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一种可实现研磨套更换的研磨套组件及研磨套磨补偿方法
本发明涉及一种可实现研磨套更换的研磨套组件及研磨套磨补偿方法,研磨套组件包括研磨套、定位支座、锁紧螺母和补偿垫片;在定位支座上靠近一端的部位设有法兰;定位支座的另一端为夹持头,夹持头的中心设有安装孔,安装孔的底面构成轴向定位支撑面;在夹持头...
一种磨簧机弹簧自动上料机及其工作方法
一种磨簧机弹簧自动上料机包括送料机构、翻转机构、上料机构、磨盘;所述送料机构的输出端与处于进料位置的翻转机构相对应;所述上料机构的进料位置与处于出料位置的翻转机构相对应,所述上料机构的冲压位置与磨盘的下料工位相对应,所述上料机构的出料位置与...
双级锁紧稳持式钻针研磨机抗断针机构
本发明公开了双级锁紧稳持式钻针研磨机抗断针机构,包括钻夹头,钻夹头中夹持有第一套管, 第一套管中插接有钻针;第一套管的一端设置有若干第一狭槽,另一端设置有第二狭槽,中部外表面固定连接有固定管;第一狭槽、第二狭槽将第一套管的端部分割为若干弹片...
一种高效便捷的研磨装夹治具及其使用方法
本发明涉及一种高效便捷的研磨装夹治具及其使用方法,属于机械制造技术领域。该治具包括底板和固定板,底板上设有多个定位孔,用于精确定位固定板;固定板上设有定位槽,用于将待研磨的产品固定于固定板上;固定板上还设有第一固定孔和第二固定孔,通过螺栓将...
晶圆研磨装置及研磨方法
本申请公开了一种晶圆研磨装置及研磨方法,包括:用于保持并旋转晶圆的研磨头单元;与研磨头单元相对设置的抛光板单元,抛光板单元与研磨头单元相对的表面配置有研磨垫;其中,研磨垫由多孔材料制成,且研磨垫在厚度方向上设有若干个贯通孔;抛光板单元还包括...
抛光层、包含其的抛光垫及半导体器件的制造方法
本申请提供了一种抛光层、包含其的抛光垫及半导体器件的制造方法,涉及化学机械平面化处理的抛光技术领域。该抛光层通过包含异氰酸酯预聚体、固化剂以及中空微球的原料反应制得,异氰酸酯预聚体是由包括芳香族异氰酸酯和聚合多元醇的原料反应得到,以NCO为...
一种精度自反馈上料研磨检测线
本发明涉及半导体设备相关技术领域,具体是一种精度自反馈上料研磨检测线, 所述研磨检测线依次设置有切割单元、缓存上料单元、移载搬运单元、研磨倒角单元及检测单元;所述缓存上料单元包括一号底座及设置在所述一号底座上的一号对位机构,设置在所述一号底...
一种研磨系统、设备及晶圆清洁方法
本申请公开一种研磨系统、设备及晶圆清洁方法,所述研磨系统包括第一研磨装置、第二研磨装置以及预清洁装置,所述第一研磨装置用于对晶圆进行第一研磨,所述第二研磨装置用于对晶圆进行第二研磨,预清洁装置用于在晶圆完成第一研磨后及开始所述第二研磨前,对...
一种全自动研磨抛光设备及其打磨控制方法
本发明公开了一种全自动研磨抛光设备,包括上料机构、第一移载机构、夹取机构、校正机构、打磨机构和监测机构,所述上料机构包括多个第一输送带和转移机构,所述第一输送带用于输送托盘,所述托盘用于放置间隔设置的片状玻璃,所述第一移载机构包括上输送带、...
一种高精度球铰链球面研磨工艺
本发明涉及一种高精度球铰链球面研磨工艺,包括多轴联动研磨设备及研磨刀具准备,参数设定,启动多轴联动研磨设备对底座及球压盖进行研磨,质量检测。本发明研磨刀具选择硬质合金材料,降低研磨刀具成本,确保在研磨过程中的稳定性和刚性;研磨部分为与半球球...
一种高刚性精密合模导柱的磨具
本发明公开了一种高刚性精密合模导柱的磨具,涉及导柱研磨技术领域,包括研磨组件,研磨组件用于对导柱进行研磨并检查研磨的尺寸精度,研磨组件包括研磨部件、支撑切换部件、检查部件,研磨部件用于研磨导柱,支撑切换部件用于对两个导柱进行夹持与位置切换,...
基于多参数反馈控制的碳化硅CMP抛光液动态调节方法及系统
本发明属于半导体制造技术领域,公开了一种基于多参数反馈控制的碳化硅CMP抛光液动态调节方法及系统,包括:实时采集抛光液的氧化还原电位、pH值和浊度数据;将传感器数据输入边缘计算平台进行滤波和标准化处理;基于模糊PID控制算法建立动态调节模型...
硅片CMP抛光与片盒在线清洗集成系统及污染阻断方法
本发明涉及硅片CMP抛光与片盒在线清洗集成系统及污染阻断方法技术领域,公开了一硅片CMP抛光与片盒在线清洗集成系统及污染阻断方法,旨在解决现有半导体制造中片盒二次污染风险高、生产效率受限及设备集成度不足等难题。该系统及方法其特征在于,提供一...
一种磁流变抛光盘、集成励磁组件的磁流变抛光装置及其使用方法
本发明公开了一种磁流变抛光盘、集成励磁组件的磁流变抛光装置及其使用方法,抛光盘包括抛光盘本体,所述抛光盘本体的内腔上表面上、沿抛光盘本体的竖向轴线环向阵列开设有多个向下延伸的动压槽,所述抛光盘本体的内壁沿其竖向轴线环向阵列布置有多个导流片,...
一种铆钉铆柱加工用抛光设备
本发明涉及抛光设备技术领域,具体为一种铆钉铆柱加工用抛光设备,包括磁力抛光机,所述磁力抛光机的上端设置有操作平台,所述操作平台的上端设置有抛光外筒体。通过采用抛光内筒体底部的内锥底与筒底部相配合,结合时既能够对内锥底底部的孔洞进行封堵,筒底...
一种汽车零部件的抛光设备
本发明公开了一种汽车零部件的抛光设备,涉及汽车零部件加工技术领域,包括筛分箱、放置台以及抛光桶,所述筛分箱内部对称安装第一导流板,两组所述第一导流板外壁安装多组第一凸板,所述筛分箱内部对称安装第二导流板,两组所述第二导流板外壁安装多组第二凸...
一种纸管抛光装置及其抛光方法
本发明申请公开了一种纸管抛光装置及其抛光方法,属于纸管抛光技术领域,纸管抛光装置包括机架单元、多个抛光单元、定位单元;多个抛光单元、定位单元安装在机架单元上;抛光单元包括:驱动部、第一抛光部和第二抛光部;驱动部驱动第一抛光部、第二抛光部相互...
一种用于波纹补偿器球体精抛光装置
本发明涉及波纹补偿器球体精抛光技术领域,且公开了一种用于波纹补偿器球体精抛光装置,包括加工平台,所述加工平台的底部连接有支撑腿,所述加工平台的上方设置有波纹补偿器球体,除尘机构借助电机驱动传动轴同步带动抛光刀具转动与半齿齿轮啮合传动,配合弹...
一种抱箍加工用表面处理装置及其方法
本发明涉及抱箍加工技术领域,公开了一种抱箍加工用表面处理装置及其方法,包括工作台,所述工作台顶部设置有固定组件,所述工作台顶部设置有抛光组件,所述工作台内部设置有摆动组件,所述工作台左侧设置有清理组件,所述工作台前端设置有防护组件;所述固定...
一种黑色金属冶炼压延品抛光加工装置
本发明涉及金属抛光技术领域,公开了一种黑色金属冶炼压延品抛光加工装置,包括转动辊和黑色金属冶炼压延品,黑色金属冶炼压延品另一端设有收卷黑色金属冶炼压延品的收卷辊,转动辊用于按压黑色金属冶炼压延品上表面,并让黑色金属冶炼压延品呈V形,且转动辊...
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