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微观装置的制造及其处理技术
  • 本发明提供了一种MEMS结构的防皲裂清洗方法,属于MEMS制造技术领域。MEMS结构包括依次设置的基底层、下膜层和压电层,压电层具有通过光刻和干法刻蚀形成的预设图案,压电层的材料为铝钪氮化物,两个目标材料层在预设温度下的热膨胀系数的差值的绝...
  • 本公开提供一种微纳米尺度图形加工方法,涉及微纳加工技术领域,方法包括:在基底表面形成金属膜层;在金属膜层表面形成聚合物涂层,聚合物涂层用于在加工过程中保护金属膜层;采用聚焦离子束加工方法对表面形成有聚合物涂层的金属膜层进行微纳米尺度图形加工...
  • 本实用新型公开了一种主缆缠带设备中缠带执行装置的输送装置,包括:支撑平台、移动座、连接机构、导轨以及直线驱动装置;支撑平台上安装有导轨,导轨上安装有能在X方向上滑动的移动座,导轨位于移动座两侧,移动座中部上安装缠带机中旋转驱动装置、旋转盘、...
  • 本实用新型涉及一种保温试剂盒,包括盒体,通过合页铰接在盒体顶面的盖体以及设置在盖体顶面的把手;所述盒体的内部固定有隔板,所述隔板上开设有多个呈等距分布的滑孔,所述滑孔内滑动连接有试管本体,所述隔板内设有限位组件,所述盒体上还设有防护组件;所...
  • 本发明公开了一种配送箱,包括箱体,所述箱体内设置有厨具收纳腔体与食物收纳腔体,所述箱体的一侧壁设置有第一开口,所述第一开口与所述厨具收纳腔体、所述食物收纳腔体相互连通,所述箱体上连接有第一门板,所述第一门板可打开或关闭所述第一开口,所述厨具...
  • 本发明公开了一种能够与外界环境隔离的芯片装片装置,涉及半导体晶圆片储存和运输领域,包括储存盒,储存盒包括外盒和内盒,外盒的一侧设置有排气孔,储存盒的一侧设置有密封舱门,密封舱门包括用于封堵外盒的外门和封堵内盒的内门,外盒的底部活动安装有负压...
  • 本发明提供一种半导体器件及其制备方法,涉及半导体技术领域,包括依次层叠的前置膜层、氧化层和表层金属层,所述氧化层包括多个通过沟槽间隔的预设氧化区,所述表层金属层包括与所述预设氧化区对应的预设金属层,所述预设金属层包裹所述预设氧化区。表层金属...
  • 本实用新型公开了一种电动汽车尾门锁,包括壳体,壳体内部安装有:壳体前端具有容纳汽车尾门锁卡扣的卡槽;第一锁止件和第二锁止件,安装在壳体内卡槽两侧,第一锁止件和第二锁止件配合来锁定汽车尾门锁卡扣;电机、传动齿轮组和驱动臂,安装在壳体后端,电机...
  • 本实用新型涉及LED生产存储技术领域,尤其是一种LED电子配件生产用存储装置,包括存储柜,存储柜通过合页转动连接有柜门,柜门上开设有凹槽,存储柜内开设有存储格,存储格内可拆卸连接有存储箱;存储箱包括箱体,箱体的顶端开设有窗口,窗口处滑动连接...
  • 本发明公开了一种物流配送箱,具体涉及物流配送箱技术领域,包括上下分布的上箱体和下箱体,所述下箱体和上箱体之间通过合页活动连接,所述下箱体内部设有吸气限位组件,所述吸气限位组件外部设有用于将吸气限位组件固定在下箱体和上箱体内部的充气限位组件;...
  • 本实用新型公开了一种装饰品表面覆膜挂架总成,包括:主体机构以及干燥机构,主体机构包括箱体、铰接安装在箱体上的密封门、对称固定在箱体内底壁和内顶壁上的安装座、转动设置在箱体内底壁安装座上的环形板、转动设置在箱体内顶壁安装座上的动齿环、呈环形阵...
  • 本实用新型涉及外泌体保存技术领域,公开了一种外泌体保存装置,包括放置箱,所述放置箱的一侧转动连接有门板,所述门板的中部固定连接有透明面板,所述放置箱的内部滑动连接有收纳盒,所述收纳盒的两侧均固定连接有连接板,所述收纳盒远离所述连接板的一侧固...
  • 本实用新型提供一种印刷辊放置装置,包括底板及转动连接在所述底板上的支架组件,所述支架组件包括水平设置的支撑板和竖直固设在所述支撑板顶面的立柱,所述立柱的上部沿圆周方向均布有多个竖直设置的滑槽,每个所述滑槽内均滑动连接有固定杆,所述固定杆远离...
  • 本实用新型公开了一种大口径无箍高密封性电解液周转桶,涉及电解液周转桶技术领域,通过设置桶颈、顶端密封盖和辅助密封塞使得桶颈外部形成一个环形密闭空间,用户可通过对该环形密闭空间抽真空或填充保护气体以形成保护桶内物料的缓冲腔,当抽气控制阀因磨损...
  • 本发明公开了一种车门限位机构,包括伸缩机构和限位机构,所述伸缩机构包括伸缩机构支架、减速电机、滑块销和连接组件,所述减速电机固定在所述伸缩机构支架上,所述滑块销可移动地安装在所述伸缩机构支架,所述减速电机的输出轴通过所述连接组件与所述滑块销...
  • 本发明属于存储技术领域,尤其是一种温湿度精准控制可分类的农产品果蔬存储装置及方法,针对现有的盒体的取出无法降低其整体的空间占地、冷气或水雾无法被有效利用的问题,现提出如下方案,包括底盘,所述底盘的上方设有顶板,所述底盘的顶部两侧均固定有固定...
  • 本发明提供一种n型SiC耐高温欧姆接触电极结构的制备方法,包括以下步骤:对碳化硅结构进行清洗,其中,碳化硅结构包括层叠设置的碳化硅衬底、缓冲层以及外延层;对完成清洗的碳化硅结构进行氧化,形成位于所述外延层之上的氧化硅层;基于湿法腐蚀对氧化硅...
  • 本发明公开一种六维力传感器及其制作方法,涉及半导体技术领域,以解决六维力传感器尺寸大,应用领域受限且不利于精确、便捷得对被测物体进行智能化控制的问题。该六维力传感器包括:半导体衬底以及形成在半导体衬底上的半导体结构层,半导体衬底为镂空衬底,...
  • 本发明公开了一种用于车辆中的车门闩锁的拉紧装置,其执行对多个闩锁的拉紧控制,包括:拉紧致动器;丝杠,其结合到所述拉紧致动器,并且通过所述拉紧致动器转动;丝杠螺母组件,其可移动地接合到所述丝杠;以及多个线缆杆,其接合到所述丝杠螺母组件,并且通...
  • 本实用新型公开了一种便携式烫衣板,包括面板和安装于面板底部的支架组件,所示面板上设可拆卸的布套,方便拆卸更换以及清洗,所述面板底部设若干个连接块,连接块上设连接部,支架组件通过连接部可折叠的安装于连接块上,不使用时能够折叠,占用较小的空间,...
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