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隧道围岩实时应力分布激光监测系统
本发明公开了隧道围岩实时应力分布激光监测系统,该系统集成多模态激光发射与调制、围岩界面自适应激光耦合等多个单元。多模态激光发射与调制单元整合不同特性激光束并调制,适应复杂环境;围岩界面自适应激光耦合单元依围岩状况自动调整,高效耦合激光。深层...
一种基于无线通信的钛钢复合板应力监测方法及系统
本发明公开了一种基于无线通信的钛钢复合板应力监测方法及系统,本发明涉及应力监测技术领域,解决了缺乏从工具适配到多方法协同,导致应力监测误差大、可靠性低的技术问题,本发明通过构建分层预处理‑应变片粘贴校准‑环境补偿‑应力修正‑内部超声协同监测...
一种在CMOS芯片上实现应力敏感元的方法
本发明公开一种在CMOS芯片上实现应力敏感元的方法,属于信号处理领域。应力敏感元通过惠斯通电桥电路测量应力,所述惠斯通电桥电路是由四支电桥臂构成的四边形,其中四边形的一组对角为驱动端,另一组对角产生差分电压。在所述惠斯通电桥电路的驱动端接入...
一种高灵敏微压传感器及其制备方法
本发明提供一种高灵敏微压传感器及其制备方法,包括步骤:对SOI衬底的顶层硅层进行光刻、刻蚀及离子注入,得到压敏电阻;在所述顶层硅层上沉积覆盖所述压敏电阻的第一绝缘层;对所述第一绝缘层进行光刻及刻蚀,以在所述第一绝缘层及所述顶层硅层形成接触孔...
一种飞机地面阻拦索力测量传感器及应用
本发明涉及飞机地面阻拦索力测量技术领域,具体涉及一种飞机地面阻拦索力测量传感器及应用,包括弹性体、密封组件和应变计单元;所述弹性体包括测量段、应变段和引线段,所述应变段位于测量段与引线段之间,所述应变计单元设置在应变段上,所述密封组件套设在...
一种巷道全域锚杆索锚固力实时监测系统及方法
本发明提供了一种巷道全域锚杆索锚固力实时监测系统及方法,锚杆/锚索安装在巷道顶板及巷道帮部上的钻孔中,托盘中球冠部分的外表面在锁紧螺母以外的部分作为环形监测区域;测力计设置在锁紧螺母和托盘之间;喷浆‑传感复合层包括喷浆层和微型薄膜应变传感器...
一种HART通讯的压力变送器主板
本发明公开了一种HART通讯的压力变送器主板,包括信号采集单元、输出通讯单元、信号处理单元、电源单元;采用嵌入式的架构,将信号采集单元进行独立模块化,解决了压力变送器主板互换性差的问题;主板增加HART通讯单元,解决压力变送器远程参数设置及...
一种薄膜压力传感器及其制备方法
本发明涉及传感器技术领域,提供了一种薄膜压力传感器及其制备方法。设置于基体浅表层的第一绝缘层,第一绝缘层上设置有电阻敏感层,电阻敏感层上设置有第二绝缘层;电阻敏感层呈折弯状,电阻敏感层的两端分别为电极,每个电极均漏出第二绝缘层且与外部电路连...
一种阵列式柔性压力传感器及其制备方法
本发明提供了一种阵列式柔性压力传感器及其制备方法,涉及压力传感器技术领域,阵列式柔性压力传感器包括:下层LIG电极设置在第一SEBS基底上,下层LIG电极呈多孔状,每个下层LIG电极通过下层LIG导线连接到下层边缘连接焊盘,每个下层LIG电...
一种基于SOI硅压阻式传感的高精度压力变送器
本发明公开了一种基于SOI硅压阻式传感的高精度压力变送器,包括硅压阻式压力传感器和微传感信号检测变送软硬件系统,微传感信号检测变送软硬件系统包括检测电路、外部AD转换电路、运算放大电路以及滤波电路,微传感信号检测变送软硬件系统采集SOI硅压...
一种压力传感器及其故障定位方法
本申请提供一种压力传感器及其故障定位方法。所述压力传感器包括:压力传感单元,信号调理模块,数模转换器和模数转换器。压力传感器单元输出的模拟感测电压信号由模数转换器转换为感测电压数值,信号调理模块基于所述感测电压数值的所处范围对其进行高精度补...
Si/GaN异质结构压力传感器及其制备方法和使用方法
本发明涉及半导体器件与传感器技术领域,具体公开了Si/GaN异质结构压力传感器及其制备方法和使用方法,该传感器包括硅晶圆和氮化镓晶圆,硅晶圆一侧设有第一电极,氮化镓晶圆一侧设有第二电极,另一侧设有衬底,硅晶圆设有第一电极侧与氮化镓晶圆设有第...
一种复合纤维膜基电容型柔性压力传感器集成系统及其制备方法
本发明涉及柔性电子传感技术领域,具体公开了一种复合纤维膜基电容型柔性压力传感器集成系统及其制备方法。传感器由复合纤维膜敏感层、夹层式电极结构、多通道信号采集模块及智能数据处理系统组成;其中,复合纤维膜通过静电纺丝技术制备,以聚偏氟乙烯为基体...
一种纳米晶合金差动式力传感器及其制作方法
本申请实施例提供一种纳米晶合金差动式力传感器及其制作方法,所述传感器包括差动组件、加力杆以及信号处理组件。其中,差动组件包括由纳米晶合金材料制成的活动板、第一磁芯和第二磁芯。第一磁芯和第二磁芯为相互对称设置的半圆环形结构。第一磁芯和第二磁芯...
一种高灵敏度的谐振式压力传感器
本发明涉及一种高灵敏度的谐振式压力传感器,属于微机电系统技术领域。包括:第一硅层;多层埋氧层,位于第一硅层的上方;第二硅层,第二硅层位于任一埋氧层的上方,第二硅层上设置有压力敏感梁;金层,金层覆盖于顶硅层的表面;第三硅层,第三硅层位于其他埋...
一种电子体温计生产用批量校准设备
本发明涉及体温计生产检测设备技术领域,具体公开了一种电子体温计生产用批量校准设备,包括固定底座、校准机架和安装顶板,所述固定底座的顶部固定设置有若干个产品校准单元,所述安装顶板的底部且位于若干个产品校准单元的正上方还设置有产品转移单元。通过...
基于多源数据融合的热控仪表故障自诊断系统
本发明公开了基于多源数据融合的热控仪表故障自诊断系统,涉及预测与健康管理技术领域。该基于多源数据融合的热控仪表故障自诊断系统,包括以下步骤:数据汇集整理模块,用于实时采集热控状态数据,并对热控状态数据进行预处理;特征构建提取模块,用于对预处...
一种温度变送器校准方法
本发明涉及计量校准计算领域,尤其涉及一种温度变送器校准方法。该方法首先检查高精度恒温槽是否符合精度、温度范围、稳定性及分辨率等标准,随后依据变送器测量范围确定下限、中间、上限校准点温度,在恒温槽中设定并稳定温度后,利用数据采集仪同步采集标准...
一种老化测温光纤的动态校准方法
本发明涉及一种老化测温光纤的动态校准方法,适用于油气管道监测系统中因长期使用导致测温参数变化的测温光纤。针对现有技术缺乏对老化光纤动态校准的问题,本发明利用油气管道上安装的振弦式应变计内置的高精度温度传感器作为基准,通过比对应变计所在位置光...
一种温度校准方法及温度校准工装
本申请涉及温度校准技术领域,具体涉及一种温度校准方法及温度校准工装。方法包括:采集初始环境温度;以初始环境温度为起点,按预设的温升步长和预设的温升分段数量,生成多个温升目标温度;控制发热板升温至各温升目标温度,并且在每一次升温至温升目标温度...
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