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最新专利技术
  • 一种共溅射合金薄膜、制备方法及应用
    一种共溅射合金薄膜、制备方法及应用_吉林大学_202511735639.9
    本发明公开了一种共溅射合金薄膜、制备方法及应用，属于极紫外掩模吸收材料技术领域，本发明涉及一种通过磁控溅射共溅射制备Pt‑W合金薄膜的方法和其相关应用，制备方法包括以下步骤：根据薄膜的结合能力和刻蚀能力设计三层结构，上层Pt，中层Pt‑W合...
    2026-03-23
  • 一种金属基热界面材料的制备方法和热界面材料
    一种金属基热界面材料的制备方法和热界面材料_中国科学院宁波材料技术与工程研究所_202511313374.3
    本发明公开了一种金属基热界面材料的制备方法和热界面材料，包括：(1)将金属薄膜通过水平收缩应力屈曲形成金属褶皱；(2)通过镀覆工艺在金属褶皱表面镀上液态金属，得到所述的金属基热界面材料。该制备方法将金属褶皱作为液态金属的高导热填料，以此构建...
    2026-03-23
  • 一种晶圆级高取向性一维纳米材料薄膜的制备方法
    一种晶圆级高取向性一维纳米材料薄膜的制备方法_国家纳米科学中心_202511579506.7
    本发明涉及一种晶圆级高取向性一维纳米材料薄膜的制备方法，所述制备方法包括在具有平行规律沟槽的衬底表面蒸镀有机分子层，在所述有机分子层上蒸镀纳米材料，得到所述晶圆级高取向性一维纳米材料薄膜，所述纳米线薄膜材料能够从衬底上完整剥离转移到其它衬底...
    2026-03-23
  • 一种自动真空蒸发镀膜系统
    一种自动真空蒸发镀膜系统_中国科学院光电技术研究所_202511644963.X
    本公开提供了一种自动真空蒸发镀膜系统，该自动真空蒸发镀膜系统包括：主腔体和副腔体，分别能够独立维持在真空环境下；蒸发装置，位于主腔体中，用于将膜料蒸发并沉积到基片上；自动真空供料装置，位于主腔体中，用于在真空条件下为所述蒸发装置持续可控地提...
    2026-03-23
  • 一种真空蒸镀机用探头无遮挡传动结构
    一种真空蒸镀机用探头无遮挡传动结构_苏州佑伦真空设备科技有限公司_202511913289.0
    本发明涉及真空蒸镀机的传动结构技术领域，具体为一种真空蒸镀机用探头无遮挡传动结构，包括安装在真空蒸镀机外壳体顶部的承载安装盘，且承载安装盘的底面螺钉安装有轴承座，所述轴承座的下方内侧通过轴承连接有上传动中空部，并且控制齿轮的下方通过法兰盘安...
    2026-03-23
  • 一种用于航空发动机单晶涡轮叶片热障涂层陶瓷层的修理方法及其应用
    一种用于航空发动机单晶涡轮叶片热障涂层陶瓷层的修理方法及其应用_中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司_202511548311.6
    本发明公开一种用于航空发动机单晶涡轮叶片热障涂层陶瓷层的修理方法及其应用，属于航空发动机热端部件热障涂层修复技术领域。该修理方法包括以下步骤：涡轮叶片预处理；叶背按S型0.07MPa‑0.13MPa下快速吹砂去除陶瓷层；叶盆按S型0.17M...
    2026-03-23
  • 钕铁硼永磁体表面防腐涂层及其制备方法
    钕铁硼永磁体表面防腐涂层及其制备方法_江西铜业技术研究院有限公司_202511914302.4
    本发明公开了一种钕铁硼永磁体表面防腐涂层及其制备方法，该制备方法包括以下步骤：对钕铁硼永磁体进行预处理，通过电弧喷涂在预处理后钕铁硼永磁体表面沉积铝基合金涂层，经真空热处理、涂覆封孔剂，其中真空热处理的温度为400℃～600℃，得到钕铁硼永...
    2026-03-23
  • 闭式轴承密封件的制备方法
    闭式轴承密封件的制备方法_人本股份有限公司_202511914162.0
    本发明公开了一种闭式轴承密封件的制备方法，包括以下流程：S1、准备材料；S2、将金属骨架材料与橡胶材料经硫化制备工艺加工制成待处理密封件；通过等离子体刻蚀机输出低表面能物质并对待处理密封件表面进行修饰加工；S3、通过等离子体刻蚀机输出低表面...
    2026-03-23
  • 一种耐高温耐磨损的梯度结构涂层和制备方法及应用
    一种耐高温耐磨损的梯度结构涂层和制备方法及应用_广东工业大学_202511384531.X
    本申请公开了一种耐高温耐磨损的梯度结构涂层和制备方法及应用，梯度结构涂层包括在基体表面依次沉积的AlCrNi层、AlCrNiN层及AlCrNiN/AlTiN纳米多层结构。制备方法包括如下工艺步骤：S1，将基体预处理后装入镀膜腔室，镀膜腔室抽...
    2026-03-23
  • 一种贫氧条件下耐高温铅铋腐蚀的高熵合金涂层及其制备方法
    一种贫氧条件下耐高温铅铋腐蚀的高熵合金涂层及其制备方法_中国核动力研究设计院_202511424664.5
    本发明提供了一种贫氧条件下耐高温铅铋腐蚀的高熵合金涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。所述高熵合金涂层中各元素及含量为：Al 15～30at.%，含Fe 15～30at.%，含Cr 15～30at.%，含Mo 15～30at.%。所述高熵合...
    2026-03-23
  • 镀膜设备及基于镀膜设备的镀膜方法
    镀膜设备及基于镀膜设备的镀膜方法_四川九天真空科技有限公司_202511448106.2
    一种镀膜设备及基于镀膜设备的镀膜方法，该设备包括真空室、复合真空系统、磁控溅射系统、工件转动系统、充气系统及镀膜设备控制系统；复合真空系统通过多组真空管路和真空阀门与真空室连通；充气系统通过多种气体的供气管路与真空室连接；镀膜设备控制系统配...
    2026-03-23
  • 用于工艺腔室的旋转供水装置、供水系统及气相沉积设备
    用于工艺腔室的旋转供水装置、供水系统及气相沉积设备_盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司_202511487542.0
    本申请属于半导体设备技术领域，公开一种用于工艺腔室的旋转供水装置、供水系统及气相沉积设备，供水装置包括：机架，包括底盘、中间筒和上盖，上盖上端安装有旋转电机，底盘用于安装在工艺腔室上端，中间筒与旋转轴之间的空间形成水流通道，在中间筒的侧壁上...
    2026-03-23
  • 一种包含涂层的导电性构件及其制备方法
    一种包含涂层的导电性构件及其制备方法_纳狮新材料股份有限公司_202511489581.4
    本申请涉及一种包含涂层的导电性构件及其制备方法。本申请的涂层设置在基体上，所述涂层包括设置在所述基体上的非晶石墨层以及掺杂有导电金属的强度支撑层；所述非晶石墨层设置在所述基体和所述强度支撑层之间；所述强度支撑层包括以下物质中的至少一种：金属...
    2026-03-23
  • 一种磁控溅射技术灭弧时间能量损失的逐弧补偿方法
    一种磁控溅射技术灭弧时间能量损失的逐弧补偿方法_广西机电职业技术学院_202511522548.7
    本发明公开了一种磁控溅射技术灭弧时间能量损失的逐弧补偿方法，包括：基于磁控溅射电源计算能量损耗和灭弧起始时刻；利用镀膜机台接收所述能量损耗，获取能量损耗程度值；基于所述能量损耗程度值控制靶和基片的相对运动速度，使灭弧时间内基片和靶的溅射时间...
    2026-03-23
  • 基于快速响应气体控制的VOx薄膜稳态生长进气装置
    基于快速响应气体控制的VOx薄膜稳态生长进气装置_无锡尚积半导体科技股份有限公司_202511531706.5
    本发明涉及溅射镀膜技术领域，具体涉及一种基于快速响应气体控制的VOx薄膜稳态生长进气装置，用于将反应气体注入VOx薄膜溅射系统中的反应腔体，反应腔体内设有基座和设置在基座内部的加热器，该进气装置包括：反应气体输送通道和进气孔，输送通道与外部...
    2026-03-23
  • 激光辅助提升磁控溅射过程中材料活性的镀膜系统
    激光辅助提升磁控溅射过程中材料活性的镀膜系统_武汉锐科光纤激光技术股份有限公司_202511554023.1
    本申请公开了一种激光辅助提升磁控溅射过程中材料活性的镀膜系统，镀膜系统包括：溅射设备，溅射设备包括中空的溅射腔室、光阑、阴极靶以及衬底材料板，阴极靶和衬底材料板位于溅射腔室的内部，阴极靶设置于溅射腔室的内壁，衬底材料板立设于溅射腔室的底部，...
    2026-03-23
  • 一种抗氦致损伤与耐腐蚀的中熵合金涂层及其制备方法
    一种抗氦致损伤与耐腐蚀的中熵合金涂层及其制备方法_西南交通大学_202511647771.4
    本发明公开了一种抗氦致损伤与耐腐蚀的中熵合金涂层及其制备方法。采用非平衡磁控溅射技术，通过精确调控氮气分压、溅射功率等关键工艺参数，在奥氏体不锈钢等基体表面成功制备出成分均匀、结构致密且与基体结合良好的FeCrAlN中熵合金涂层。涂层元素组...
    2026-03-23
  • 一种用于环状零件类金刚石膜层涂覆装置
    一种用于环状零件类金刚石膜层涂覆装置_中航贵州飞机有限责任公司_202511649354.3
    本发明公开了一种用于环状零件类金刚石膜层涂覆装置，包括轴承杆、上底座、下底座及至少两个能将环状零件试片悬空支撑的支撑机构；上、下底座螺纹连接在轴承杆上；每个支撑机构由扩展臂和支撑臂组成，扩展臂一端铰接于上底座，另一端通过滑动连接螺栓与支撑臂...
    2026-03-23
  • 一种光学镜片表面镀膜装置
    一种光学镜片表面镀膜装置_福州高特光电科技有限公司_202511840753.8
    本发明提供的一种光学镜片表面镀膜装置，包括太阳轮、行星轮、驱动板、镀膜托架、万向节、第一连杆、第二连杆、第三连杆、安装壳体、滚轮以及环形导轨，将待镀膜的镜片逐个放入镀膜托架的放置孔内；在驱动机构的驱动下，驱动板带动行星轮围绕太阳轮转动，在第...
    2026-03-23
  • 一种真空镀膜设备
    一种真空镀膜设备_江苏首芯半导体科技有限公司_202511467218.2
    本说明书实施例提供一种真空镀膜设备，包括观察窗结构、衬套和观察窗通道；所述观察窗通道设置在真空镀膜设备的腔体侧壁上，观察窗结构与所述观察窗通道相连接，观察窗结构的中心处设置有高透玻璃；衬套设置在观察窗通道内并与观察窗结构相抵接，观察窗通道与...
    2026-03-23
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