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  • 一种用于制造光电子模块的方法包括在晶圆衬底上指定模块位置的阵列,并在晶圆衬底上在每个模块位置处形成相应的电连接端子。在每个模块位置中,至少两个光电子半导体部件以相互光学对准的方式被放置在晶圆衬底上,并且电连接到相应的电连接端子。在调制位置的...
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