识...
    2026-04-19
  • 一种用于丸粒化种子的智能干燥抛光系统
    一种用于丸粒化种子的智能干燥抛光系统_鄂尔多斯市华冠中元科技有限公司_202610089593.6
    本发明涉及丸粒干燥抛光技术领域，尤其涉及一种用于丸粒化种子的智能干燥抛光系统；该系统包括转动模块、第一图像采集模块、干燥阶段识别模块、第二图像采集模块以及参数优化模块。本发明通过在干燥阶段捕捉丸粒表面图像，实现对干燥进程的实时、无损监测，通...
    2026-04-19
  • 一种磁抛光装置及方法
    一种磁抛光装置及方法_香港理工大学_202411218934.2
    本申请提供一种磁抛光装置及方法，该磁抛光装置用于对至少一个待抛光工件进行抛光，该磁抛光装置包括抛光腔室、磁组件以及多个夹具；抛光腔室用于盛放抛光液；磁组件设置在抛光腔室的外壁上，并被配置为可绕着抛光腔室的外壁周向运动，以带动抛光液；夹具具有...
    2026-04-19
  • 一种金属制品生产加工用废料回收处理设备及处理方法
    一种金属制品生产加工用废料回收处理设备及处理方法_凤阳爱尔思轻合金精密成型有限公司_202511987468.9
    本发明涉及金属资源循环利用技术领域，具体的是一种金属制品生产加工用废料回收处理设备及处理方法，包括处理桶，处理桶两侧设有对其进行滑动托放的支撑架，处理桶中部转动安装中心杆，处理桶两侧设有与支撑架连接的驱动单元，本发明通过驱动单元带动中心杆环...
    2026-04-19
  • 提升齿面接触疲劳强度的金属加工制造用锻压装置
    提升齿面接触疲劳强度的金属加工制造用锻压装置_广州英睿金属机械有限公司_202610064947.1
    本发明公开了提升齿面接触疲劳强度的金属加工制造用锻压装置，涉及金属锻压及抛光技术领域。该提升齿面接触疲劳强度的金属加工制造用锻压装置，包括箱体，箱体的后侧顶部设置有支撑架，箱体的内部活动连接有旋转驱动设备；支撑架的顶部固定连接有电动推杆，电...
    2026-04-19
  • 筒形工件内外壁抛光装置
    筒形工件内外壁抛光装置_浙江弘旭智能科技有限公司_202610162640.5
    本发明涉及抛光设备技术领域，具体的说是筒形工件内外壁抛光装置，包括工作台、驱动组件、上料组件、下料组件、内抛组件与外抛组件；通过上料组件与驱动组件联动，实现了筒形工件的自动上料与精确定位，压轮随转架摆动压紧工件，第一挡条与第二挡条的开合以放...
    2026-04-19
  • 一种高精度镜面辊的抛光装置及方法
    一种高精度镜面辊的抛光装置及方法_常州市联丰镜面辊制造有限公司_202610021374.4
    本发明涉及抛光技术领域，且公开了一种高精度镜面辊的抛光装置，包括抛光机和壳体，壳体外侧安装有电机，电机的输出轴设置有第一齿轮，壳体侧部滑动设置有连接板，连接板外侧安装有固定杆，固定杆端部转动安装有第二齿轮，第二齿轮中部插设有第一转轴，第一转...
    2026-04-19
  • 一种用于碳化硅晶片抛光装置及抛光方法
    一种用于碳化硅晶片抛光装置及抛光方法_青岛金汇源电子有限公司_202610148130.2
    本发明涉及碳化硅晶片抛光技术领域，且公开了一种用于碳化硅晶片抛光装置及抛光方法，包括控制柜，所述控制柜的表面固定连接有透明玻璃，所述控制柜的表面铰接有柜门，所述控制柜的下表面连通有排放阀，所述控制柜的内部设置有固定部件；所述固定部件包括精密...
    2026-04-19
  • 一种连续式拨叉槽抛光装置
    一种连续式拨叉槽抛光装置_安徽凯宇机械制造有限公司_202511903647.X
    本发明公开了一种连续式拨叉槽抛光装置，涉及拨叉加工技术领域，包括切换转盘和固定部件，所述切换转盘上端阵列设有若干个固定部件，所述操作台上端设有抛光部件和下料部件，所述固定部件包括承载座，所述承载座底端固定设有铰接座，所述承载座上端设有夹持机...
    2026-04-19
  • 一种碳化硅晶棒的切割方法
    一种碳化硅晶棒的切割方法_宁波阿尔法半导体有限公司_202610163151.1
    本申请公开了一种碳化硅晶棒的切割方法，包括：提供待切割晶棒，晶棒具有一沿轴向延伸的圆弧形外周面；确定晶棒在切割方向上的入刀顶点，并在入刀顶点处粘接牺牲组件，牺牲组件覆盖入刀顶点并沿晶棒的轴向延伸，粘接剂形成刚性粘接胶层，控制切割线网沿垂直于...
    2026-04-19
  • 一种建筑钢管用自动打磨除锈装置
    一种建筑钢管用自动打磨除锈装置_雅安城投工匠建设工程有限公司_202610165291.2
    本发明涉及建筑钢管除锈技术领域，具体公开了一种建筑钢管用自动打磨除锈装置，包括直接置于地面使用的底箱和设置在底箱顶部的打磨箱，打磨箱的内部穿过钢管进行打磨使用；所述打磨箱包括自前端向后端设置的前驱箱、前磨箱和后磨箱，所述前驱箱、前磨箱和后磨...
    2026-04-19
  • 一种废料金属的表面打磨装置
    一种废料金属的表面打磨装置_四川明珠金属材料有限公司_202511808613.2
    本发明公开了一种废料金属的表面打磨装置，涉及金属打磨领域，包括打磨底座和打磨机构，所述打磨机构设置在打磨底座的上方，所述打磨底座的顶面开设有矩形打磨槽，所述打磨底座内开设有安装腔，所述矩形打磨槽连通安装腔，且所述矩形打磨槽位于安装腔的内圈，...
    2026-04-19
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