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  • 本申请公开了一种内孔高精度平面往复研磨工具及研磨系统。该研磨工具包括气缸基体和小车基体,气缸基体内部设有气路,气路与供气管路连通,气缸基体的底部设有若干与气路连通的气缸筒,气缸筒内设有伸缩的单作用气缸活塞;小车基体的顶部为气缸作用端面,小车...
  • 本发明公开了一种晶片双面抛磨设备及抛磨方法,该晶片双面抛磨设备包括:下磨盘、上磨盘、限位盘;所述上磨盘与下磨盘相对设置;所述限位盘位于下磨盘和上磨盘之间,所述限位盘上形成有限位槽,所述限位槽贯穿于限位盘的上下表面,晶片放置于限位槽内,且限位...
  • 本发明公开了一种使用碳化硅衬底抛光液的持续抛光设备,涉及晶圆抛光设备技术领域,包括设备主体,设备主体的内部固定安装有抛光液输送设备,设备主体内部的中间位置固定安装有抛光设备,设备主体内部远离抛光液输送设备的一侧固定安装有机械臂,还包括设置于...
  • 本发明提供一种包括多个印刷粒子的研磨组合物及该些印刷粒子的制备方法。该研磨组合物包括一液态载体;以及分散于该液态载体中的多个印刷粒子。该些印刷粒子是透过增材工艺所制备的。
  • 一种微晶玻璃抛光用装夹装置及使用方法,包括底座、活动长挡边、活动短挡边,底座设置有安装孔,安装孔与固定螺栓进行对接抛光机机头,固定长挡边和固定短挡边直角设置配合活动长挡边和活动短挡边夹紧,形成稳定定位区域;活动挡边设有通槽与夹紧螺栓可适配不...
  • 本发明公开了一种可自动提升翻转的研磨夹具,包括提升机构、翻转机构、夹具体和支撑驱动臂,提升机构设有运动平台,运动平台带动翻转机构升降,翻转机构与运动平台通过横向的翻转轴连接,翻转机构上固定设置支撑驱动臂并共同以翻转轴为轴线翻转,支撑驱动臂包...
  • 本发明提供了一种多孔轴承气浮转台及减薄机,包括轴承体、旋转体、进气结构及排气结构。其中的上多孔止推轴承、下多孔止推轴承及多孔径向轴承实现了面源供气,从而在相应的位置形成均匀、连续的气膜,提供给旋转体刚度极高的气膜支承,提升转台在高速旋转时的...
  • 本申请公开了一种吸附件组,涉及半导体制造技术领域,安装于支撑结构上,吸附件组包括结构板和设置于结构板中部柔性杆。柔性杆自临近结构板和支撑结构的连接位置朝远离该连接位置的方向延伸设置,柔性杆临近该连接位置的一端固定,另一端悬挑;结构板和柔性杆...
  • 本发明提供了一种清洗装置,属于半导体生产技术领域。该清洗装置应用于包括上定盘(1)和下定盘(2)的双面抛光设备,上定盘(1)和下定盘(2)的表面上均设置有抛光垫(3),清洗装置包括:机械臂(4)一端设置有安装板(401);多个喷头对(5),...
  • 一种研磨垫修整控制方法及装置、存储介质、CMP设备。所述方法包括:接收研磨垫修整配置信息;基于所述研磨垫修整配置信息,模拟所述研磨垫修整器在所述研磨垫表面的打磨轨迹并输出模拟结果,以基于所述模拟结果对研磨垫修整进行控制。采用上述方案,可以提...
  • 本发明公开了一种打磨设备的定量输送装置,属于打磨输送技术领域,包括安装架。本发明通过设置振动送料机构,能够将料斗内的磨料均匀、平稳地输送至分料盘进口,防止磨料在输送过程中发生堵塞或堆积,同时通过分料盘上的重量传感器能够实时、精确地检测落入其...
  • 本发明涉及打磨头技术领域,特别是一种挡尘组件及防尘打磨头,包括第一壳体;第二壳体,其与所述第一壳体同轴设置,所述第二壳体的外径小于所述第一壳体的内径,所述第一壳体或所述第二壳体绕所述第二壳体的轴线旋转,所述第一壳体和第二壳体之间形成过渡腔室...
  • 本发明公开了一种半导体陶瓷钟形汽室装夹装置及抛光方法,旨在解决现有的装夹装置无法适用多种尺寸规格的钟形汽室抛光时的装夹不足。该发明包括底板、压块和若干支撑块,支撑块周向间隔设置在底板上,支撑块对钟形汽室外壁进行支撑,压块与底板连接,压块压紧...
  • 本发明涉及到玻璃抛光技术领域,公开了一种触摸玻璃侧抛治具,包括吸盘和定位机构,定位机构包括第一基准块、第二基准块和驱动组件,第一基准块平行于第一侧面,第二基准块平行于第二侧面,驱动组件设置有呈L形的连接块,连接块的上端面支撑第一基准块和第二...
  • 本发明涉及砂轮磨削技术领域,具体涉及一种便携式磨刀机砂轮磨损预警装置及方法。该方法通过振动信号分析局部冲击强度与能量累积情况,结合频域分布扩散情况获取磨损信号响应强度指标;通过电流高波动偏离与转速抖动不稳定程度获取磨损工况干扰强度指标,对信...
  • 本发明提供的一种用于皮带打磨的打磨机精准控制方法,属于精准控制技术领域,其通过在现有打磨机基础上增设皮带厚度检测模块,实时获取打磨后皮带的实际厚度;利用主控单元对比实际厚度与标准厚度的偏差,结合打磨机的机械特性和皮带材质参数,计算出打磨空间...
  • 本发明涉及一种无心外螺纹磨床砂轮用修整机构,包括与砂轮对应设置且通过驱动装置驱动绕着轴线旋转的磨削滚轮、带动磨削滚轮相对砂轮进行前后移动的垂直进给机构、带动磨削滚轮进行左右调节移动的水平进给机构以及带动磨削滚轮转动使得磨削滚轮轴线与砂轮轴线...
  • 本申请提供一种球拍喷涂打磨用的喷淋除尘装置及方法,包括具有腔室的台座,台座的顶部设置有第一风机件,台座的顶端一侧设置有延长座并安装有第二风机件,通过第一风机件和第二风机件的配合,能够在台座的一侧和上方产生对粉尘吸附的风压,台座上设置有镂空部...
  • 本发明公开了一种管道内部喷砂除锈装置及其使用方法,包括外壳和管道,所述外壳顶部安装有放置板,所述放置板顶部靠近左侧处固定连接有储气罐,本发明通过外壳、蓄电池、双轴马达、蜗杆、蜗轮、小型齿轮、大型齿轮、第二转轴、第三转轴、第四转轴、滚轮等部件...
  • 本发明涉及一种复杂曲面自适应磨料射流强化方法及系统,该方法包括:获取工件的三维点云数据集;对三维点云数据集进行分析,获取到第一主成分向量;设定截平面,基于第一主成分向量计算出截平面与三维点云数据集的交线,该交线为初始路径;计算初始路径上每个...
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