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  • 本申请公开了一种轴生产用外周激光测量装置,涉及激光测量技术领域,包括机架、轴类零件、料盘组件、显示屏、移料组件与外径测量单元,外径测量单元带有沿轴类零件外侧周向移动测量的激光测头,所述激光测头通过滑块对偏移时的轴类零件进行位移补偿,保证测量...
  • 本发明属于PCB板检测技术领域,具体公开一种PCB板铜厚与线宽均匀性检测方法及系统,通过将PCB板面分为多个检测区域,在每个检测区域进行铜厚均匀性和线宽均匀性检测,构建空间关联与时间连续性双重维度的均匀性评估机制,实现对各检测区域在电镀过程...
  • 本发明提出了一种基于多层感知机的二氧化硅薄膜厚度测量方法及系统,属于薄膜厚度测量技术领域,包括:采用成像椭偏系统对二氧化硅薄膜样品进行测试获得光强数据,对所述光强数据进行预处理并求解傅里叶系数得到薄膜椭偏参数的平面分布;基于所述薄膜椭偏参数...
  • 本发明属于航空发动机钛合金零部件服役性能技术领域,提供了一种通过高温色计算钛合金超薄氧化膜厚度的方法及系统,所述方法包括:对钛合金零部件在高温服役后的表面目标区域进行适用性检测;对通过适用性检测的,通过测色计获取钛合金表面高温色的反射光谱,...
  • 本申请提供一种氧化钇薄膜厚度及宽波段光学常数的检测方法,包括以下步骤:预设四个高斯振子的中心频率,分别对应氧化钇本征吸收峰、水分子氢键吸收峰以及羟基吸收峰;将四个中心频率及高频介电常数设为预设固定值,且预设固定值根据氧化钇薄膜的固有吸收特征...
  • 本发明属于半导体机械臂制造与检验设备领域,具体地说是一种用于测量机械臂取片端绝对高度差的装置,包括底座、回转支承轴承、旋转框架、立架、上安装板、校准平台、激光测距传感器。本发明通过底座、回转支承轴承、旋转框架、立架、上安装板、校准平台、激光...
  • 本发明公开一种测量管壁厚度的设备,该设备包括:第一载体,包括彼此嵌套连接且可相对活动的第一伸缩部和第二伸缩部;多个驱动部,与第一载体连接,每个驱动部具有第一电机和对应的驱动轮,驱动部可进行伸缩;第二载体,其一端与第二伸缩部连接;多个从动轮,...
  • 本申请实施例提供一种汽轮机汽缸开缸高度监测用辅助组件、监测用装置和监测方法,包括:筒体和反射体;其中,筒体可连接于螺帽压紧面;筒体包括相连接的筒壁和筒顶,筒顶包括远离筒壁一侧的第一平面;第一平面形成有至少四个用于固定激光测距传感器的安装位,...
  • 本申请提供了一种燃料电池质子交换膜厚度测试装置,其包括光学探测器、载物反射镜组件和第一固定反射镜;激光发射器,其用于发射目标光束;分光部件,其用于将光束反射至载物反射镜组件上,并通过第一固定反射镜将光束反射至光学探测器上,得到干涉图像;载物...
  • 本发明属于测量技术领域,涉及一种可用于激光沉积镀膜厚度检测的干涉测量系统,包括激光模块、外差调制模块、空间光路模块、数据采集模块与数据处理模块。本发明通过得到一对具有固定频差的参考光与观测光,再通过空间光路模块将一对具有固定频差的参考光与观...
  • 本发明属于形貌、膜厚检测技术领域,提供一种用于晶圆形貌膜厚检测的双远心阵列光纤光路系统,包括白光光源、多芯光纤分光模块、第一阵列光纤接头、双远心分光光路、第二阵列光纤接头和光谱仪;多芯光纤分光模块包括多个逆用的1×2的耦合器,多个耦合器的第...
  • 本发明公开了一种光学薄膜参数无损测量设备及方法,包括样品台,所述样品台上设置有通光孔,所述样品台用于放置薄膜样品,所述样品台内部为中空的光阱,所述光阱用于吸收穿过所述薄膜样品的透射光;所述测量设备还设置有光学测量系统,所述光学测量系统中设置...
  • 一种轻量化岩土体变形及运动监测系统及方法,属于地质灾害监测技术领域。技术方案:图像采集模块采集目标区域的图像序列;数据存储与传输模块用于图像缓存与远程传输;数据处理与分析模块包括点跟踪单元、深度计算与矫正单元、坐标转换与位移计算单元,分别用...
  • 本申请公开了一种双峰光谱峰值波长定位方法、电子设备及存储介质,涉及光谱共焦系统技术领域。方法包括:S1、对采集到的光谱信号进行快速傅里叶变换,得到光谱信号的幅度谱和相位谱;S2、对相位谱进行相位解缠绕处理,以获得连续的相位值;S3、基于幅度...
  • 本发明涉及刚体运动约束的视觉测站振动校正与位移测量方法及装置。装置包括:视觉测站平台;至少一测量相机,固定于视觉测站平台上,用于观测布设在待测结构上的多个待测点;至少一校准相机或与测量相机共用,固定于视觉测站平台上,用于观测至少一个控制点,...
  • 本发明涉及微小位移测量技术领域,提供了一种基于莫尔条纹的微小位移测量系统及方法,包括函数信号发生器、示波器;还包括光纤激光发射器和光信号接收器,分别连接于函数信号发生器和示波器,所述光纤激光发射器和光信号接收器同轴对称分布;所述光纤激光发射...
  • 本发明公开了一种基于多传感器融合的非接触式长度测量方法,该方法包括:使用移动终端对物体进行拍摄;拍摄过程实时储存每一帧图片并记录此时移动终端的传感器数据;根据每帧图像对应的传感器数据,对帧图像的位置信息和传感器数据进行融合处理,得到拍摄每一...
  • 本发明公开了一种大坝水平位移分层监测系统及方法,涉及水利水电工程大坝安全监测技术领域,包括监测装置、控制装置、监控分析平台,监测装置由若干个竖向设置的监测单元串联组成,用于测量坝体不同高度处的水平位移;控制装置包括数据传输模块和指令处理模块...
  • 本发明公开了一种光栅传感器及其校准方法,属于测量仪器技术领域。所述光栅传感器包括发光装置、光栅、光学转换元件、外壳、平行校准组件以及控制装置。所述平行校准组件通过调节端穿过外壳上的避让孔与光学转换元件连接,用于调整光学转换元件的空间位置,使...
  • 本发明提供了一种基于光纤传感的发电机碳刷长度在线监测系统及方法,采用光纤位移传感器测量其与反光箔之间的距离发生变化,该距离变化与碳刷长度变化量一致,由此可获得碳刷长度变化,进而求得碳刷长度变化之后的实际长度;同时,本发明设置了光纤温度传感器...
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