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  • 本发明公开了一种基于表面能修复的微纳器件光刻工艺及微纳器件,涉及光刻技术领域;本发明提出的工艺包括步骤:对基底进行等离子体清洗,将等离子体清洗后的基底浸入有机清洗溶剂中,采用浸泡、搅拌和超声处理中的至少一种方式去除基底表面的不稳定变质层和污...
  • 本发明属于微纳结构加工技术领域,具体涉及一种高纵宽比非对称柔性微脊阵列制造方法及其应用。该方法包括以下步骤:步骤S1:通过激光加工方法对倾斜放置的硅片表面进行激光直写加工,制备高深宽比微沟槽阵列,通过硅片的倾角调节,实现非对称微沟槽加工;步...
  • 本申请提供一种MEMS器件及其制造方法、电子装置,该方法包括:提供第一衬底,在所述第一衬底上形成有第一隔离层;在所述第一隔离层上形成至少一个布线图形;形成相对所述布线图形悬空设置的第一质量块、第一支撑部、以及位于所述第一支撑部上的第一键合部...
  • 本发明提出一种基于纸翻花可重构结构的纸基双功能器件及其制备方法与使用方法,所述纸基双功能器件是由若干组基础蜂窝结构单元通过局部区域黏连形成的可伸缩形变的纸翻花式多层结构;所述基础蜂窝结构单元是由相对设置的第一层纸基结构和第二层纸基结构通过局...
  • 公开了一种微机电(MEMS)振动元件,包括:第一构件;可运动构件,其相对于第一构件至少在第一方向上可运动地受支承;其中,在偏移量足够大的情况下,可运动构件相对于第一构件占据止挡位置,在止挡位置中,可运动构件至少在第一止挡点处与第一构件接触;...
  • 一种非制冷红外焦平面探测器,包括:包含读出电路的半导体衬底,以及设置在衬底上的红外探测区域和真空计区域;红外探测区域包括阵列式红外探测器像元;真空计区域包括微桥式真空计;红外探测器像元和真空计均与半导体衬底的读出电路形成电连接。本申请提供一...
  • 本申请涉及一种封装器件、电子设备及交通工具,封装器件包括电路板、芯片组件和支撑件,电路板用于固定安装于交通工具,芯片组件包括至少一个芯片,芯片组件与电路板电连接,支撑件不具备电气功能,支撑件设置于电路板与芯片组件之间。支撑件具有较高的强度,...
  • 本发明公开了一种振膜、振动传感器及电子设备,振膜包括:膜片;树突层,所述树突层设在所述膜片上,所述树突层为纳米级树突结构,所述树突层在所述膜片的表面凸出所述膜片,以在所述膜片表面形成多个树突结构;疏水层,所述疏水层设在所述树突层上。本发明的...
  • 一种用于产生流体脉冲的微电子机械装置(1),其具有:带有第一载体侧(2a)和第二载体侧(2b)的载体结构(2);在载体结构中构造的排挤器单元(3),其具有彼此平行布置的排挤器薄片(4),排挤器薄片在面向第一载体侧(2a)的第一环境体积(5)...
  • 本发明涉及鹤管技术领域,且公开了一种双密封防泄漏鹤管,采用双重密封式的泄漏防护结构,双重配合可有效提高端座的防漏密封防护性,在支撑立柱与内臂连管和内臂连管与外臂连管的对接处分别设置有内臂驱动电机和外臂驱动缸,可分别实现内臂连管的轴向转动与外...
  • 本发明涉及航空应急救援技术领域,更具体地涉及一种灭火飞机不停车快速注水系统及方法。空地协同模块、自动注水执行模块、机载适配模块、安全保障模块,通过四大模块有机融合,结合数字孪生推演、多模态传感定位、自适应控制及智能应急响应等技术,实现了灭火...
  • 本发明提供一种用于药品生产的洗烘灌联动生产线及生产工艺,属于药品生产技术领域,包括洗瓶装置,其用于清洗药品容器;烘干装置,其包括用于预热药品容器的预热室、用于高温灭菌的高温室和用于对药品容器冷却的冷却室;灌封装置,其用于灌装药液并封口;还包...
  • 本发明涉及容器灌装技术领域,具体公开了一种用于多规格容器的自适应灌装设备及方法,包括立架;立架外壁上安装有壳体;壳体外部安装有支撑板;支撑板底部设置有承托板;承托板上设置有灌装管和计量泵;计量泵输出端设置有进料管,计量泵输出端设置有与灌装管...
  • 本发明提出了一种开盖器以及包装桶,属于桶盖开盖技术领域,开盖件上设置有开盖孔,所述开盖孔内壁设置有开盖阻挡件,所述相邻两开盖件之间设置有连接件,连接件将若干开盖件依次叠放或依次排列;连接件便于将两个开盖件依次叠放或依次展开排列,当两个开盖件...
  • 本发明提供一种饮料瓶铝箔封口设备,涉及饮料瓶封口技术领域,包括饮料瓶上料工位、铝箔盖上料工位、封口机、出料工位和移动机构,移动机构用于带动饮料瓶在饮料瓶上料工位、铝箔盖上料工位、封口机和出料工位之间移动,饮料瓶上料工位和铝箔盖上料工位之间还...
  • 本发明公开了一种封口部件压装装置,包括瓶体输送机构和升降压装机构,升降压装机构设于瓶体输送机构的上方,升降压装机构的下方设有瓶颈抱夹机构,瓶颈抱夹机构用于在升降压装机构下压封口部件时抱紧软瓶的瓶颈;瓶颈抱夹机构包括相对设置的第一夹块和第二夹...
  • 本发明公开容器轧盖装置包括旋压机构、控制所述旋压机构接近或远离容器的接近机构和对容器进行轧盖的轧盖机构;所述旋压机构包括成对设置的压瓶头和瓶托,所述压瓶头和所述瓶托至少为一对设置,所述压瓶头位于所述瓶托的上方,所述接近机构控制至少一对所述压...
  • 本发明飞行吊运与机电控制技术领域,提供了一种考虑摆动抑制与视场约束的飞行吊运控制方法及系统,包括:获取飞行吊运的虚拟图像平面;在所获取的虚拟图像平面中提取飞行吊运目标,得到所提取的飞行吊运目标与机体线速度之间的解耦关系;结合所得到的解耦关系...
  • 本发明公开一种爬升机异常解锁装置,包括壳体、套管、行走组件、解锁机构和限位机构;壳体套设于套管外,壳体和套管之间设有隔板;解锁机构包括连接板、转动环和复位件,转动环绕套管转动设于隔板内,连接板设于隔板内,沿套管的径向往复运动,连接板底部与转...
  • 本发明公开了一种室内有限空间GIS组件组合式转运设备及其转运方法,涉及转运工具技术领域。针对现有变底盘转运设备在起升过程中底盘展开与顶升动作控制独立、易因同步失效导致倾覆,以及分体连接件在非受力状态下易脱落的技术问题,本发明通过承重梁与上框...
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