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最新专利技术
  • 一种微腔芯片及其制备方法、用途
    一种微腔芯片及其制备方法、用途_芯宿科技(苏州)有限公司_202411423243.6
    本申请提供一种微腔芯片及其制备方法、用途。所述微腔芯片包括衬底层、第一电极层、第二电极层以及微腔层；所述第一电极层位于所述衬底层的第一表面上，所述第一电极层具有多个第一电极；所述微腔层位于所述第一电极层表面并具有多个微腔，每个所述微腔至少覆...
    2026-05-05
  • 一种红外光源结构和红外光源结构的制作方法
    一种红外光源结构和红外光源结构的制作方法_北京中科银河芯科技有限公司_202511972755.2
    本申请公开了一种红外光源结构和红外光源结构的制作方法，涉及光电技术领域，以解决如何提高红外光源的性能的问题。所述红外光源结构包括：沿衬底的厚度方向，衬底具有贯穿衬底的空腔。支撑层设置于衬底上，支撑层覆盖空腔。加热电阻和第一介质层均设置于支撑...
    2026-05-05
  • 一种低温度迟滞的介质隔离硅压阻式压力传感器芯片及其制备方法
    一种低温度迟滞的介质隔离硅压阻式压力传感器芯片及其制备方法_中国电子科技集团公司第二十六研究所_202610060027.2
    本发明属于微机电传感器领域，具体涉及一种低温度迟滞的介质隔离硅压阻式压力传感器芯片及其制备方法；从上到下依次包括：钝化层、器件层、埋氧层、衬底层和玻璃基座；钝化层上设置有两列电极孔；器件层在与钝化层上的两列电极孔对应位置设置有两列金属电极；...
    2026-05-05
  • 一种深腐蚀硅岛时的凸角保护技术
    一种深腐蚀硅岛时的凸角保护技术_中国计量大学_202310355438.0
    本发明公开了一种深腐蚀硅岛时的凸角保护技术。每个硅岛(4)采用4根<110>晶向两端固支梁(5)和2根悬臂梁(6)组成凸角保护图形。<110>晶向两端固支梁(5)的一端固支在框架(8)上，另一固支端与悬臂梁(6)的自由端相连。悬臂梁(6)固...
    2026-05-05
  • 一种基于两步干法刻蚀的MEMS结构聚酰亚胺去除方法及应用
    一种基于两步干法刻蚀的MEMS结构聚酰亚胺去除方法及应用_苏州子山半导体科技有限公司_202511741736.9
    本发明公开了一种基于两步干法刻蚀的MEMS结构聚酰亚胺去除方法及应用，属于MEMS器件制造技术领域。先在120‑200℃下，利用由氧气与H2/N2混合气体电离形成的第一氧等离子体对聚酰亚胺进行第一干法刻蚀，处理15‑25分钟，实现体量快速去...
    2026-05-05
  • 研磨辅助的图形化刻蚀铌酸锂的方法及其应用
    研磨辅助的图形化刻蚀铌酸锂的方法及其应用_甬江实验室_202511783449.4
    本申请公开了一种研磨辅助的图形化刻蚀铌酸锂的方法及其应用，属于微纳加工技术领域。本申请技术方案所采用的方法包括：提供铌酸锂基片，在铌酸锂基片的一侧表面制备图形化的金属掩模层；使用磨料对铌酸锂基片上具有金属掩模层的一面进行选择性研磨刻蚀，以在...
    2026-05-05
  • 一种MEMS惯性器件制造方法
    一种MEMS惯性器件制造方法_武汉衡惯科技发展有限公司_202511986438.6
    本发明一种MEMS惯性器件制造方法，包括如下步骤：S1，于衬底正面刻蚀形成焊点和若干梳齿锚柱；S2，将器件层晶圆通过所述焊点和各所述梳齿锚柱键合在所述衬底上；S3，将键合完毕后的整体翻面，于所述衬底的反面上生长隔离层；S4，在各所述梳齿锚柱...
    2026-05-05
  • 一种高深宽比结构的加工方法、传感器及验证方法
    一种高深宽比结构的加工方法、传感器及验证方法_东南大学_202610059936.4
    本发明公开了一种高深宽比结构的加工方法、传感器及验证方法，本发明对传统激光直写方法的激光直写路径、激光扫描策略以及激光加工参数进行调整，使激光直写方法可运用于高深宽比结构的加工，克服了传统MEMS工艺流程存在的缺陷，可实现传感器的快速加工。
    2026-05-05
  • 一种流体控制器件的制备方法及流体控制器件
    一种流体控制器件的制备方法及流体控制器件_上海芯物科技有限公司_202610064262.7
    本发明公开了一种流体控制器件的制备方法及流体控制器件。流体控制器件的制备方法包括：提供第一结构，第一结构包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面一侧设置有压电结构，第二表面设置有第一流道且第二表面包括第一离子；提供第二结构层，第二结构包括...
    2026-05-05
  • 一种三维二氧化钛微纳结构的制备方法
    一种三维二氧化钛微纳结构的制备方法_吉林大学_202610079799.0
    本发明公开了一种三维二氧化钛微纳结构的制备方法，属于微纳结构制备技术领域，包括以下步骤：在清洁的玻璃衬底上蒸镀二氧化钛薄膜；在二氧化钛薄膜上旋涂正性光刻胶；对光刻胶进行电子束曝光，定制图案，并对光刻胶进行显影、定影处理；在显影和定影后的样品...
    2026-05-05
  • 杂质气体中毒的粉化聚合物-储氢合金复合材料的再生方法
    杂质气体中毒的粉化聚合物-储氢合金复合材料的再生方法_中国电力工程顾问集团华北电力设计院有限公司_202511977586.1
    本发明公开了一种杂质气体中毒的粉化聚合物‑储氢合金复合材料的再生方法，杂质气体中毒的粉化聚合物‑储氢合金复合材料包括储氢合金以及部分包覆储氢合金的聚合物，且储氢合金未被聚合物包覆的暴露面部分或全部被杂质气体吸附和/或覆盖；再生方法包括：50...
    2026-05-05
  • 负载钒镁双金属的MOF基复合材料及其制备方法与应用
    负载钒镁双金属的MOF基复合材料及其制备方法与应用_理工清科(重庆)先进材料研究院有限公司_202610046854.6
    本发明涉及复合材料技术领域，尤其涉及负载钒镁双金属的MOF基复合材料及其制备方法与应用。本发明将负载钒镁双金属的MOF与碳纳米纤维结合，制备了V‑Mg‑MOF/CNF复合材料，用于固态储氢，V‑Mg‑MOF中V作为催化中心，V的多种价态和d...
    2026-05-05
  • 一种糖基生物质能源转化系统及方法
    一种糖基生物质能源转化系统及方法_清华大学深圳国际研究生院_202610344832.8
    本发明提供了一种糖基生物质能源转化系统及方法，涉及新能源与糖基生物质资源化利用技术领域。本发明通过将催化氧化反应器、甲酸分解反应器、燃料电池以及热能管理与循环单元集成为一个紧密耦合的糖基生物质能源转化系统，实现了物质和能量在糖基生物质能源转...
    2026-05-05
  • 一种利用有机固废生产氢气的方法
    一种利用有机固废生产氢气的方法_东方电气集团东方锅炉股份有限公司_202610094152.5
    本申请公开了一种利用有机固废生产氢气的方法，涉及新能源技术领域。该方法包括：将有机固废分类并筛选出有机质与可燃质，将有机质与可燃质混合后破碎至粒径≤50mm的均质物料；将均质物料干燥，得到含水率≤8%的干燥物料；将干燥物料送入回转窑热解炉内...
    2026-05-05
  • 一种用于乙酸自热重整制氢的链状双钨酸盐型镍基催化剂
    一种用于乙酸自热重整制氢的链状双钨酸盐型镍基催化剂_成都理工大学_202610330076.3
    本发明涉及一种用于乙酸自热重整制氢的链状双钨酸盐型镍基催化剂。本发明针对现有催化剂在乙酸自热重整过程中出现的烧结、氧化、积炭问题，采用溶胶‑凝胶法制备，以Ni为活性组分，引入Pr和W元素，获得链状双钨酸盐型镍基催化剂，形成Ni/Pr2W2O...
    2026-05-05
  • 一种废酸回收装置
    一种废酸回收装置_河北风华物流股份有限公司_202311756045.7
    本发明涉及废酸回收技术领域，公开一种废酸回收装置，包括加热筒，所述加热筒的顶部开设有通孔，所述通孔内设置有进水机构，所述加热筒的底部设置有搅拌机构，所述进水机构与所述搅拌机构连通设置，且所述进水机构将外界清洁用水通入到所述搅拌机构内对所述加...
    2026-05-05
  • 一种用于制备电子级盐酸的复合破沸剂、其应用及高纯盐酸的制备方法
    一种用于制备电子级盐酸的复合破沸剂、其应用及高纯盐酸的制备方法_江化微(镇江)电子材料有限公司_202512039031.9
    本发明公开了一种用于制备电子级盐酸的复合破沸剂、其应用及制备方法。所述复合破沸剂由离子液体组分、络合增效组分和杂质固定组分按特定比例复配而成。将其应用于盐酸热解析工艺中，能通过多组分协同作用高效打破HCl‑H2O共沸，将氯化氢解析率提升至9...
    2026-05-05
  • 一种苯氯化过程副产盐酸除杂精制系统及方法
    一种苯氯化过程副产盐酸除杂精制系统及方法_宁夏华御化工有限公司_202610105347.5
    本发明属于盐酸回收技术领域，公开了一种苯氯化过程副产盐酸除杂精制系统及方法，其中的方法通过在盐酸中加入亚硫酸钠去除游离氯，通过聚苯乙烯基大孔树脂吸附盐酸中的有机物，通过含氨基的离子交换树脂吸附铁离子，盐酸送入解析塔进行加热解析，获得的纯净氯...
    2026-05-05
  • 将盐进行电解而得到的物质用于原材料的亚氯酸水的制造方法
    将盐进行电解而得到的物质用于原材料的亚氯酸水的制造方法_本部三庆株式会社_202511910180.1
    本发明提供一种将盐用于原材料的亚氯酸水的制造方法。本发明提供一种亚氯酸水的制造方法，包括以下工序：1)将盐进行电解而得到氯酸盐水溶液的工序；2)使用部分酸产生第一反应气体，并使用中和剂在含有亚氯酸的水溶液中捕捉所述第一反应气体的工序，所述第...
    2026-05-05
  • 一种从高氯酸盐包装袋中回收高氯酸盐的工艺
    一种从高氯酸盐包装袋中回收高氯酸盐的工艺_浏阳市宏科再生资源回收有限公司_202311770559.8
    本发明涉及高氯酸盐回收技术领域，具体涉及一种从高氯酸盐包装袋中回收高氯酸盐的工艺，包括以下步骤：S1、将包装袋依次输送进入回收室进行初次回收和二次回收；S2、将初次回收产生的液体一导入蒸馏塔中进行蒸馏析晶，同时将二次回收产生的液体二导入初次...
    2026-05-05
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