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微观装置的制造及其处理技术
  • 晶圆级多级气压微腔的密封方法、装置及介质
    晶圆级多级气压微腔的密封方法、装置及介质_中国人民解放军军事科学院国防科技创新研究院_202310308893.5
    本发明提供一种晶圆级多级气压微腔的密封方法、装置及介质，涉及微系统及微纳器件技术领域，方法包括：通过设置M种密封圈结构，在预先设置的晶圆上形成N个待密封器件对应的M种待密封微腔结构，各密封圈结构的高度与M种待密封微腔结构对应的密封优先级之间...
    2025-07-22
  • 晶圆级多级真空度环境的封装方法、装置及介质
    晶圆级多级真空度环境的封装方法、装置及介质_中国人民解放军军事科学院国防科技创新研究院_202310299232.0
    本发明提供一种晶圆级多级真空度环境的封装方法、装置及介质，涉及微系统及微纳器件技术领域，方法包括：通过设置M种密封圈，在预先设置的晶圆上形成N个待封装器件对应的M种待封装微腔结构，M种密封圈发生键合的第一温度与M种待封装微腔结构中待封装器件...
    2025-07-22
  • 半导体结构及其形成方法
    半导体结构及其形成方法_中芯集成电路(宁波)有限公司_202011576677.1
    本申请公开半导体结构及其形成方法，所述半导体结构包括：第一基底；位于所述第一基底表面的应用电路层；键合于所述应用电路层上的功能膜层，所述功能膜层的形成过程中采用的制备工艺条件对所述应用电路层内的至少部分结构具有负面影响。上述半导体结构降低了...
    2025-07-22
  • 钌接触件的抗粘连增强
    钌接触件的抗粘连增强_QORVO美国公司_202080056073.6
    一种制造MEMS装置的方法。所述MEMS装置具有空腔，横梁将在所述空腔中移动以改变所述装置的电容。在已发生大部分装置堆积之后，去除牺牲材料以在所述MEMS装置空腔内释放所述横梁。此后，暴露的钌接触件暴露于氟以进行以下中的任一者：掺杂暴露的钌...
    2025-07-22
  • 具有两个独立空腔的MEMS装置
    具有两个独立空腔的MEMS装置_美新半导体(天津)有限公司_202421672681.1
    本实用新型提供一种具有两个独立空腔的MEMS装置。所述MEMS装置包括：MEMS晶圆；与MEMS晶圆键合的盖体晶圆，其中所述MEMS晶圆和盖体晶圆之间形成有密封的第一空腔和第二空腔；形成于所述MEMS晶圆或/和所述盖体晶圆上的气体释放材料层...
    2025-07-22
  • 一种易感基因建库试剂盒
    一种易感基因建库试剂盒_连云港博奥木华基因科技有限公司_202422390662.6
    本实用新型涉及试剂盒领域，且公开了一种易感基因建库试剂盒，包括箱体，所述箱体前后两端都安装有把手，且两个所述把手呈对立状安装，所述把手将箱盖固定在箱体上方，且所述箱盖与箱体之间设置有防水胶条用于防潮，所述箱体内部设置有横板、支撑板和海绵垫，...
    2025-07-22
  • 一种肠菌胶囊运输的储存箱
    一种肠菌胶囊运输的储存箱_苏州善佰生物技术有限公司_202422455781.5
    本实用新型公开了一种肠菌胶囊运输的储存箱，涉及肠道菌群移植胶囊运输领域。本实用新型包括储存箱，所述储存箱包括箱体，所述箱体的内部开设有多个置盒槽，本实用新型通过置透气板、电推杆、活动盖板、第二透孔，由于透气板的设置因此允许空气流通，调节温度...
    2025-07-22
  • 基于静电MEMS开关的热蒸发式AR/VR嗅觉发生器
    基于静电MEMS开关的热蒸发式AR/VR嗅觉发生器_北京理工大学_202510450543.1
    本发明提供一种基于静电MEMS开关的热蒸发式AR/VR嗅觉发生器，采用了全新的加热蒸发气体的驱动模式和静电驱动气体释放的模式，二者联合控制气味的产生；同时，本发明还采用基于MEMS工艺制造的静电驱动膜桥开关控制结构，能够在正常偏置电压下实现...
    2025-07-22
  • 一种基于晶圆直接键合的MEMS法布里珀罗滤光器芯片
    一种基于晶圆直接键合的MEMS法布里珀罗滤光器芯片_安徽北方微电子研究院集团有限公司_202510396416.8
    本发明涉及一种基于晶圆直接键合的MEMS法布里珀罗滤光器芯片，在SOI晶圆的顶层硅（101）中部制有第一浅腔（104）和第二浅腔（106），衬底硅（103）的上下面分别制有高反射膜（107）和增透膜（110），在顶层硅（101）上面制有第一...
    2025-07-22
  • 一种微系统薄膜平坦化方法
    一种微系统薄膜平坦化方法_赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司_202210411851.X
    本发明公开了一种微系统薄膜平坦化方法，其中微系统薄膜平坦化方法包括：在图形化薄膜上沉积硼磷硅玻璃层；然后，对硼磷硅玻璃层进行快速热退火和退火处理；最后，抛光退火处理后的硼磷硅玻璃层，至硼磷硅玻璃层达到预设厚度。通过退火处理可有效的使硼磷硅玻...
    2025-07-22
  • 基于双层电极协同刻蚀的MEMS变形镜及其制备方法
    基于双层电极协同刻蚀的MEMS变形镜及其制备方法_中科院南京天文仪器有限公司_202510806747.4
    本发明公开了基于双层电极协同刻蚀的MEMS变形镜及其制备方法，属于可变形镜面结构的微纳加工技术。该制备方法通过以下步骤实现：在衬底背面刻蚀对准标记；在硅片衬底正面沉积氮化硅绝缘层，打开背面溶液刻蚀窗口；依次完成双层多晶硅电极的协同刻蚀，同步...
    2025-07-22
  • 一种有防摔角水瓶
    一种有防摔角水瓶_惠州市新合顺塑胶制品有限公司_202422456424.0
    本实用新型涉及水瓶技术领域，尤其是一种有防摔角水瓶，包括瓶身，瓶身的顶部设有瓶口，瓶口的顶部螺纹连接有瓶盖，瓶身的顶部套有第二缓冲套，瓶口伸至第二缓冲套上方，在瓶口的侧面套有螺纹套，螺纹套与瓶口螺纹连接，螺纹套的顶部边缘安装有第一支撑环，当...
    2025-07-22
  • 一种物流车检修用的工具箱
    一种物流车检修用的工具箱_云南昆钢电子信息科技有限公司_202421895606.1
    本实用新型提供一种物流车检修用的工具箱，包括箱体，其特征在于箱体设为自下而上依次层叠的多个，上、下箱体之间设有摆动开启机构，位于顶层的箱体上设有密封盖，位于底层的箱体内设有升降机构，其中密封盖侧缘设有绕其一圈设置的密封组件，密封盖上设有单向...
    2025-07-22
  • 一种CMOS-MEMS单片集成流量、压力传感器
    一种CMOS-MEMS单片集成流量、压力传感器_北京理工大学_202310106202.3
    本发明涉及一种CMOS‑MEMS单片集成流量、压力传感器，属于传感器领域。本发明的传感器包括硅衬底层及二氧化硅结构层，所述二氧化硅结构层包括设置于两端的PAD区域和设置于中央的气体流量传感器区域及气体压力传感器区域；所述PAD区域中二氧化硅...
    2025-07-22
  • 一种乳化沥青涂料储存装置
    一种乳化沥青涂料储存装置_湖南大禹神工防水科技有限公司_202421678712.4
    本实用新型涉及沥青涂料储存领域，具体公开了一种乳化沥青涂料储存装置，包括筒体，所述筒体的上端活动连接有筒盖，所述筒体内部下端开设有散热槽，所述筒体的外部下端开设有通风槽，所述筒盖的内部后端固定连接有水泵，所述筒体之间固定连接有铜管，所述散热...
    2025-07-22
  • 一种具有干燥功能的镀锌板存放装置
    一种具有干燥功能的镀锌板存放装置_天津隆基新能源科技有限公司_202510503119.9
    本发明涉及镀锌板存放技术领域，尤其涉及一种具有干燥功能的镀锌板存放装置，解决了现有技术中的镀锌板存放设备在存放镀锌板时缺乏有效的干燥机制，尤其是在潮湿环境中长时间存放的情况下，容易导致镀锌板表面出现水汽凝结现象，镀锌板不仅可能因水分的存在而...
    2025-07-22
  • 一种抗变形的蜂窝纸箱结构
    一种抗变形的蜂窝纸箱结构_安徽星瑞包装材料有限公司_202421738859.8
    本实用新型涉及一种抗变形的蜂窝纸箱结构，属于蜂窝纸箱技术领域，包括内侧纸板层，所述内侧纸板层的一侧依次设置有蜂窝层、外侧纸板层、防水层、缓冲层、防刮层；所述蜂窝层包具体为蜂窝纸板，所述蜂窝层内设置有弹力卷，所述弹力卷具体为弹性纸。通过将弹力...
    2025-07-22
  • 一种蔬菜配送保鲜装置
    一种蔬菜配送保鲜装置_澜沧绿佳蔬菜配送有限责任公司_202422186728.X
    本实用新型涉及一种蔬菜配送保鲜装置，属于蔬菜保鲜技术领域。主要包括保鲜箱、箱门、滑轨、温湿度传感器、放置组件、排气扇、水箱、水泵、进水管、出水管、喷淋管、雾化喷头、控制器；将需要配送的蔬菜摆放在放置组件上，温湿度传感器对保鲜箱内部的温度和湿...
    2025-07-22
  • 一种冷链运输托盘
    一种冷链运输托盘_乐山铭盛物流投资有限公司_202422466700.1
    本实用新型提供了一种冷链运输托盘，属于冷链运输装备技术领域。包括包括托盘主体和制冷顶盖，托盘主体内设置有第一通风腔，托盘主体的中部设置有可伸缩调节的空心通气柱，托盘主体的四角可拆卸连接有支撑管，制冷顶盖内设置有第二通风腔，支撑管与制冷顶盖可...
    2025-07-22
  • 一种便携式配送保温箱及其保温方法
    一种便携式配送保温箱及其保温方法_浙江萧翔新材料科技有限公司_202310554613.9
    本发明公开了一种便携式配送保温箱及其使用方法，包括箱体，所述箱体的顶部设有箱盖，所述的箱体一侧设有连接合页，所述的箱盖通过连接合页与箱体连接，所述的箱体一侧设有电源接口。本发明能通过温度控制器连接接触器和变压器，控制降温风扇A等降温部件进行...
    2025-07-22
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