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  • 一种半导体结构及其形成方法,结构包括:衬底;沟道层结构,悬置于衬底上方,在纵向上,沟道层结构包括一个或多个间隔的沟道层;栅极结构,位于衬底上且横跨沟道层结构,栅极结构沿栅极结构延伸方向环绕沟道层;源漏掺杂层,位于栅极结构两侧的衬底上,在沟道...
  • 本公开提供一种多路复用器和电子设备。其中,多路复用器包括衬底基板,设置在衬底基板上的至少一个氧化物薄膜晶体管;氧化物薄膜晶体管包括设置在衬底基板上的第一栅极、第二栅极、有源层、源极和漏极;有源层设置在第一栅极背离衬底基板的一侧,且在有源层和...
  • 本发明公开了一种场效应晶体管及其制备方法和2T0C DRAM单元,场效应晶体管包括依次设于衬底上的绝缘层和栅电极,依次设于栅电极上的栅介质薄膜和非晶氧化物半导体沟道薄膜,设于非晶氧化物半导体沟道薄膜两端上的源电极和漏电极,设于最顶层的钝化层...
  • 本发明提供一种屏蔽栅沟槽型功率半导体器件及其制备方法,属于功率半导体技术领域,包括第一栅极、源极电极和漏极电极,还包括:第二栅极,第二栅极连接外部电路控制单元;多晶电阻,连接于第一栅极和第二栅极之间;触发通道,连接于漏极电极和第一栅极之间,...
  • 本发明提供了一种抗辐射功率器件及其制造方法,包括第一导电类型外延层、形成于第一导电类型外延层中的第一导电类型区域与第二导电类型区域、形成于第一导电类型外延层上的栅极结构与源极金属层;所述源极金属层与部分栅极结构的氧化层上形成有抗辐射层。本发...
  • 本发明提供了一种芯片结构及具有其的车辆,芯片结构包括:集成电阻模块,集成电阻模块位于芯片的栅极区域,集成电阻模块的一端与栅极pad连接,集成电阻模块的另一端与栅极总线连接,集成电阻模块包括第一电阻结构、第二电阻结构和第三电阻结构,其中,一电...
  • 本发明公开了一种异质结Cascode器件的终端结构,第一JFET和第二MOSFET分别形成于位于有源区的接触面呈异质结的第一和第二外延层中,第一外延层的禁带宽度较大;终端结构形成于环绕在有源区周侧的终端区中。JFET终端结构和MOSFET终...
  • 一种半导体装置包括第一电极、具有第一半导体区域、第二半导体区域和第三半导体区域的衬底以及设置在衬底上的第二电极。该半导体装置具有导电体、绝缘体、设置在导电体周围的栅电极和栅极绝缘膜。栅极绝缘膜具有多条曲线。所述多条曲线包括具有第一曲率半径R...
  • 本发明公开了一种LDMOS器件及其制备方法,属于半导体技术领域。LDMOS器件包括第一场板和第二场板;第一场板插入漂移区并贯穿栅氧化层,第一场板包括第一PN结,第一PN结的PN结交界面高于漂移区表面,使得第一PN结在漂移区中仅包括第一类离子...
  • 本申请提供一种半导体结构,包括半导体基板,沿厚度方向,半导体基板包括依次层叠设置的第一半导体层至第三半导体层,其中:第三半导体层包括有源区,有源区中设有重掺区,重掺区的掺杂浓度大于第三半导体层的掺杂浓度;第二半导体层中设有多层隔离层,每层隔...
  • 本发明提供一种降低导通电阻的LDMOS器件及其制造方法。该LDMOS器件包括半导体衬底、形成于其内的漂移区、源区和漏区,以及栅极结构。其关键在于,在漂移区内形成有高载流子迁移率层,该层构成沟道与漏区之间导电通路的一部分。该高载流子迁移率层可...
  • 本发明提供一种高压横向双扩散金属氧化物半导体结构及其制造方法。该结构包括衬底、漂移区、源极区域、漏极区域、栅极结构及浅沟槽隔离结构。其创新之处在于,在位于栅极与漏极之间的浅沟槽隔离结构内,埋设了电学悬浮的导电体。在器件承受高压时,该悬浮导电...
  • 本申请提供了一种LDMOS器件及其制造方法,该LDMOS器件包括:外延层;位于外延层中的漂移区和体区;位于外延层上,并横跨漂移区和体区的栅极结构;位于漂移区内的漏极注入区;位于体区内的源极注入区和多个体区注入区;其中,源极注入区包括:多个第...
  • 本申请公开了一种功率器件及制备方法、功率模块、功率转换电路和车辆,功率器件包括:半导体本体还包括基区、第一区域、第二区域和第三区域,基区设置为第二导电类型且位于第一区域远离第一表面的一侧;第二区域设置为第二导电类型且位于第一表面;第三区域设...
  • 本申请提供的一种4H‑SiC MOSFET芯片及其主结区结构、制作方法,其中一种4H‑SiC MOSFET芯片的主结区结构提及,衬底上形成N‑漂移层,在N‑漂移层嵌入P阱,场氧化层设置在P阱的表面,且在P阱的范围内,场氧化层分为多个场氧化块...
  • 本发明公开了一种基于双铁电耦合界面的多功能逻辑器件及其制备方法,该器件包括硅衬底层以及硅衬底层上的TiN/Al1‑x1‑xScxxN/ε‑Ga22O33/TiN异质结构,TiN/Al1‑x1‑xScxxN/ε‑Ga22O33/TiN异质结构...
  • 本发明涉及场效应晶体管器件技术领域,公开了一种二维材料场效应晶体管及其制备方法。该二维材料场效应晶体管包括层叠布置的衬底绝缘层、栅极层、栅极接触电极、垂直电场屏蔽结构、第二绝缘层及导电沟道薄膜。导电沟道薄膜远离第二绝缘层的一侧形成有第二台阶...
  • 本发明公开一种铝氮类HEMT器件及其制备方法,其中,铝氮类HEMT器件包括设置在铝氮类势垒层与源极和漏极之间的n型接触改善层,n型接触改善层通过在镓氮类材料中进行n型掺杂得到。由于本发明在铝氮类势垒层与源极和漏极之间设置了n型接触改善层,n...
  • 本公开实施例提供一种半导体器件及其制备方法、电子设备,涉及半导体技术领域,可以缓解半导体器件栅极表面漏电造成功耗大的问题。半导体器件包括衬底、异质结构、栅帽层、栅极、第一钝化层、绝缘层、第二钝化层。异质结构设置于衬底的一侧。栅帽层设置于异质...
  • 本发明属于功率半导体技术领域,涉及一种GaN基P型场效应晶体管及其集成方法。该晶体管的半导体功能层从表面向底部依次包含低阻P型GaN层、高阻GaN体区、极化电场层和GaN电子收集层,其中介质槽贯穿低阻P型GaN层形成槽栅结构,介质槽由位于槽...
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