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微观装置的制造及其处理技术
  • 本发明公开了一种CMOS‑MEMS光学传感器及其制备方法,所述CMOS‑MEMS传感器包括:CMOS结构,CMOS结构包括衬底和互连层,衬底的一侧表面上设有功能单元,互连层位于衬底设有功能单元的一侧表面上,且与功能单元电性连接,互连层远离衬...
  • 本发明公开了一种去除厚铝刻蚀中的条状聚合物的方法,包括:步骤一、在底层结构上的第一氧化层的表面形成铝层,形成光刻胶图形。步骤二、采用第一次干法刻蚀工艺对铝层进行刻蚀以及对第一氧化层进行过刻蚀,过刻蚀的刻蚀气体采用含氯气体,以减少聚合物累积。...
  • 本发明涉及一种低检测下限的MEMS流量传感器及其制作方法,属于流量测量技术领域。流量传感器由下到上依次包括衬底、支撑层、功能层和保护层,保护层顶部靠近气流入口的一侧设置有微型凸起;衬底内设置有隔热腔体;功能层包括加热元件和对称分布在加热元件...
  • 本发明提供一种微腔磁敏感器件及其制备方法,微腔磁敏感器件的制备方法包括:步骤S10,提供一基底,在基底之上制备第一绝缘层,在第一绝缘层对应基底的中间位置制备一凹槽;步骤S20,在凹槽内沉积一层超磁致伸缩薄膜;步骤S30,在第一绝缘层之上制备...
  • 本发明提供一种三轴MEMS惯性开关及其制备方法,其包括:基板,其上设有两个X向电极组、两个Y向电极组及多个Z向下电极,相邻X向下电极与其之间的Z向下电极围设出第一活动槽,相邻Y向下电极与其之间的Z向下电极围设出第二活动槽;结构层,其包括键合...
  • 本实用新型公开了一种组合式货架,其技术方案要点是:包括底座,底座的顶面设置有第一支撑板,第一支撑板的一侧设置有中间板,中间板的一侧设置有第二支撑板;组合组件,组合组件设置在第一支撑板的一侧,用于组合货架,组合组件包括多个安装槽,多个安装槽分...
  • 本实用新型公开鲜切花芍药运输减震花架,涉及鲜切花运输设备技术领域,其中,包括底座、立柱、顶板、减震组件和芍药固定装置;所述立柱竖直设置在所述底座顶端,所述顶板设置在所述立柱的顶端;所述底座与顶板之间设置有多个支撑板,所述支撑板的四角分别固定...
  • 本发明涉及一种防震缓冲预充针剂固定内托盘,属于预充针剂固定内托盘技术领域。该防震缓冲预充针剂固定内托盘,包括,滑动安装在包装外壳内部的外框架和内托盘,所述内托盘设置于外框架的内部;防震检测机构,所述防震检测机构包括下陷槽、检测组件和防震组件...
  • 本实用新型属于医疗器械技术领域,涉及一种病理切片晾片柜,包括柜体,柜体内设置有沿横向排列的多个抽屉,每个抽屉内均设置有隔板将其内部分隔为左右两个卡槽;每个所述卡槽内均滑动设置有挡板,挡板的前侧壁焊接有沿左右方向平行间隔的两块侧板,每块侧板上...
  • 本实用新型公开了一种矿井灭火器用存放装置,涉及消防设备技术领域,其技术要点包括储存筒,该储存筒为圆柱状,所述储存筒的内部设置有环形分隔板,所述环形分隔板的内侧设置有第一空腔,第一空腔内设置有第二软块,所述第二软块的底端与储存筒的内底部固定连...
  • 本实用新型公开了一种果蔬柔性接取装置,包括箱体,所述箱体的两侧活动连接有滚轮,所述箱体的内底壁固定连接有防护机构,所述箱体的一侧固定连接有限位机构,所述箱体的一侧固定连接有把手,所述防护机构包括弹簧、防护板、缓冲垫、插块、弹力网、固定板、固...
  • 本实用新型涉及涂料技术领域,具体涉及一种涂料加工的物料存储罐,包括罐体、密封盖、转动地块、刮料架和搅拌装置,搅拌装置包括搅拌轴、搅拌叶片、温控组件和辅助组件,搅拌轴与刮料架固定连接,搅拌叶片与搅拌轴固定连接,温控组件设置在罐体上,辅助组件设...
  • 本实用新型公开了一种粉状药品储存罐,涉及药品储存装置领域,罐本体,用于存储粉状药品,其顶部设置有取药口;密封盖,与取药口可拆卸连接,用于密封取药口;其中,密封盖上设置有用于容纳干燥剂的容纳腔体,容纳腔体的腔壁上设置有若干通气孔,通气孔设置为...
  • 本实用新型公开了一种阶梯式实木家具,包括第一安装槽,所述第一安装槽内部底部的中间位置处设有丝杆,所述丝杆的外侧设有第一锥形齿轮,所述丝杆外侧的底部设有内螺纹杆,所述内螺纹杆的底部设有升降板,所述升降板的外侧均匀铰接有多组翻杆,所述翻杆的底部...
  • 本发明公开了一种碎珠机,包括:主支撑机构;自动夹珠装置,设于所述主支撑机构的上端,用于从水平方向夹碎绣珠;珠料分离装置,设于所述主支撑机构的下端,且所述珠料分离装置位于所述自动夹珠装置的正下方,用于抬升绣珠,使绣珠进入所述自动夹珠装置的咬合...
  • 基于NFC芯片的区块链溯源防伪包装装置,涉及NFC芯片包装技术领域,包括有包装外壳、包装盖、标签贴、NFC芯片和NFC天线,包装外壳上卡有包装盖,包装外壳与包装盖之间贴有标签贴,标签贴内设置有NFC芯片,标签贴内设置有NFC天线,NFC天线...
  • 本实用新型提供一种双面网格塑胶卡板结构,涉及塑胶卡板技术领域,该双面网格塑胶卡板结构包括塑胶卡板本体,所述塑胶卡板本体上开设有四个形状为U形的收纳槽,所述塑胶卡板本体的四角处均开设有转动槽,每个所述转动槽的内壁均转动连接有转盘,每个所述转盘...
  • 本实用新型适用于玻璃胶生产技术领域,提供了一种具有搅拌功能的密封保存装置,包括;储存罐;第一电热丝,所述第一电热丝圆周阵列在储存罐的内壁中;顶盖,所述顶盖活动安装在储存罐的顶部;旋转杆,所述旋转杆滑动安装在储存罐顶部的中间;定位框架,所述定...
  • 本实用新型提供一种实验室工作柜,包括安装柜体、操作台面本体及柜体背板组件,所述操作台面本体连接于所述安装柜体上,所述柜体背板组件连接于所述安装柜体的安装连接面上,所述柜体背板组件包括活动门板件及背板连接框件,所述活动门板件活动连接于所述背板...
  • 本实用新型公开了一种食品药品安全检验用留样柜,本实用新型涉及仓储技术领域。该留样柜,包括柜体,所述柜体的内壁固定连接有夹持组件与固定组件;通过储物板外壁开设的大小不一的孔洞,能够适配不同规格的检验品,使检验人员可依据检验品尺寸快速将其归类存...
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