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最新专利技术
  • 一种甲烷裂解联产氢气和碳材料的工艺和系统
    一种甲烷裂解联产氢气和碳材料的工艺和系统_中国科学院上海高等研究院_202511511022.9
    本发明涉及一种甲烷裂解领域，特别是涉及一种甲烷裂解联产氢气和碳材料的工艺和系统，所述甲烷裂解联产氢气和碳材料的工艺包括如下步骤：S1.第一股原料气经第一反应器发生甲烷裂解反应得到第一混合气和第一碳材料；S2.第二股原料气与步骤S1中生成的第...
    2026-03-10
  • 一种由氰基桥联高熵材料及其制备方法和应用
    一种由氰基桥联高熵材料及其制备方法和应用_浙江工业大学_202511540059.4
    本发明公开了一种由氰基桥联高熵材料及其制备方法和应用。由氰基桥联的高熵材料的制备方法包括如下步骤：步骤1：将乙酸锰、乙酸钴、乙酸铜、乙酸锌溶解在超纯水中，加入PVP、柠檬酸钠制成A液；步骤2：将镍氰酸钾溶在超纯水里配成B液，待溶解后将B液倒...
    2026-03-10
  • 一种储氢材料及其制备方法和应用
    一种储氢材料及其制备方法和应用_聚孔(上海)新材料科技有限公司_202511910837.4
    本发明涉及化工材料技术领域，公开了一种储氢材料及其制备方法和应用。该方法包括：(1)在溶剂存在下，将二羟基对苯二甲酸和金属盐进行混合反应，得到金属有机骨架；所述金属盐为锌盐和/或镍盐；(2)在粘结剂存在下，将所述金属有机骨架与碳分子筛进行混...
    2026-03-10
  • 一种复合储氢材料及其制备方法和应用
    一种复合储氢材料及其制备方法和应用_云南电网有限责任公司电力科学研究院_202511631302.3
    本发明属于储氢材料技术领域，尤其涉及一种复合储氢材料及其制备方法和应用。一种复合储氢材料，由AB22型Laves相合金与BCC结构钒基固溶体合金复合而成；其中，所述AB22型Laves相合金与所述BCC结构钒基固溶体合金在结构上相互独立；所...
    2026-03-10
  • 一种多层通孔片结构及其制备方法
    一种多层通孔片结构及其制备方法_上海新微技术研发中心有限公司_202411038382.7
    本发明公开了一种多层通孔片结构及其制备方法，包括以下步骤：第一待键合通孔片的第一键合面上形成有第一保护膜层，第二键合面上依次形成有第二保护膜层和静电膜层；湿法腐蚀去除所述第一保护膜层；去除所述静电膜层；通过所述第一键合面将所述第一待键合通孔...
    2026-03-10
  • 一种用于压电叠层结构的MEMS芯片制备方法
    一种用于压电叠层结构的MEMS芯片制备方法_合肥领航微系统集成有限公司_202511858209.6
    本发明公开一种用于压电叠层结构的MEMS芯片制备方法，包括：准备有正、背面的基底，在其正面生长压电层；准备衬底并贯穿开设引线通道；将所述衬底键合于所述压电层远离所述基底的表面；减薄基底；刻蚀衬底形成背腔，为振膜提供振动空间。本发明简化传统压...
    2026-03-10
  • 一种基于压电叠层结构的MEMS芯片制备方法
    一种基于压电叠层结构的MEMS芯片制备方法_合肥领航微系统集成有限公司_202511857445.6
    本发明公开了一种基于压电叠层结构的MEMS芯片制备方法，包括步骤，准备基底，所述基底具有相对的正面及背面，在所述基底的正面生长压电层；在所述压电层远离所述基底的表面临时键合刚性载体；减薄所述基底，贯穿基底开设引线通道；准备衬底，贯穿所述衬底...
    2026-03-10
  • 半导体器件的制备方法及半导体器件
    半导体器件的制备方法及半导体器件_芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司_202511604944.4
    本申请实施例涉及一种半导体器件的制备方法及半导体器件，其中方法包括：提供半导体结构；在半导体结构上形成覆盖铝铜合金层的保护层；在保护层上形成光刻胶层，通过曝光、显影使得光刻胶层被图案化；以图案化后的光刻胶层为掩膜对保护层和导电层进行刻蚀，以...
    2026-03-10
  • 一种以聚酯为基材的微坑制备方法及其应用
    一种以聚酯为基材的微坑制备方法及其应用_瑞昌核物理应用研究院_202511499066.4
    本发明属于材料制备技术领域，具体涉及一种以聚酯为基材的微坑制备方法及其应用。本发明提供的方法主要包括以下过程：先利用加速器加速重离子，然后用加速后的重离子轰击聚酯，待重离子对聚酯造成损伤之后，用添加缓蚀剂的蚀刻剂对聚酯进行蚀刻，得到特定直径...
    2026-03-10
  • 金刚石微纳结构及其制备方法
    金刚石微纳结构及其制备方法_深圳技术大学_202511402602.4
    本发明公开了一种金刚石微纳结构及其制备方法，涉及材料制备技术领域。所述方法包括：在经过预处理的基材的表面生长金刚石薄膜；在金刚石薄膜的表面，通过图案化处理，形成微纳结构对应的金属掩膜膜层，得到第一中间产品；对第一中间产品进行各向异性刻蚀处理...
    2026-03-10
  • 一种MEMS器件及其制造方法、电子装置
    一种MEMS器件及其制造方法、电子装置_华润微电子控股有限公司_202411011827.2
    本发明提供一种MEMS器件及其制造方法、电子装置，该方法包括：提供衬底，在衬底上依次形成绝缘层和第一感压结构；在第二电极上形成牺牲层，牺牲层中形成有贯穿牺牲层的连接柱；在牺牲层上形成第二感压结构，刻蚀第二感压结构以形成释放孔；通过释放孔去除...
    2026-03-10
  • 压电式致动器结构、MEMS部件和液体喷出头
    压电式致动器结构、MEMS部件和液体喷出头_苏州众行汇创科技有限公司_202512034445.2
    本公开提供了一种压电式致动器结构、MEMS部件和液体喷出头，压电式致动器结构振动膜层、下部电极层、压电材料层和上部电极层的面积依次减小，压电材料层的材料为单晶材料；压电式致动器结构的介电材料层部分覆盖振动膜的露出区域、下部电极层的露出区域、...
    2026-03-10
  • 一种基于结构超滑的无锚点翘动式射频微机电开关、及其驱动与制备方法、系统
    一种基于结构超滑的无锚点翘动式射频微机电开关、及其驱动与制备方法、系统_深圳清力技术有限公司_202511780169.8
    本发明公开了一种基于结构超滑的无锚点翘动式射频微机电开关、及其驱动与制备方法、系统，本发明方案通过创新性地将结构超滑技术引入射频微机电开关设计，构建了无锚点翘动式结构，利用翘曲超滑片在原子级光滑界面上的近零摩擦、零磨损运动特性，从根本上解决...
    2026-03-10
  • MEMS芯片、压力传感器及电子设备
    MEMS芯片、压力传感器及电子设备_歌尔微电子股份有限公司_202511394258.9
    本申请提供了一种MEMS芯片、压力传感器及电子设备。所述MEMS芯片包括衬底，所述衬底形成有空腔；硅薄膜，所述硅薄膜设置于所述衬底；P型电阻和N型电阻，所述P型电阻设置于所述硅薄膜并且靠近所述空腔；所述N型电阻设置于所述硅薄膜并且远离所述空...
    2026-03-10
  • MEMS平台与图像传感器芯片集成结构及方法
    MEMS平台与图像传感器芯片集成结构及方法_北京理工大学_202511634985.8
    本发明公开了一种MEMS平台与图像传感器芯片集成结构及方法，涉及图像防抖技术领域；集成结构包括第一MEMS微动平台、基底平台、驱动臂、电连线、图像传感器芯片以及外围电路；第一MEMS微动平台的上表面设置有外围电路和多个第一电连接点；图像传感...
    2026-03-10
  • MEMS电镀中防渗镀的电镀基板、中间结构和制作方法
    MEMS电镀中防渗镀的电镀基板、中间结构和制作方法_强一半导体(苏州)股份有限公司_202511606615.3
    本发明涉及一种MEMS电镀中防渗镀的电镀基板、中间结构和制作方法。所述基板包括硅片、设置在硅片表面的导电层和设置在导电层表面的铝层。所述中间结构包括硅片、设置在硅片表面的导电层、设置在导电层表面的显影铝层和设置在显影铝层上的显影光刻胶层，所...
    2026-03-10
  • 一种车载加药兑药一体机及控制方法
    一种车载加药兑药一体机及控制方法_东风汽车股份有限公司_202511956731.8
    本申请涉及一种车载加药兑药一体机及控制方法，属于农业植保机械自动化技术领域，包括进药流路，其包括兑药箱、储药桶和泵体，连接所述泵体进口和所述兑药箱出口的第一电控阀，以及连接所述泵体出口和储药桶进口的第五电控阀；进水流路，其包括第二电控阀，所...
    2026-03-10
  • 一种加油机器人运维系统及方法
    一种加油机器人运维系统及方法_昆仑数智科技有限责任公司_202411042991.X
    本发明提供了一种加油机器人运维系统及方法，该系统包括：加油机器人本体和运维端，加油机器人本体用于实时采集自身的运行信息，基于运行信息判断加油机器人是否发生异常，基于检测到的异常生成异常信息，并将异常信息发送至运维端；运维端用于基于预先建立的...
    2026-03-10
  • 一种铁路卸车的自动扫仓装置
    一种铁路卸车的自动扫仓装置_中国石油化工股份有限公司_202511956460.6
    本发明涉及卸油扫仓领域，具体涉及一种铁路卸车的自动扫仓装置，包括控制器、卸油检测开关、扫仓检测开关和扫仓头，卸油检测开关设置于转移管道内，扫仓检测开关设置于扫仓软管内，卸油检测开关和扫仓检测开关分别通过控制器与液压站连接；扫仓头包括扫仓连接...
    2026-03-10
  • 一种自动化桶装啤酒机控沫方法及系统
    一种自动化桶装啤酒机控沫方法及系统_杭州喆诺制冷设备有限公司_202511662324.6
    本发明公开了一种自动化桶装啤酒机控沫方法及系统，方法包括：采集各啤酒罐的酒液余量数据和预设的出酒流速需求，获得适配各啤酒罐的二氧化碳调压参数；基于二氧化碳调压参数，控制啤酒从啤酒罐输出至液体缓冲罐，利用液体缓冲罐对啤酒进行压力冲击缓冲及酒沫...
    2026-03-10
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