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最新专利技术
  • 工艺套件及半导体设备
    工艺套件及半导体设备_深圳市新凯来工业机器有限公司_202511393710.X
    本申请涉及半导体设备领域，尤其涉及工艺套件及半导体设备。工艺套件包括：限光壁(10)，其形成为环形，所述限光壁(10)的底部顶面具有凸出部(110)；外沉积环(20)，其底面具有凹陷部(210)，所述凸出部(110)伸入所述凹陷部(210)...
    2026-03-20
  • 一种薄膜电阻改性方法
    一种薄膜电阻改性方法_九江德福科技股份有限公司_202511470331.6
    本发明涉及一种薄膜电阻改性方法，包括如下步骤：在铜箔毛面真空溅射薄膜电阻，随后对薄膜电阻进行等离子体渗氮或渗碳处理，得到埋阻铜箔。经过本发明改性的薄膜电阻具有低TCR，随温度变化电阻波动小；可以通过渗碳或渗氮的含量来控制薄膜电阻的电阻率，制...
    2026-03-20
  • 细晶钨靶材及其制备方法
    细晶钨靶材及其制备方法_厦门钨业股份有限公司_202511448795.7
    本申请涉及半导体制造用溅射靶材领域，具体提供一种细晶钨靶材及其制备方法，该制备方法包括：(1)将卤代烷烃预活化后，与氢气及六氟化钨在基体上进行化学气相沉积，形成掺碳钨材料；(2)将所述掺碳钨材料在1500~2100进行退火处理，得到细晶钨靶...
    2026-03-20
  • 一种3D打印件微孔表面制造工艺及3D打印件
    一种3D打印件微孔表面制造工艺及3D打印件_上海交通大学_202410907211.7
    本发明提出一种3D打印件微孔表面制造工艺及3D打印件，涉及表面处理领域；工艺包括：将3D打印件置于源极靶材制成的外罩内部构成空心阴极后整体置于直流脉冲等离子真空炉内，真空炉顶部设置有电源正极，外罩作为活性屏；在直流脉冲电源作用下放电启辉，并...
    2026-03-20
  • 蒸镀铝用坩埚装置
    蒸镀铝用坩埚装置_博宇(天津)半导体材料有限公司_202511882782.0
    本申请提供了一种蒸镀铝用坩埚装置，包括：坩埚，其包括埚体、颈部和上口部，所述颈部连接所述埚体和所述上口部；防爬结构，其为环形，所述防爬结构设于所述颈部外部和/或所述上口部。本申请的蒸镀铝用坩埚装置能够改善爬埚现象。
    2026-03-20
  • 一种蒸镀薄膜沉积设备及方法
    一种蒸镀薄膜沉积设备及方法_广东中图半导体科技股份有限公司_202511410723.3
    本申请涉及一种蒸镀薄膜沉积设备及方法，其中，蒸镀薄膜沉积设备，包括工艺腔、加热组件和载片台；工艺腔具有工艺腔侧壁；加热组件具第一加热件和第二加热件；载片台设于工艺腔内，用于放置待抗粘衬底；所述载片台由所述第一加热件独立加热，所述工艺腔侧壁由...
    2026-03-20
  • 一种钙钛矿用高温点蒸发源
    一种钙钛矿用高温点蒸发源_安徽微迈思科技有限公司_202511345706.6
    本发明公开了一种钙钛矿用高温点蒸发源，涉及点蒸发源技术领域，该点蒸发源包括主体以及设置在主体内部的内撑结构；主体包括外壳、分隔套、内壳和分隔环。本发明通过加热丝一和加热丝二，以及设置辐射孔一和辐射孔二，形成了均匀、高效的立体热场；加热丝二呈...
    2026-03-20
  • 一种蒸发镀膜设备颗粒料填充系统
    一种蒸发镀膜设备颗粒料填充系统_北京北方华创真空技术有限公司_202511301228.9
    本申请公开了一种蒸发镀膜设备颗粒料填充系统，涉及蒸发镀膜的技术领域，颗粒料填充系统设置在真空腔室内，真空腔室内还设置有卷绕系统，颗粒料填充系统位于卷绕系统的正下方，包括储料部，储料部底部开设有出料口；传送带，首尾相连且设置于出料口下方；驱动...
    2026-03-20
  • 金刚石镀层复合材料、铜复合材料及其制备方法
    金刚石镀层复合材料、铜复合材料及其制备方法_成都虹波实业股份有限公司_202511826681.1
    本发明公开了一种金刚石镀层复合材料、铜复合材料及其制备方法。属于金刚石复合材料的技术领域。所述金刚石镀层复合材料的制备包括：在清洗后金刚石颗粒的表面沉积非晶碳薄膜并进行第一热处理，获得非晶碳包覆金刚石，在非晶碳包覆金刚石表面镀覆金属层并进行...
    2026-03-20
  • 一种高强韧耐铅铋腐蚀陶瓷涂层的制备方法
    一种高强韧耐铅铋腐蚀陶瓷涂层的制备方法_北京科技大学_202511674097.9
    本发明提供一种高强韧耐铅铋腐蚀陶瓷涂层的制备方法，涉及铅铋环境防护涂层技术领域，包括：对基体依次进行打磨、抛光和清洗；将Ti靶和TiSi靶分别安装在直流磁控靶上，AlCrY靶安装在射频磁控靶上，将基体置于基片台上放置于镀膜设备腔室内；将腔室...
    2026-03-20
  • 一种Cu复合MAX相的导电复合涂层及其制备方法和应用
    一种Cu复合MAX相的导电复合涂层及其制备方法和应用_中国科学院宁波材料技术与工程研究所_202511336676.2
    本发明提供了一种Cu复合MAX相的导电复合涂层及其制备方法和应用，涉及功能涂层材料技术领域。本发明导电复合涂层呈均匀的纳米晶结构，且所述导电复合涂层包括MAX相和Cu‑Al合金相。与现有技术相比，本发明通过构建以MAX相为基、Cu‑Al相为...
    2026-03-20
  • 一种齿圈涂层、制备方法及内啮合齿轮泵
    一种齿圈涂层、制备方法及内啮合齿轮泵_诚联恺达(河北)科技股份有限公司_202511335133.9
    本发明属于机械零部件表面处理技术领域，涉及一种齿圈涂层、制备方法及内啮合齿轮泵。本发明提供了一种用于内啮合齿轮泵齿圈壳体界面的真空镀涂层技术及制备方法，该技术采用多层复合结构设计，包括金属底层、氮化物过渡层和类金刚石碳功能层，通过材料组合和...
    2026-03-20
  • 一种基于金纳米夹层的表面合金微孔化方法及医用植入件
    一种基于金纳米夹层的表面合金微孔化方法及医用植入件_上海交通大学_202410907254.5
    本发明属于表面处理技术领域，公开了一种基于金纳米夹层的表面合金微孔化方法及医用植入件。所述方法包括：获取原工件；于所述原工件表面沉积一金薄膜以形成一中间工件；将所述中间工件置于等离子真空炉内；其中，加热台、活性屏与顶盖合围形成一空心阴极；所...
    2026-03-20
  • 一种超薄铝合金太阳能边框制备工艺
    一种超薄铝合金太阳能边框制备工艺_滁州瑞达新能源材料有限公司_202511481820.1
    本发明涉及铝合金技术领域，具体是一种超薄铝合金太阳能边框制备工艺；本发明为了提升超薄铝合金太阳能边框的耐腐蚀以及耐磨损性能，对其原料本身进行了限定，并对其表面进行了防腐蚀处理，通过磁控溅射与氧化液氧化的方式，制备了含有致密度的氧化铝薄膜，并...
    2026-03-20
  • 一种纳米多层结构Mo2N-BN氮化物薄膜及其制备方法和应用
    一种纳米多层结构Mo2N-BN氮化物薄膜及其制备方法和应用_内蒙古科技大学包头医学院_202511369765.7
    本发明涉及一种纳米多层结构Mo22N‑BN氮化物薄膜及其制备方法和应用，涉及薄膜材料和表面科学技术领域，所述薄膜是在氮气氛围及加热条件下，在衬底上依次通过脉冲多弧离子镀技术制备面心立方结构Mo22N薄膜，射频磁控溅射技术制备六方BN薄膜而获...
    2026-03-20
  • 公共金属掩膜板和蒸镀系统
    公共金属掩膜板和蒸镀系统_浙江众凌科技有限公司_202511862804.7
    本申请提供了一种公共金属掩膜板和蒸镀系统。该公共金属掩膜板包括：周边区和开口区；开口区具有多个蒸镀开口；周边区和开口区各自位于蒸镀开口周围的部分，分别包括：依次靠近蒸镀开口设置的桥部和第一蚀刻部，桥部的第一表面凸出于第一蚀刻部的第一表面，用...
    2026-03-20
  • 一种解决树脂基复合材料表面涂层裂纹的方法
    一种解决树脂基复合材料表面涂层裂纹的方法_兰州空间技术物理研究所_202511639620.4
    本发明涉及一种解决复合材料表面涂层裂纹的方法，主要应用于表面工程技术领域，可有效解决树脂基复合材料结构件表面功能涂层因微裂纹产生微放电、功能及防护性能降低等问题，可拓展树脂基复合材料的应用，促进高精度树脂基复合材料结构件的发展。本发明解决了...
    2026-03-20
  • 一种金属钛表面氮氧银复合相陶瓷抗菌涂层的制备方法
    一种金属钛表面氮氧银复合相陶瓷抗菌涂层的制备方法_绵阳四〇四医院_202511439110.2
    本发明公开了一种金属钛表面氮氧银复合相陶瓷抗菌涂层的制备方法，涉及钛基植入材料的表面工程技术领域。本发明先在钛表面形成微米级织构结构，然后利用脉冲激光熔覆技术，在钛表面制备出Ag‑N‑O复合涂层，可以在保证钛材料耐磨性能和耐腐蚀性能的同时，...
    2026-03-20
  • 一种TiAl合金表面耐熔盐腐蚀涂层的制备方法
    一种TiAl合金表面耐熔盐腐蚀涂层的制备方法_西安赛福斯材料防护有限责任公司_202511564051.1
    本发明公开一种TiAl合金表面耐熔盐腐蚀涂层的制备方法，涉及表面处理技术领域，用于解决现有TiAl合金基体与涂层界面的结合力低，以及涂层的抗腐蚀性能差的技术问题；本发明的TiAl合金表面耐熔盐腐蚀涂层的制备方法，包括：在TiAl合金的表面采...
    2026-03-20
  • 一种涂覆用渗铝剂及渗铝方法
    一种涂覆用渗铝剂及渗铝方法_成都国营锦江机器厂_202511435759.7
    本发明公开了一种涂覆用渗铝剂及渗铝方法，包括如下步骤：步骤1：分别配制粘接剂和渗铝剂；步骤2：将渗铝剂、粘接剂混合搅拌、过滤得到涂覆用渗铝剂；步骤3：采用手砂轮打磨产品表面，然后再进行吹砂；步骤4：将渗铝剂刷涂在产品表面；步骤5：将步骤4涂...
    2026-03-20
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