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  • 一种晶圆运送装置检测系统包含多个侦测器、填充装置、晶圆运送装置及控制中心。多个侦测器分别设置工艺的多个工艺设备之间。填充装置执行充填程序。晶圆运送装置包含本体及感测器。晶圆运送装置传输工艺的晶圆。感测器检测晶圆运送装置内部的气体浓度。若气体...
  • 本发明提供了一种晶圆缺陷检测方法、装置和设备,涉及半导体技术领域,所述晶圆缺陷检测方法,包括:获取第一批次晶圆的第一晶圆缺陷图,第一晶圆缺陷图指示第一批次晶圆中晶圆的晶体原生缺陷COP分布情况;根据第一晶圆缺陷图,得到第一批次晶圆的第一CO...
  • 本发明提供了一种晶圆缺陷检测方法、装置和设备,涉及半导体技术领域,所述晶圆缺陷检测方法,包括:对第一晶圆进行扫描,得到所述第一晶圆的缺陷分布图;对所述缺陷分布图进行分析,得到所述第一晶圆的缺陷特征信息,其中,所述缺陷特征信息包括以下至少一项...
  • 本发明涉及质谱仪和加速器质谱仪技术领域,尤其涉及一种以速度选择器作为分析器的加速器质谱仪系统,包括进样器、离子源、加速器、磁分析器、吸收膜、速度选择器以及探测器;本发明为了加速器质谱的小型化与简单化,首次提出的一种基于速度选择器的加速器质谱...
  • 本申请属于硬脆难加工光学元件加工技术领域,具体涉及一种硬脆元件超声辅助磁控等离子体抛光方法与装置,该方法包括:混合工作气体与压缩氧气并稳压输送至等离子导管;通过高压钨针电极电离气体,生成等离子体射流,并调节放电参数;利用环形超声阵列形成高强...
  • 本发明涉及磁通脱扣器技术领域,公开了一种用于智能量测开关上的磁通脱扣器,包括智能量测开关壳体,所述智能量测开关壳体的内侧固定连接有中间隔片,所述中间隔片的一侧壁固定安装有通线片,所述智能量测开关壳体的内侧设置有磁推感应组件,所述磁推感应组件...
  • 本发明公开了一种高压负荷监测装置及方法,包括高压负荷开关,所述高压负荷开关上设置有若干螺栓,所述高压负荷开关前侧设置有底架,所述底架上下两侧靠近中心处均贴合有夹板,两个所述夹板内腔靠近左侧处贯穿设有两个双轴丝杆,两个所述双轴丝杆为前后对称设...
  • 本发明涉及粉末冶金及磁性材料技术领域,具体涉及一种高防腐软磁粉体的制备方法,包括:S1、准备软磁粉末;S2、对软磁粉末进行预处理,包括除油、除锈、粗化、中和;S3、配制镀液,并将经过步骤S2处理后的软磁粉末浸入镀液中,在软磁粉末表面形成镀铬...
  • 本发明公开了一种电感器磁芯加工的压实成型设备,包括支撑架及其固定设置在其顶侧壁上的气缸二,气缸二的输出端固定设置有圈住杆,支撑架的内侧壁上固定安装有成型支撑台,且圈住杆与成型支撑台的顶部滑动配合;本发明是通过控制气缸一伸展,即抵挡套环将成型...
  • 本发明涉及磁体技术领域,解决了电磁铁衔铁芯与磁轭座的贴合结构存在磁吸贴合碰撞时相互应力作用集中的问题,具体公开了一种用于汽轮机停机的电磁铁及其控制方法,包括外壳,所述外壳的内腔内设置有线圈骨架,线圈骨架设置有中空的工作通道,外壳上设有磁轭座...
  • 本发明公开了一种废旧电缆回收装置,属于电缆回收技术领域,包括切割刀片,收卷机构包括转动设置于机台上的转座、设置于转座上的电机一、转轴和收卷管,转座的侧面上开设有通孔,转座的侧面上开设有转接孔,转座远离切割刀的侧面的侧面上开设有转接槽,转接槽...
  • 本发明涉及新能源充电电缆生产领域,公开了一种液冷扁电缆的生产工艺,将辅助线芯、信号线芯、控制线芯平均分组,绞合在主动力线芯上,在线芯外以垂直挤包一层尼龙护套,利用尼龙护套与线芯中间空隙产生套管效果,形成冷却通道,并利用双口阀门代替传统“一对...
  • 本发明公开了一种带有检测装置的电缆,本发明涉及电缆技术领域,包括缆线,所述缆线的上表面滑动连接有第一滑动架,所述缆线的下表面滑动连接有第二滑动架,通过设置第一滑动架和第二滑动架,可以使装置包裹在缆线的外表面,进而使装置横向移动;包裹机构,该...
  • 本发明公开了一种掺杂石墨烯粉体的导电银浆及其制备方法,涉及导电银浆技术领域。本发明先利用等离子体对石墨烯进行氮掺杂,在石墨烯晶格中引入氮原子,形成氮掺杂石墨烯,然后通过等离子体表面修饰技术,在石墨烯表面引入含氧官能团,进一步提到导电性。将苯...
  • 本发明提供了一种场激活条件下核壳型高能金属燃料的制备方法,通过机械化学包覆与场激活反应的协同作用实现燃料组分与能量释放特性的精准调控,首先通过高能球磨构建C/M核壳结构,随后将含卤化合物(PFPE、PVDF、AP等)溶解于特定溶剂,接着同C...
  • 本发明涉及反应堆运行技术领域,具体涉及一种高温气冷堆一回路微正压的维持装置以及方法。包括:氦净化系统,所述氦净化系统的出口端通过第一管道与一回路连通,所述第一管道上设置有第一调阀;氦气贮罐,为多个,与所述氦净化系统的进口端通过第二管道连通,...
  • 本发明涉及反应堆运行技术领域,具体涉及一种高温气冷堆一回路微正压监视系统以及方法,包括:第一压差表,一端与位于所述工作舱室的一回路内侧连通,另一端连通设置在高温堆房间内;第二压差表,一端连通设置在工作舱室内,另一端连通设置在高温堆房间内;第...
  • 本发明公开了一种混凝土安全壳事故后防护结构,设置在相邻两侧混凝土结构之间的施工缝处,包括阻隔构件,所述阻隔构件呈连续条形结构,且轴向延伸方向与施工缝走向一致,所述阻隔构件的截面构造中,具有一个阻隔段和至少一个锚固段,所述锚固段嵌设于混凝土结...
  • 本发明涉及神经信号处理技术领域,具体涉及一种应用于语言脑疾病的行为神经信号优优加权整合算法,其包括:步骤一、通过脑电数据获取用户大脑的基础活动模式,并分析低频振荡以及功能连接网络的特征;步骤二、在任务态脑电数据采集中,用户完成语言加工任务;...
  • 基于肿瘤标志物计数融合指标ALC的卵巢癌风险评估系统,涉及医学检测技术领域,针对现有卵巢癌诊断主要依赖于检查人员的经验,进而导致诊断准确率低的问题,本申请通过获取卵巢癌患者的乳酸脱氢酶、CA125和淋巴细胞绝对值,及卵巢癌患者的预后结果,并...
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