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最新专利技术
  • 一种半导体晶片气相沉积设备
    一种半导体晶片气相沉积设备_启星新材料科技(靖江)有限公司_202511034244.6
    本发明提供了一种半导体晶片气相沉积设备， 包括沉积座， 还包括沉积座上的供气单元， 供气单元包括设于沉积座上方的供气装置， 供气装置的底端设置有结构盘， 结构盘的下方设置有导流盘， 导流盘内设置有封堵内板， 结构盘上开设有多组喷头孔， 多组...
    2025-11-28
  • 成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法
    成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法_佳能特机株式会社_202510503447.9
    本发明提供一种成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法， 能够使基板以稳定的状态吸附于吸附部件。该成膜装置的特征在于， 具备：静电吸盘(31)， 所述静电吸盘吸附基板的与成膜侧的面相反的一侧的面；第一支承部件(41)， 所述第一支承部件在所...
    2025-11-28
  • 用于预防或抑制发弧的化学气相沉积工具
    用于预防或抑制发弧的化学气相沉积工具_朗姆研究公司_202510719057.5
    化学气相沉积(CVD)工具抑制或完全消除衬底基座和衬底之间的发弧。CVD工具包括直流(DC)偏置控制系统， 其配置成将设置处理室中的衬底基座维持在与通过处理室中的等离子体所产生的DC偏压相同或基本上相同的DC偏压。通过将衬底基座和具有与等离...
    2025-11-28
  • 气相沉积炉
    气相沉积炉_湖南德智新材料股份有限公司_202510841008.9
    本申请涉及气相沉积技术领域， 尤其涉及一种气相沉积炉， 包括：炉体， 炉体内具有多个互不连通的反应室， 每个反应室内均设置有工件放置位以及与工件放置位连通的第一进气口和第一出气口；进气箱， 设置于炉体内， 进气箱具有多个第二出气口， 多个第...
    2025-11-28
  • 一种平面型半导体器件复合膜层的制备方法
    一种平面型半导体器件复合膜层的制备方法_盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司_202510736344.7
    本发明公开了一种平面型半导体器件复合膜层的制备方法， 包括如下步骤：S1、将半导体板放置在处理室中；S2、将第一稀释气体导入处理室中， 第一稀释气体为氦气和氮气的组合气体；S3、向处理室中引入射频交变电场， 产生等离子体；S4、向处理室中引...
    2025-11-28
  • 一种沉积工艺设备和薄膜应力的调节方法
    一种沉积工艺设备和薄膜应力的调节方法_拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司_202511288939.7
    本发明公开了一种沉积工艺设备和薄膜应力的调节方法。该沉积工艺设备包括反应腔， 其内部包括作为上电极的喷淋板， 和作为下电极的加热盘， 其中， 所述下电极连接高频功率源。所述沉积工艺设备还包括：绝缘部件， 连接所述喷淋板并设于所述喷淋板和腔体...
    2025-11-28
  • 一种用于16英寸金刚石晶圆沉积的915 MHz MPCVD装置
    一种用于16英寸金刚石晶圆沉积的915 MHz MPCVD装置_北方工业大学_202511051675.3
    本发明提供一种用于16英寸金刚石晶圆沉积的915 MHz MPCVD装置， 涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域。装置包括壳体， 壳体内设有空腔， 壳体的顶部设有微波入口， 壳体的空腔内安装有同轴天线， 同轴天线上设有进气口， 壳体的底部设...
    2025-11-28
  • 一种化学镀工艺的优化装置、优化方法、终端及介质
    一种化学镀工艺的优化装置、优化方法、终端及介质_深圳市顺信精细化工有限公司_202511049813.4
    本发明涉及玻璃通孔加工技术领域， 公开了一种化学镀工艺的优化装置、优化方法、终端及介质， 优化装置包括镀液桶、驱动模块、喷流模块、喷气模块、加热模块和控制模块， 镀液桶上设置有用于容纳镀液的反应槽；驱动模块的端部设置有待加工的测试样品；驱动...
    2025-11-28
  • 一种微小间距印刷线路板的化金工艺
    一种微小间距印刷线路板的化金工艺_高德(江苏)电子科技股份有限公司_202511067144.3
    本发明提供一种微小间距印刷线路板的化金工艺， 包括以下步骤：(1)将PCB板浸入清洗液中， 进行清洗， 并将清洗后的PCB板加入活化剂中进行活化处理， 在PCB板表面形成一层均匀的活化膜；(2)将活化处理后的PCB板加入后浸剂中进行清洗；(...
    2025-11-28
  • 一种柔性基材化学镀催化溶液的制备方法及其应用
    一种柔性基材化学镀催化溶液的制备方法及其应用_电子科技大学_202511052558.9
    本发明提供一种柔性基材化学镀催化溶液的制备方法及其应用， 属于化学镀技术领域。该催化溶液以透明质酸钠(Sodium Hyaluronate)为核心成分， 结合金属盐溶液和氨水组成独特的催化溶液体系， 通过利用透明质酸钠分子中的羟基和羧基基团...
    2025-11-28
  • 一种耐磨耐候性线夹的表面处理装置及其处理方法
    一种耐磨耐候性线夹的表面处理装置及其处理方法_网源电力科技有限公司_202511057803.5
    本发明公开了一种耐磨耐候性线夹的表面处理装置及其处理方法包括浸泡池、横向导轨和活动连接于横向导轨上的纵向导轨， 还包括：C型支架， 活动连接于纵向导轨上；浸泡机构和晃动机构， 同时连接于C型支架上；导流机构， 与浸泡池相连；所述浸泡机构包括...
    2025-11-28
  • 高强度耐腐蚀铜合金线及其制备方法
    高强度耐腐蚀铜合金线及其制备方法_江西康成特导新材股份有限公司_202510993583.0
    本发明公开了一种高强度耐腐蚀铜合金线的制备方法， 包括如下步骤：(1) 制备复合粉末；(2) 制备预处理粉末；(3) 敏化处理， 活化， 活化后的粉末进行表面化学镀铜， 获得镀铜粉末；(4) 称取铜粉、镍粉、硅粉和镀铜粉末， 加热熔化， 向...
    2025-11-28
  • 一种无铬钝化液、其制备方法及其应用
    一种无铬钝化液、其制备方法及其应用_攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司_202511050092.9
    本发明提供了一种无铬钝化液， 以重量份数计， 包括以下原料：成膜树脂9～12份， 氧化剂1～5份， 交联剂0.1～0.5份， 调节所述钝化液至酸性的pH调节剂， 水100份。本申请还提供了无铬钝化液的制备方法和应用。本发明提供的钝化液以聚乙...
    2025-11-28
  • 一种3D快速喷涂大面积极化的金属腐蚀防护方法及装置
    一种3D快速喷涂大面积极化的金属腐蚀防护方法及装置_西北工业大学_202510967739.8
    本发明公开了一种3D快速喷涂大面积极化的金属腐蚀防护方法及装置。基于钝化区间原位成膜机制， 装置采用悬臂式C型框架集成喷嘴及三轴移动平台， 通过局部喷涂电解液在飞机金属蒙皮表面形成动态电化学池， 突破传统电解槽尺寸限制， 其特征在于：大型化...
    2025-11-28
  • 一种高性能Q345复合板及其制备方法
    一种高性能Q345复合板及其制备方法_江苏宏佰益新材料科技有限公司_202511038518.9
    本发明公开了一种高性能Q345复合板及其制备方法， 包括Q345R钢基板和嵌入在Q345R钢基板的表面的嵌覆层， 其中， 所述嵌覆层包括球形料和Q345R钢基板材料， 且球形料包括以下原料及重量百分数：尖晶结构98.91~99.68%、三氧...
    2025-11-28
  • 一种盾构/TBM刀圈表面激光冲击强化方法
    一种盾构/TBM刀圈表面激光冲击强化方法_西南交通大学_202510665833.8
    本发明公开了一种盾构/TBM刀圈表面激光冲击强化方法， 属于盾构/TBM刀圈加工技术领域， 包括以下步骤：S1：获取历史数据；S2：数据预处理；S3：构建盾构/TBM刀圈表面激光冲击强化知识图谱；S4：盾构/TBM刀圈检测精加工；S5：定位...
    2025-11-28
  • 结晶器激光熔覆耐磨耐高温材料
    结晶器激光熔覆耐磨耐高温材料_宁波镭速激光科技有限公司_202510785015.1
    本发明公开了结晶器激光熔覆耐磨耐高温材料， 以质量计， 包括以下组分：Co粉2.3‑3.6％、WC粉4‑4.8％、Cr粉7‑8.2％、Fe粉1.5‑1.9％、C粉0.5‑0.55％、TiN包覆的Ni粉2.6‑2.8％、Ni‑P合金包覆的Si...
    2025-11-28
  • 钛合金厚板激光超声振动复合专用装置
    钛合金厚板激光超声振动复合专用装置_宁波镭速激光科技有限公司_202510785017.0
    本发明公开了钛合金厚板激光超声振动复合专用装置， 包括机架、超声振动机构、第一移位机构、激光熔覆机构、卡盘机构， 本方案中改进结构， 卡盘以连接柱与超声振动机构中变幅杆连接， 以连接柱上的平衡杆与安装座上的夹持机构对接， 需调整卡盘上待熔覆...
    2025-11-28
  • 一种改善涂层寿命的工艺方法
    一种改善涂层寿命的工艺方法_浙江六方半导体科技有限公司_202510766558.9
    本发明涉及一种改善涂层寿命的工艺方法， 包括：S1， 对石墨基底进行热处理；S2， 在生长温度下， 所述石墨基底的表面生长1/10～1/2所需厚度的涂层， 并降温至1/3～2/3的生长温度， 稳定10～30min；S3， 在生长温度下， 在...
    2025-11-28
  • 一种镁合金表面稀土元素掺杂高耐蚀可自愈的PEO/LDHs复合涂层及其制备方法
    一种镁合金表面稀土元素掺杂高耐蚀可自愈的PEO/LDHs复合涂层及其制备方法_福州大学_202511005793.0
    本发明公开了一种镁合金表面稀土元素掺杂高耐蚀可自愈的PEO/LDHs复合涂层的制备方法， 具体步骤如下：先将预处理后的基材置于微弧氧化电解液中得到微弧氧化(PEO)层；再将PEO层置于稀土盐溶液中进行水热反应， 随后在无水乙醇中超声处理制得...
    2025-11-28
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