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微观装置的制造及其处理技术
  • 一种半导体封装可包含:衬底;安置在所述衬底上的微机电装置;将所述衬底连接到所述微机电装置的互连结构;以及围绕所述互连结构的金属密封结构。
  • 本发明公开了一种MEMS微镜的制备系统和制备方法,制备系统包括:加工装置,用于在晶圆键合前对晶圆的上表面进行加工,在晶圆键合后、解键合前对晶圆的下表面进行加工,以形成多个MEMS微镜芯片;键合装置,用于将晶圆与临时键合材料进行键合,其中,晶...
  • 本发明公开了一种硅纳米孔阵列的制备方法及其应用,涉及纳米孔阵列制造领域。所述方法包括:以AAO薄膜作为纳米模板,并将AAO薄膜转移至硅基底表面;在AAO薄膜上沉积银纳米颗粒阵列,形成大面积有序的银纳米颗粒排布;去除AAO薄膜,得到硅基底上的...
  • 本发明提供一种智能分离的微系统制备方法,预先在转接板晶圆不同深度处注入离子或者照射激光形成损伤层,完成转接板工艺后再利用退火或者化学方法使晶圆在损伤层处分离。本发明可将一片晶圆分离成三片使用,提高了晶圆的利用效率,降低了生产成本;由于晶圆最...
  • 本实用新型公开一种常闭式导通装置、抽气组件、以及烟丝箱,常闭式导通装置包括有底板、伸缩柱、外套筒、驱动件、弹性件、内套筒和横移块,通过驱动伸缩柱缩回,能让内套筒侧的出气通孔与烟丝箱内部连通,此时便于实现对烟丝箱内部抽气。本实用新型便于在对烟...
  • 本实用新型公开一种用于烟丝箱抽气的导通装置、抽气组件、以及烟丝箱,导通装置,包括有:导通主体,其具有导通腔室,导通主体在底部开设有连通导通腔室的进气口,导通主体在上部开设有连通导通腔室的导通口;内套筒,其固定设置在导通腔室内;第一滑动件,其...
  • 本发明涉及汽车门锁技术领域,具体涉及一种汽车车门锁开关及控制方法,包括安装座、微型开关、两个传输导线、插接件护套、端子接口和控制系统,操作车门内扣手时,内扣手向下移动按压微型开关,微型开关的触发结构导通,此时通过两根传输导线将信号传输至端子...
  • 本申请涉及海洋设备检修平台技术领域,具体为一种小型船舶用检修平台,包括检修平台本体,所述检修平台本体包括架体、滑动设置于架体上的龙门架和遮挡门,所述架体上分别安装有导轨和滑轨;所述架体的外部设置有位于遮挡门一侧的引导结构,所述架体的外部还设...
  • 本发明提供一种MEMS平膜压力芯片直测无引线可拆卸封装结构,包括平膜压力芯片、方头陶瓷柱、转接PCB、金属基座、信号处理电路以及保护盖;金属基座外部设置有外凹槽,金属基座内部设置有空腔,空腔内部设置有内凹槽;平膜压力芯片设置在金属基座的外凹...
  • 本发明涉及一种衬底具有极低温度效应的柔性应变传感器,包括:金属复合柔性衬底,其包括交替排布的聚合物和金属微结构;以及应变敏感栅电阻,其设置在所述金属复合柔性衬底的上方,其中所述应变敏感栅电阻的栅条方向与所述金属复合柔性衬底中的金属微结构的排...
  • 本申请公开了一种高效保鲜防腐果蔬包装盒,包括底部托盒、盛装盒体和顶盖部;底部托盒具有插管,盛装盒体具有套管和多个分隔盛装仓;顶盖部具有顶端封闭的封闭管;插管穿过套管并插入封闭管内。本申请的包装盒,具有多个分隔盛装仓,满足高湿度环境、透气环境...
  • 本发明提供了一种抑制钛腐蚀的氧化硅蚀刻液,该蚀刻液按质量百分数计,包括以下成分:6‑10%的氢氟酸、16‑24%的氟化铵、0.01‑0.16%的活性剂,余量为超纯水;其中添加剂为生物基脂肪酸甲酯磺酸铵类表面活性剂和喹啉磺酸类芳香杂环磺酸。通...
  • 本实用新型涉及医疗器材生产加工技术领域,尤其涉及一种粘扣带加工辅助收纳部件。本实用新型采用的技术方案是:包括开口向上的V形主体支撑配合架,主体支撑配合架的前后方向的倾斜边缘位置分别设有一体成型且方向朝向右侧的加固防护配合板,主体支撑配合架的...
  • 本发明提供了一种硅基自由空间型光学MEMS加速度计及制造方法,所述加速度计上层为玻璃基底自由空间光学敏感结构、下层为硅基水平轴MEMS敏感结构,上层结构通过键合工艺固定于下层结构之上。其中上层光学敏感结构由一对迈克尔逊干涉仪、一个玻璃锚点和...
  • 本实用新型涉及负压真空抽气技术领域,提出了一种带提示功能的负压单向帽,包括负压单向帽和瓶体,负压单向帽包括盖帽,盖帽的顶部设有负压凹陷区,负压凹陷区由多组负压提示瓣组成,多组负压提示瓣沿负压凹陷区的中心呈等距间隔排列设置,相邻负压提示瓣之间...
  • 本发明涉及运输包装技术领域,尤其是涉及一种自缓冲薄膜包装组件,包括外层膜和内层膜,所述内层膜和所述外层膜之间通过连接部连接,所述内层膜上设有若干透气孔,所述内层膜的收缩率大于所述外层膜。本发明提供了一种自缓冲薄膜包装组件,通过在内层膜设置透...
  • 本发明属于汽车门锁技术领域,提供了一种用于机动车锁的电释放中控机构,包括:壳体,其上设置有驱动件,驱动件的驱动端上设置有蜗杆;蜗轮,其转动设置于壳体上,蜗轮与蜗杆啮合;锁止组件,锁止组件设置于壳体上,锁止组件具有锁止臂和电释放连杆,锁止臂可...
  • 本实用新型属于运动营养品存储装置技术领域,具体为一种用于运动营养品包装的防潮罐,包括罐体和罐盖,罐盖位于罐体的顶部,且罐盖的外侧设有多个放置组件,需要对干燥剂进行更换时,向远离罐盖的方向拉动连接板,通过连接板带动放置框及网板向插槽的外部移动...
  • 本申请涉及门锁技术领域,尤其涉及一种门锁执行器,旨在解决现有执行器结构复杂、功能适配性差、通用性低的问题。该执行器包括壳体、驱动组件、执行组件及至少一条拉线;壳体内形成容纳空间,且设有拉线孔;驱动组件设于容纳空间内,以提供动力;执行组件包括...
  • 本公开提供了一种具有中控功能的锁装置及机动车,本公开的具有中控功能的锁装置,包括:锁定装置,包括锁舌部件、棘爪部件和底板;锁舌部件和棘爪部件均可转动地安装在底板上;机械解锁装置,能够通过接收的操作力驱动棘爪部件脱离与锁舌部件的啮合;电动解锁...
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