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  • 具备基板(10)、层叠于基板的下部电极(13)、层叠于下部电极且由压电体构成的压电膜(14)、以及层叠于压电膜的上部电极(15),通过形成于基板中的与下部电极相反侧的面的凹部(16),形成有由下部电极、压电膜、上部电极构成的薄膜部(17),...
  • 本公开提供了一种集成无源器件及其制备方法和滤波器。本公开提供的集成无源器件包括:层叠的多个无源器件模块和导电的键合层;无源器件模块包括至少一个无源器件,且相邻两个所述无源器件模块中,至少一个无源器件模块还包括与无源器件电连接的第一连接结构;...
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