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最新专利技术
  • 一种智能可调户外跌落式熔断器
    一种智能可调户外跌落式熔断器_垣曲县国昶新能源有限公司_202511583245.6
    本发明涉及熔断器领域，具体涉及一种智能可调户外跌落式熔断器，本发明包括绝缘子，绝缘子两端分别固定连接有上端静触头和下端静触头，上端静触头和下端静触头之间可拆卸连接有跌落熔管；跌落熔管包括外壳、熔融丝束、绝缘顶头和金属顶头，熔融丝束可拆卸连接...
    2026-02-09
  • 用于三维原子探针的大尺寸大开口面积比微通道板及其制备方法
    用于三维原子探针的大尺寸大开口面积比微通道板及其制备方法_北方夜视技术股份有限公司_202511259233.8
    本发明提供一种用于三维原子探针的大尺寸大开口面积比微通道板及其制备方法，该方法包括以下步骤：采用正六边形芯料棒匹配正六边形皮料玻璃管，经过拉单丝、排制复丝棒、拉制复丝、复丝排屏、冷加工切片以及酸碱腐蚀后，获得微通道为正六边形的微通道MCP基...
    2026-02-09
  • 一种连续曲线构成的回旋管高频互作用结构
    一种连续曲线构成的回旋管高频互作用结构_电子科技大学_202511299810.6
    本发明公开了一种连续曲线构成的回旋管高频互作用结构，其特征在于，回旋互作用结构由三次样条差值拟合曲线结构的截止段，互作用段，输出段组成，并且截止段与互作用段，互作用段与输出段的连接处曲线斜率一致。通过该高频互作用结构，可以在太赫兹频段激励起...
    2026-02-09
  • 基于脉冲强磁场的紧凑型回旋管太赫兹源装置
    基于脉冲强磁场的紧凑型回旋管太赫兹源装置_中国工程物理研究院应用电子学研究所_202511639228.X
    本发明属于电真空器件技术领域，公开一种基于脉冲强磁场的紧凑型回旋管太赫兹源装置，包括电源部和回旋管管体；回旋管管体上设有用于产生电子注的阴极以及作为电子注通道的谐振腔，回旋管管体的电子注通道处外侧周壁作为阳极；回旋管管体电子注通道处的外侧周...
    2026-02-09
  • 一种热阴极离子源、中子管
    一种热阴极离子源、中子管_中科石金(广东)中子技术有限公司_202511106276.2
    本发明公开了一种热阴极离子源、中子管，涉及中子应用技术领域，包括筒状阴极，端盖阴极，设置在筒状阴极的顶部；阳极杆，设置在筒状阴极内部中轴处，所述阳极杆的一端接近筒状阴极的底部，另一端穿过端盖阴极延伸至所述筒状阴极的外部；热阴极，安装在端盖阴...
    2026-02-09
  • 一种微焦点X射线管
    一种微焦点X射线管_奕瑞电真空技术(海宁)有限公司_202511168463.3
    本发明提供一种微焦点X射线管，真空腔体内电子加速结构的出射口与第一漂移管的入射口密封连通；极靴磁透镜结构内贯通有漂移通道的入射口与第一漂移管的出射口密封连通，漂移通道的出射口与第二漂移管的入射口密封连通，第二漂移管依次贯穿各个四极磁透镜的磁...
    2026-02-09
  • 一种引出系统的操纵器及离子注入机
    一种引出系统的操纵器及离子注入机_浙江求是创芯半导体设备有限公司_202511651005.5
    本发明公开了一种引出系统的操纵器及离子注入机，属于离子注入机技术领域。引出系统的操纵器包括第一驱动组件、第二驱动组件、第一连接块、转轴和锁定组件，第一驱动组件用于驱动引出系统沿第一方向移动，第二驱动组件驱动第一驱动组件和引出系统沿第二方向移...
    2026-02-09
  • 一种扫描电镜用样品台及其使用方法
    一种扫描电镜用样品台及其使用方法_中国地质科学院矿产资源研究所_202511208226.5
    本申请涉及一种扫描电镜用样品台及其使用方法，属于地质样品测试技术领域，用以解决现有技术中样品台难以适配不同尺寸的样品靶的问题。扫描电镜用样品台包括基座以及设于基座上的夹持结构；夹持结构具有夹持空间以及设于夹持空间内部的置物台；其中，夹持空间...
    2026-02-09
  • 用于电子束检测设备的探测器调节方法及相关产品
    用于电子束检测设备的探测器调节方法及相关产品_东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司_202511212301.5
    本发明提供了一种用于电子束检测设备的探测器调节方法及相关产品。调节方法包括获取电子束检测设备的检测参数电子束控制参数，检测参数电子束控制参数用于调节包括电子束检测设备的电子束的束斑光阑孔参数和/或束流聚光镜参数；利用预先建立的增益模型确定与...
    2026-02-09
  • 离子注入工艺的监控方法、离子注入系统及可读存储介质
    离子注入工艺的监控方法、离子注入系统及可读存储介质_杭州富芯半导体有限公司_202511254814.2
    本发明提供了一种离子注入工艺的监控方法、离子注入系统及可读存储介质，监控方法包括：使离子注入装置对控片执行离子注入工艺；使热波测量装置对执行了离子注入工艺的控片进行热波测量，得到第一热波讯号实测值；基于控片的循环次数以及热波讯号实测值与控片...
    2026-02-09
  • 离子注入设备能量实时监控系统及方法
    离子注入设备能量实时监控系统及方法_广州增芯科技有限公司_202511262922.4
    本申请公开了一种离子注入设备能量实时监控系统及方法。系统包括监测模组，设于加速器谐振腔下游位置，监测模组包括能量反馈控制器，用于在离子注入设备进行预设能量的离子注入过程中，按预设采样频次采集加速器谐振腔输出的空闲离子束流的能量反馈信号并得到...
    2026-02-09
  • 工艺腔室和多重图案刻蚀方法
    工艺腔室和多重图案刻蚀方法_北京北方华创微电子装备有限公司_202410757216.6
    本申请公开一种工艺腔室和多重图案刻蚀方法，属于半导体技术领域。工艺腔室中，第一电极、第二电极和离化线圈均安装于工艺腔体；第二电极设置于用于承载待加工件的承载装置；第一电极与第二电极相对，且位于第二电极的上方；进气管路与工艺腔体连通，离化线圈...
    2026-02-09
  • 用于原子层刻蚀的快速气体输送系统和方法
    用于原子层刻蚀的快速气体输送系统和方法_启迪原子私人有限公司_202510771085.1
    本发明涉及一种用于原子层刻蚀的快速气体输送系统和方法。所述系统利用设置在气体分配单元附近的紧凑型气体缓冲器，能够使气体更快且更高效地输送至腔室。控制器管理气体缓冲器的气体流动，以使气体缓冲器内维持进行单次ALE循环所需的气体量。当一个气体缓...
    2026-02-09
  • 用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环
    用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环_朗姆研究公司_202511011910.4
    一种用于等离子体处理系统的可移动边缘环系统包括：顶部边缘环；以及第一边缘环，其布置于所述顶部边缘环下方。第二边缘环由导电材料制成，并且包括上部、中间部和下部。所述顶部边缘环和所述第二边缘环被配置成在被升降销向上偏移时于竖直方向上相对于衬底支...
    2026-02-09
  • 用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环
    用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环_朗姆研究公司_202511011965.5
    一种用于等离子体处理系统的可移动边缘环系统包括：顶部边缘环；以及第一边缘环，其布置于所述顶部边缘环下方。第二边缘环由导电材料制成，并且包括上部、中间部和下部。所述顶部边缘环和所述第二边缘环被配置成在被升降销向上偏移时于竖直方向上相对于衬底支...
    2026-02-09
  • 用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环
    用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环_朗姆研究公司_202511012012.0
    一种用于等离子体处理系统的可移动边缘环系统包括：顶部边缘环；以及第一边缘环，其布置于所述顶部边缘环下方。第二边缘环由导电材料制成，并且包括上部、中间部和下部。所述顶部边缘环和所述第二边缘环被配置成在被升降销向上偏移时于竖直方向上相对于衬底支...
    2026-02-09
  • 用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环
    用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环_朗姆研究公司_202511012061.4
    一种用于等离子体处理系统的可移动边缘环系统包括：顶部边缘环；以及第一边缘环，其布置于所述顶部边缘环下方。第二边缘环由导电材料制成，并且包括上部、中间部和下部。所述顶部边缘环和所述第二边缘环被配置成在被升降销向上偏移时于竖直方向上相对于衬底支...
    2026-02-09
  • 衬底处理设备
    衬底处理设备_ASMIP私人控股有限公司_202511189782.2
    一种能够局部地控制等离子体强度并改善薄膜特性和厚度均匀性的衬底处理设备包括：供电单元、电连接到供电单元的处理单元和处理单元下方的衬底支撑单元，其中衬底支撑单元包括第一接地电极和第二接地电极。
    2026-02-09
  • 含内置传输线的高效率X射线成像器及其制备方法
    含内置传输线的高效率X射线成像器及其制备方法_北方夜视科技(南京)研究院有限公司_202511197634.5
    本发明提供一种含内置传输线的高效率X射线成像器及其制备方法，通过在下方微通道板的输入面设置导电条带，上方微通道板的输入面和输出面均设置导电条带，上方微通道板的输出面与下方微通道板的输入面相对贴合设置，两面的每个导带条带单元形成一一对应关系，...
    2026-02-09
  • 一种超细颗粒物的筛选及传输装置、方法
    一种超细颗粒物的筛选及传输装置、方法_广东省麦思科学仪器创新研究院_202511291324.X
    本发明提供一种超细颗粒物的筛选及传输装置、方法，包括：荷电筛分模块，用于对进入的气溶胶粒子进行目标粒径及荷电筛分；空气动力学透镜，用于对筛分后的带电粒子进行聚焦并形成粒子束；冷却聚束模块，包括射频多极杆，用于使带电粒子在传输过程中得到冷却并...
    2026-02-09
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