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最新专利技术
  • 封装体、半导体模块以及封装体的制造方法
    封装体、半导体模块以及封装体的制造方法_NGK电子器件株式会社_202480044173.5
    封装体(51)具有空腔(CV)，包括散热板(11)和陶瓷框体(21)。散热板(11)包含含有金属的第一烧结材料，具有：包括面向所述空腔的空腔面的主面(P2)、与所述主面(P2)相反的散热面(P1)、以及所述散热面(P1)与所述主面(P2)之...
    2026-01-30
  • 打线接合装置
    打线接合装置_雅马哈智能机器株式会社_202480041928.6
    一种打线接合装置，包括瓷嘴、超声波振子、与瓷嘴联动地沿上下方向移动而进行金属线的握持、放开的夹持器以及控制部，所述打线接合装置中，控制部于在将夹持器设为关闭的状态下使瓷嘴下降而使瓷嘴的前端接地在引线的时刻t1之后，通过超声波振子对瓷嘴进行超...
    2026-01-30
  • 陶瓷电路基板及其制造方法
    陶瓷电路基板及其制造方法_株式会社特殊陶业材料_202480041249.9
    实施方式的陶瓷电路基板具备陶瓷基板和金属电路。金属电路经由活性金属钎料层接合于所述陶瓷基板的第一面。所述金属电路的厚度为1mm以上。所述金属电路具有沿着与所述第一面垂直的第一方向贯通所述金属电路的贯通孔。所述第一面的一部分在所述第一方向上与...
    2026-01-30
  • 半导体模块
    半导体模块_株式会社村田制作所_202480043157.4
    减少高频噪声。半导体模块(100)具备半导体元件(1)、电源路径(3)、第一电感器(L1)、电容器(C1)以及第二电感器(L2)。半导体元件(1)具有电源端子(14)。电源路径(3)与半导体元件(1)的电源端子(14)连接。第一电感器(L1...
    2026-01-30
  • 带载体的金属箔、层叠体及线路板的制造方法
    带载体的金属箔、层叠体及线路板的制造方法_三井金属株式会社_202480042930.5
    提供能够高精度地进行模制成型后的层叠体的对位，因此能够适当地进行层叠体的小型化的带载体的金属箔。该带载体的金属箔具备：具有第一面和第二面的载体、设置于第一面上的剥离层、以及设置于剥离层上的金属层，在载体的第二面或其附近具有至少1个对准标记。
    2026-01-30
  • 薄管芯结构的预组装翘曲补偿
    薄管芯结构的预组装翘曲补偿_英特尔公司_202480042791.6
    集成电路(IC)管芯结构的表面和IC管芯结构将要键合到的衬底包括双亲性区域，该双亲性区域适合于液滴形成和IC管芯结构与衬底的基于液滴的精细对准。为了确保IC管芯结构的翘曲不干扰基于液滴的精细对准工艺，更大厚度的IC管芯结构与衬底对准，并且随...
    2026-01-30
  • 封装器件、其制备方法及电子设备
    封装器件、其制备方法及电子设备_深圳华大生命科学研究院_202380099593.9
    一种封装器件、其制备方法和电子设备。封装器件包括电路板、导热块和电子元件。所述电路板包括在第一方向上相对设置的第一表面和第二表面，所述电路板开设有贯穿所述第一表面和所述第二表面的通槽。所述导热块固定于所述电路板且至少部分位于所述通槽内。所述...
    2026-01-30
  • 半导体装置及其制造方法
    半导体装置及其制造方法_美蓓亚功率半导体株式会社_202480040742.9
    本发明提供一种半导体装置及其制造方法，其接触插头的平坦化容易，绝缘膜的拐角部的势垒金属的覆盖率良好。半导体装置(1)具有：半导体层(2)；设于半导体层(2)的硅化物层(3)；设于半导体层(2)之上且具有开口(4A)的第一绝缘膜(4)；设于开...
    2026-01-30
  • 半导体装置和摄像装置
    半导体装置和摄像装置_索尼半导体解决方案公司_202480042466.X
    半导体装置包括：MIM结构体，其包括下部电极和上部电极；上部配线层；和通孔，其连接所述上部电极和所述上部配线层。所述上部配线层包括：第一配线图案，其以不覆盖所述通孔的方式延伸；和第二配线图案，其宽度比所述第一配线图案的宽度窄，并且其以覆盖所...
    2026-01-30
  • 在不使用牺牲焊盘的情况下实现微凸块架构以用于探测晶片
    在不使用牺牲焊盘的情况下实现微凸块架构以用于探测晶片_微软技术许可有限责任公司_202480043476.5
    描述了用于在不使用牺牲焊盘的情况下实现微凸块架构以用于探测晶片的方法。一种方法包括形成：(1)根据指定的第一直径的第一凸块，以及(2)根据小于指定的第一直径的指定的第二直径的第一凸块集合。第一凸块被用于探测晶片的与第一凸块集合相关联的部分。...
    2026-01-30
  • 载置台和等离子体处理装置
    载置台和等离子体处理装置_东京毅力科创株式会社_202480043300.X
    一种载置台，其具有：板状部件，其具有能够载置基片的载置面和与所述载置面相反的一侧的背面，且形成有贯穿所述载置面和所述背面的贯通孔；和埋入部件，其配置在所述贯通孔的内部，所述埋入部件沿着该埋入部件的轴向包括：第一部件，其具有正的热膨胀率；和第...
    2026-01-30
  • 静电卡盘
    静电卡盘_巴川集团股份有限公司_202480043210.0
    静电卡盘(1)具备：用于吸附被吸附物的基板(2)；支承基板(2)的基台；和将基板(2)粘接于基台(3)的粘接层(4)。粘接层(4)具有位于基板(2)的中央侧的第1粘接层(4a)和位于比第1粘接层(4a)靠近基板(2)的端部侧的第2粘接层(4...
    2026-01-30
  • 用于DRAM的稳健的图像到设计对准
    用于DRAM的稳健的图像到设计对准_科磊股份有限公司_202480044313.9
    提供用于半导体应用的对准的方法及系统。一种方法包含通过分别用不同对准方法将由成像子系统产生的形成在样品上的对准目标的多个例子的图像单独对准到所述对准目标的所渲染图像来针对所述对准目标的所述多个例子确定不同对准到设计偏移。所述方法还包含识别在...
    2026-01-30
  • 用于机器人校准的系统和方法
    用于机器人校准的系统和方法_ASML荷兰有限公司_202480042942.8
    本公开提供了一种校准衬底输送装置的方法，所述衬底输送装置包括：第一衬底支撑件和第二衬底支撑件、与所述第一衬底支撑件相关联的第一机器人臂、以及与所述第二衬底支撑件相关联的第二机器人臂，其中，所述第一衬底支撑件设置有第一传感器，所述第一传感器是...
    2026-01-30
  • 用于调试半导体加工工具的移动车
    用于调试半导体加工工具的移动车_应用材料公司_202480044714.4
    用于调试半导体加工工具的方法和设备包括将移动设施车连接到半导体加工工具；将来自所述移动设施车的设施提供给半导体加工工具；以及使用通过所述连接的移动设施车提供的设施操作所述半导体加工工具。
    2026-01-30
  • 用于关于处理腔室对准的夹具以及相关装置、系统和方法
    用于关于处理腔室对准的夹具以及相关装置、系统和方法_应用材料公司_202480042999.8
    一种对准组件包括传感器和盖，所述盖包括第一窗口。所述对准组件还包括旋转接头，所述旋转接头耦接到所述盖。所述对准组件还包括夹具，所述夹具耦接到所述旋转接头并且可绕着所述旋转接头相对于所述盖枢转。所述夹具包括可延伸臂，所述可延伸臂可从缩回位置移...
    2026-01-30
  • 有轨台车系统
    有轨台车系统_村田机械株式会社_202480042484.8
    本发明提供一种有轨台车系统(1)，其具备：异常区间推定部(83)，其推定发生异常的区间即异常区间；路径生成部(85)，其生成将由异常区间推定部(83)所推定的多个异常推定区间加以连接的检查路径；检查台车(60)，其具有可获取自车的位置信息的...
    2026-01-30
  • 晶圆保持器
    晶圆保持器_意发科技股份有限公司_202480044697.4
    一种待被安装至真空晶圆处理腔的晶圆保持器和处理装置，包括：·具有环形表面的基座装置；·金属圆形晶圆承载板，其居中地安装在相对于所述环形表面的中心对中的驱动轴上，所述驱动轴与承载板一起能够绕穿过所述环形表面的所述中心的旋转轴线Z相对于所述基座...
    2026-01-30
  • 工艺条件测量装置的制造及实施方法
    工艺条件测量装置的制造及实施方法_科磊股份有限公司_202480043680.7
    一种工艺条件测量装置可包含由底部衬底、间隔件及盖制成的衬底。所述工艺条件测量装置可包含组件。所述组件可安置于由所述底部衬底界定的腔及由所述间隔件界定的通孔内。所述盖可安置于所述组件上方且覆盖所述组件。所述盖可为全盖或部分盖。所述组件也可安置...
    2026-01-30
  • 基于重迭误差测量的基板应力均匀性管理
    基于重迭误差测量的基板应力均匀性管理_应用材料公司_202480043493.9
    一种方法包括透过处理装置取得指示基板的重迭误差的第一数据。所述方法进一步包括基于所述第一数据产生指示所述基板的第一应力均匀性的第二数据。所述方法进一步包括基于所述第二数据实行校正动作。
    2026-01-30
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