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摆臂轨迹规划方法及晶圆清洗机
本发明提供了一种摆臂轨迹规划方法及晶圆清洗机,所述方法包括预设摆臂摆动的起始位置、目标位置、终止位置以及与起始位置、目标位置、终止位置分别对应的起始速度、目标速度、终止速度,预设切换速度,切换速度小于目标速度,摆臂自所述起始位置至所述终止位...
用于半导体材料键合的设备和半导体材料键合方法
本发明公开了一种用于半导体材料键合的设备和半导体材料键合方法,属于半导体材料加工设备技术领域。用于半导体材料键合的设备包括旋转工作模块、升降工作模块和厚度检测模块,旋转工作模块的旋转压台与旋转驱动单元的输出端传动连接;升降工作模块的升降压台...
一种半导体石英管内置式推片装置
本发明公开了一种半导体石英管内置式推片装置,涉及推片技术领域,包括抗压板,所述抗压板的顶部靠近一侧边缘处设置用于对石英管进行高温处理的检测组件,所述检测组件包括有石英管本体和推片本体。该一种半导体石英管内置式推片装置,当需要使用推片装置将硅...
半导体器件的制造方法及制造系统
本申请实施例提供一种半导体器件的制造方法及制造系统。半导体器件的制造系统包括控制器以及光捕获操控装置。控制器被配置为基于晶圆表面的缺陷分布图及缺陷分布图中缺陷的缺陷类型,确定晶圆的表面的目标缺陷及目标缺陷的位置。光捕获操控装置与控制器耦接,...
一种具有检测功能的晶圆运输装置
本发明公开了一种具有检测功能的晶圆运输装置,其特征在于,包括可移动的承载件;连接部,设于所述承载件;相对设置的夹持机构,所述夹持机构可移动的设于所述连接部;相对设置的所述夹持机构相互靠近,以夹持所述晶圆;相对设置的所述夹持机构相互远离,以松...
一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备
本发明公开了一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备,包括可移动的承载件:支撑部,设于所述承载件;相对设置的夹持机构,均可移动的设于所述支撑部,每个所述夹持机构均包括多个夹持组件,所述夹持组件用于夹持晶圆,且多个所述夹持组件沿竖直方向间隔设置;相对设...
一种全自动飞秒激光聚焦离子束显微加工系统
本申请涉及半导体制造技术领域,具体公开了一种全自动飞秒激光聚焦离子束显微加工系统,包括:离子束设备、作业台、操作组件与辅助作业组件。辅助作业组件包括:第一载具、第二载具、第一调节机构和第二调节机构;第一载具用于放置第一样品;第二载具用于放置...
一种半导体结构、制备方法及半导体器件
本申请公开了一种半导体结构、制备方法及半导体器件,包括提供初始半导体结构;初始半导体结构包括基底、嵌设于基底中的掺杂埋层、暴露于基底表面的浅沟槽隔离结构、位于基底上的栅极、覆盖于栅极和基底表面的阻挡层、层叠于阻挡层上的第一介质层和位于第一介...
集成深沟槽隔离结构的器件及其制备方法
本申请涉及半导体技术领域,特别涉及一种集成深沟槽隔离结构的器件及其制备方法;制备方法可以包括:提供半导体结构,半导体结构包括基底、层叠于基底表面的栅极材料层和层叠于栅极材料层的掩膜层,基底中形成有半导体器件的功能元件;于半导体结构中形成深沟...
一种半导体结构、制备方法及半导体器件
本申请公开了一种半导体结构、制备方法及半导体器件,包括提供初始半导体结构;初始半导体结构包括器件层、位于器件层上的第一介质层和位于第一介质层上与顶层金属层之间的至少一层第一布线层,至少一层第一布线层中顶端的第一布线层包括第一金属层、覆盖第一...
半导体器件结构及其制备方法
本申请涉及半导体技术领域,特别涉及一种半导体器件结构及其制备方法,包括:提供半导体结构,半导体结构包括器件基底和位于器件基底上的金属互连层,器件基底中具有半导体器件的功能元件;于半导体结构中形成深沟槽,深沟槽贯穿金属互连层后伸入器件基底;淀...
一种锂电池正极浆料、正极极片及制备方法和应用
本发明涉及一种锂电池正极浆料、正极极片及制备方法和应用,属于电池极片加工技术领域,所述正极浆料包括:正极活性物质、导电剂、粘结剂和溶剂;所述溶剂包括酰胺类溶剂和二氯甲烷,所述正极活性物质、导电剂、粘结剂的质量比为(70‑80):(10‑15...
一种极片及其制备工艺
本发明公开了一种极片及其制备工艺,涉及锂电池制造技术领域。本发明将多个复合集流体极片叠放,各层复合集流体极片的A极耳向下翻折与下层A面连接,B极耳向上翻折与上层B面连接,最外层极耳直接引出,通过金属铝箔或铜箔作为总引出端引出电流,焊接方式包...
一种电池单体、电池装置和用电装置
本申请公开了一种电池单体、电池装置和用电装置,属于电池技术领域,电池单体包括外壳、电极端子、电极组件和粘接件。电极端子设置于外壳。电极组件位于外壳内且与电极端子电连接,电极组件包括正极极片、负极极片和设置在正极极片和负极极片之间的隔离件,电...
一种聚合物锂电池正极片的制备方法
本发明提供一种聚合物锂电池正极片的制备方法,该工艺实现了电极材料‑结构‑工艺的一体化优化。功能性聚合物导电剂与Se‑CeO
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掺杂的协同作用,显著增强了电极的导电性、结构稳固性和界面稳定性,而精细化浆料混合与辊压控制则保...
基于温度分布数据的燃料电池热管理优化方法及系统
本发明公开了一种基于温度分布数据的燃料电池热管理优化方法及系统,涉及燃料电池管理技术领域,通过分析每块燃料电池的历史运行记录,构建功率输出和温度变化曲线并对齐,形成历史曲线对照组;分析对照组,识别温度稳定段,截取其前预设时间的功率输出段,构...
一种液流电池的能量智能调度方法及系统
本发明公开了一种液流电池的能量智能调度方法及系统,涉及液流电池技术领域,方法包括:实时采集液流电池能量运行参数,动态估算电解液状态获取多个能量状态信息;再据此设定待调度目标,及逆行多目标优化制定模糊控制策略;执行模糊控制策略生成调控信号集并...
一种燃料电池发电系统及其的控制方法
本发明公开了一种燃料电池发电系统及其的控制方法,该系统通过在燃料电池电堆输出与DCAC(直流‑交流转换器)之间母线上分支一路给DCDC(直流‑直流转换器)供电的架构上,对电堆的电流以下方法进行控制,即在获取并网/负载的实际功率值与目标功率值...
一种去除水体重金属污染物的微生物燃料电池颗粒及其制备方法
本发明涉及生态环保技术领域,具体涉及一种去除水体重金属污染物的微生物燃料电池颗粒及其制备方法,该微生物燃料电池颗粒包括产电菌基质、凝胶层、阳极、阴极;阳极外依次包裹产电菌基质、凝胶层、阴极,阳极和阴极采用导线连接;产电菌基质为活性污泥或湿地...
二次电池和用电装置
本申请涉及一种二次电池和用电装置,属于电池技术领域。本申请二次电池包括正极片,所述正极片包括正极集流体和位于所述正极集流体至少一个表面上的正极材料,所述正极材料包含正极活性材料,所述正极活性材料包括镍锰酸锂颗粒,通过控制45℃及1C倍率下充...
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