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最新专利技术
  • 衬底处理设备和调整环构件高度的方法
    衬底处理设备和调整环构件高度的方法_细美事有限公司_202510879954.2
    公开了一种能够在不打开室的情况下检查环构件的蚀刻量的衬底处理设备。使用等离子体的所述衬底处理设备包括：处理室，所述处理室限定处理空间；卡盘，所述卡盘定位在所述处理空间中以从下方支撑衬底；环构件，所述环构件围绕所述卡盘定位；环升降装置，所述环...
    2026-03-14
  • 射频功率系统、阻抗匹配方法及半导体工艺设备
    射频功率系统、阻抗匹配方法及半导体工艺设备_北京华丞电子有限公司_202511287297.9
    本申请提供了一种射频功率系统、阻抗匹配方法及半导体工艺设备，该射频功率系统包括射频电源模块、匹配器模块、信号检测模块和控制模块，射频电源模块、匹配器模块和腔室依次连接，信号检测模块用于检测匹配器模块的射频输入端的射频信号，控制模块用于在射频...
    2026-03-14
  • 一种用于RPO设备氢氧混合的安全控制系统及方法
    一种用于RPO设备氢氧混合的安全控制系统及方法_盛吉盛半导体科技(北京)有限公司_202511569573.0
    本发明公开了一种用于RPO设备氢氧混合的安全控制系统及方法，其属于半导体制造技术领域，所述安全控制系统包括反应腔室、点火腔室和主控模块，点火腔室内设有点火组件，反应腔室的出口处设有排气管路，反应腔室的入口与点火腔室的出口相连通，点火腔室的入...
    2026-03-14
  • 气体分配装置及分配方法、半导体器件加工设备
    气体分配装置及分配方法、半导体器件加工设备_拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司_202511629637.1
    本发明提供了一种气体分配装置，包括第一管道、至少一条第二管道和控制器。该第一管道连接气源，并设有压力探测器。该至少一条第二管道分别连接一个处理站，并分别设置有温度调节机构。该控制器连接压力探测器和温度调节机构，并被配置为，根据压力探测器采集...
    2026-03-14
  • 一种高螺旋多通道电子倍增器及其制备方法
    一种高螺旋多通道电子倍增器及其制备方法_苏州晶溪牧科技有限公司_202511469941.4
    本发明公开了一种高螺旋多通道电子倍增器及其制备方法，适用于俄歇电子能谱仪(AES)、X射线光电子能谱仪(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、质谱仪等高端分析仪器中的微弱信号探测系统，以满足高端分析仪器对高灵敏度、低噪声、长寿命探测器的迫切需...
    2026-03-14
  • 一种中子敏感微通道板、中子探测器及其制造方法
    一种中子敏感微通道板、中子探测器及其制造方法_中国科学院西安光学精密机械研究所_202610001824.3
    本发明公开了一种中子敏感微通道板、中子探测器及其制造方法，属于中子探测器技术领域。中子敏感微通道板包括玻璃基板，玻璃基板上开设有多个贯穿玻璃基板厚度方向的微通道，微通道为锥形通孔结构，微通道的入口端的孔径小于出口端的孔径，入口端的开口率低于...
    2026-03-14
  • 一种射频检波电路系统
    一种射频检波电路系统_上海仪电分析仪器有限公司_202511532157.3
    本发明提供一种射频检波电路系统，涉及科学仪器技术领域。该射频检波电路系统，包括射频信号RF+、射频信号RF‑和全波检波电路，所述射频信号RF+与全波检波电路连接，全波检波电路的两路输出端分别与上半周滤波电路和下半周滤波电路连接，上半周滤波电...
    2026-03-14
  • 雾化组件、离子源装置及质谱仪
    雾化组件、离子源装置及质谱仪_联影越质科学仪器(武汉)有限公司_202511768844.5
    本申请涉及一种雾化组件、离子源装置及质谱仪。雾化组件包括：雾化喷针，雾化喷针用于喷射雾滴；导流件，导流件的第一壁面为平面，第一壁面的至少部分位于雾化喷针的喷射方向上，并沿雾化喷针的喷射方向延伸；辅助气喷嘴，辅助气喷嘴位于雾化喷针远离第一壁面...
    2026-03-14
  • 一种质谱仪离子束探测与自动化调试装置及调试方法
    一种质谱仪离子束探测与自动化调试装置及调试方法_西北核技术研究所_202511627020.6
    本发明提供一种质谱仪离子束探测与自动化调试装置及调试方法，属于仪器控制技术领域，包括：第一聚焦透镜和第一偏转透镜，设置在离子源狭缝位置；类法拉第杯探测器，位于透镜组的后侧，探测离子并转化为第一电信号；第二偏转透镜，设置在质谱仪的离子源狭缝后...
    2026-03-14
  • 离子导引装置及离子质量分析设备
    离子导引装置及离子质量分析设备_联影越质科学仪器(武汉)有限公司_202511937027.8
    本申请提供一种离子导引装置及离子质量分析设备，属于离子质量检测的技术领域。离子导引装置包括：传输极杆、第一四极滤质器、预处理组件和至少一组解离组件；传输极杆配置为接收并传输离子束或目标碎片离子；第一四极滤质器配置为接收至少一组离子束并传输离...
    2026-03-14
  • 离子调控装置、离子引导装置、控制方法、装置、设备及离子引导系统
    离子调控装置、离子引导装置、控制方法、装置、设备及离子引导系统_联影越质科学仪器(武汉)有限公司_202511938880.1
    本申请提供的一种离子调控装置、离子引导装置、控制方法、装置、设备及离子引导系统，通过设置第一引导元件和偏转力场生成模块，在离子注入所述第一引导元件的情况下，控制所述第一引导元件施加与离子传输方向反向的反向电场，从而将离子捕获在第一引导元件内...
    2026-03-14
  • 一种空间用小型双聚焦质谱成像系统及使用方法
    一种空间用小型双聚焦质谱成像系统及使用方法_兰州空间技术物理研究所_202511603732.4
    本申请涉及仪器仪表技术领域，具体而言，涉及一种空间用小型双聚焦质谱成像系统及使用方法，所述系统包括离子源、编码板、静电分析器、磁分析器以及FOP探测器，其中：离子源采用对称磁场结构，阴极发射装置和热灯丝分别位于离子源的两端；编码板设置在离子...
    2026-03-14
  • 结合离子漏斗的解吸电喷雾和二次光电离质谱成像装置及工作方法
    结合离子漏斗的解吸电喷雾和二次光电离质谱成像装置及工作方法_中国科学技术大学_202511858701.3
    本发明公开了一种结合离子漏斗的解吸电喷雾和二次光电离质谱成像装置，包括双光源二次电离组件、双级离子漏斗、解吸电喷雾电离源和用于搭载被测物载玻片的三自由度位移成像平台，解吸电喷雾电离源设在三自由度位移成像平台上方位于载玻片的一侧，双光源二次电...
    2026-03-14
  • 一种氢同位素质谱仪进气系统的自动配气方法和系统
    一种氢同位素质谱仪进气系统的自动配气方法和系统_四川红华实业有限公司_202610000828.X
    本申请涉及气体分析仪器技术领域，提供一种氢同位素质谱仪进气系统的自动配气方法和系统，用以解决现有技术中样品中氢同位素比值测量的稳定性差和响应速度慢的问题。本申请方法包括：获取质谱仪在测量目标气体中的氢同位素气体时产生的离子流强度信号；对该信...
    2026-03-14
  • 分析装置、参数确定装置及参数分析系统
    分析装置、参数确定装置及参数分析系统_联影越质科学仪器(武汉)有限公司_202511936984.9
    本申请实施例提供的一种分析装置、参数确定装置及参数分析系统，分析装置将捕获组件、磁场产生组件和感应组件集成于一体，避免了复杂的物理连接，大大提高了装置的集成度，有效减小了整体体积，能够基于分析装置实现离子的迁移率与质荷比分析。
    2026-03-14
  • 准分子灯
    准分子灯_优志旺电机株式会社_202511014817.9
    本发明提供一种准分子灯，使发光区域扩大。准分子灯具备：发光管，具有在外周面的端部附近具有排气管残留部的外侧管和插入到所述外侧管之内的内侧管，并通过将所述外侧管与所述内侧管在两端部处接合而形成密封空间；内侧电极，配置于所述内侧管的内侧；及外侧...
    2026-03-14
  • 一种用于高功率脉冲氙灯的电极组件及其制备方法
    一种用于高功率脉冲氙灯的电极组件及其制备方法_中国科学院上海光学精密机械研究所_202511986425.9
    本发明公开一种用于高功率脉冲氙灯的电极组件及其制备方法，旨在解决传统电极质量大、可靠性及稳定性差的技术缺陷。该电极组件主要由电极头、电极杆和引线座构成，各部件材料分别采用铈钨合金、铌及不锈钢。电极头与电极杆通过钎焊结合过盈连接的方式实现稳固...
    2026-03-14
  • 一种锌碳复合微球电极及其制备方法和在锌离子电池中应用
    一种锌碳复合微球电极及其制备方法和在锌离子电池中应用_宜宾凯翼汽车有限公司_202511560331.5
    本发明属于锌离子电池电极材料领域，公开了一种锌碳复合微球电极及其制备方法与锌离子电池中的应用；通过将锌盐、乌洛托品及柠檬酸钾配置成前驱体溶液，经水热反应和熟化处理后，依次进行分离、洗涤、干燥及煅烧，获得具有空心结构的锌碳复合微球；再通过成膜...
    2026-03-14
  • 电极箔的制造方法
    电极箔的制造方法_丰田自动车株式会社_202511009041.1
    本发明提供一种能够抑制在电极箔的照射激光而被切断的切断部在厚度方向上产生毛刺的电极箔的制造方法。本发明的电极箔的制造方法在向由将不同种类金属材料贴合而成的贴合材料构成的电极箔照射激光来切断电极箔时，设置成沿使电极箔的切断部分离的箔面方向施加...
    2026-03-14
  • 一种极片的制备方法及电池
    一种极片的制备方法及电池_深圳市豪鹏科技股份有限公司_202511382090.X
    本发明涉及锂离子电池技术领域，特别涉及一种正极片的制备方法、正极片、卷芯结构和电池。本发明的正极片的制备方法中，首先沿铝箔的TD方向涂覆正极活性材料以获得正极涂覆片。之后，沿铝箔的TD方向分切所述正极涂覆片以得到正极片。得到的正极片的长度方...
    2026-03-14
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