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最新专利技术
  • 加工基板的装置和方法
    加工基板的装置和方法_细美事有限公司_202411969830.5
    本发明提供了加工基板的装置和方法。加工基板的装置包括：夹持单元，该加持单元在两侧夹持多个基板；本体，该本体支承夹持单元；致动单元，该致动单元相对于本体移动和旋转夹持单元；以及控制单元，该控制单元控制致动单元，其中，致动单元包括：水平致动单元...
    2025-09-21
  • 衬底处理设备
    衬底处理设备_细美事有限公司_202411966053.9
    本发明涉及一种衬底处理设备，包括：杯体，其中具有处理空间；支撑单元，用于在处理空间内支撑衬底；导向环单元，位于处理空间中、围绕放置在支撑单元上的衬底并将从衬底散落的处理液引导到杯体中；供液单元，用于向衬底供应处理液；以及驱动器；支撑单元包括...
    2025-09-21
  • 衬底处理装置
    衬底处理装置_细美事有限公司_202411962022.6
    所公开的是能够在同时驱动导引环单元和卡盘销的同时减小施加到卡盘销上的应力的衬底处理装置，其包括具有内部处理空间和开口顶部的杯状体、用于在处理空间内支撑衬底的支撑单元、用于向由支撑单元支撑的衬底供应处理液的液体供应单元以及设置成在上下方向上可...
    2025-09-21
  • 堆垛器设备和基板加工装置
    堆垛器设备和基板加工装置_细美事有限公司_202411969373.X
    本发明公开了堆垛器设备和基板加工装置，具体地，在其中水平地放置装载端口的基板加工装置的前面上设置的堆垛器设备包括：装载单元，该装载单元位于装载端口的前方并且包括配置为储存基板容纳容器的架；以及主框架，该主框架包括容器传送设备，该容器传送设备...
    2025-09-21
  • 基板处理装置
    基板处理装置_细美事有限公司_202411972534.0
    本发明提供一种基板处理装置。该基板处理装置包括：容器，该容器提供密封性的处理空间；和基板支承构件，该基板支承构件定位于该容器的该处理空间中并且支承基板，其中，该容器包括：通孔，该通孔从外表面贯穿到内表面而形成，以便将工艺流体供应到该处理空间...
    2025-09-21
  • 基板加工装置和基板加工方法
    基板加工装置和基板加工方法_细美事有限公司_202411970720.0
    本发明提供了一种基板干燥方法和基板干燥装置，该基板干燥方法包括加压步骤、加工步骤和减压步骤，其中，该加压步骤包括以第一温度供应超临界流体的第一供应步骤和此后以高于第一温度的第二温度供应超临界流体的第二供应步骤。此后，在加工步骤中，通过供应与...
    2025-09-21
  • 缓冲室和包括缓冲室的衬底处理设备
    缓冲室和包括缓冲室的衬底处理设备_细美事有限公司_202411966051.X
    本发明涉及一种能够将缓冲单元的气氛保持在低湿度的缓冲室以及包括所述缓冲室的衬底处理设备。根据一个实施例，所述衬底处理设备包括：处理衬底的处理模块；以及转位模块，其将衬底从容纳衬底的容器传送到处理模块并将在处理模块中处理的衬底放入容器中，其中...
    2025-09-21
  • 衬底处理设备
    衬底处理设备_细美事有限公司_202411966050.5
    本发明涉及一种衬底处理设备，更具体地，涉及一种能够分别排放衬底处理期间产生的气体的衬底处理设备。本发明的目的在于提供一种能够同时分别排放气体与处理液体，并且能够在多个排气槽内提供均匀的压力的衬底处理设备。
    2025-09-21
  • 用于处理基板的装置
    用于处理基板的装置_细美事有限公司_202411963189.4
    本发明提供一种用于处理基板的装置。处理基板的该装置包括处理槽和支承单元，该处理槽具有容纳处理液的接收空间并且处理多个基板，该支承单元在该处理槽中支承这些基板，其中，该支承单元包括支承件和固定板，该支承件具有第一支承杆，该第一支承杆以竖直状态...
    2025-09-21
  • 处理衬底的设备和方法
    处理衬底的设备和方法_细美事有限公司_202411962017.5
    本发明公开了一种衬底处理方法和衬底处理设备，更具体地，一种通过调节供应到处理空间的气流来处理衬底的衬底处理设备。衬底处理设备包括：壳体，其具有上壁并提供内部空间；处理容器，其设置在内部空间中并提供具有敞开顶部的处理空间；支撑单元，其用于在处...
    2025-09-21
  • 衬底处理设备和衬底处理方法
    衬底处理设备和衬底处理方法_细美事有限公司_202411962013.7
    公开了一种能够恰当排放在衬底处理期间产生的杂质如烟雾的衬底处理设备和衬底处理方法，所述设备包括：壳体，设有内部空间；杯体，其设置在所述内部空间中并具有顶部开放的处理空间；支撑单元，用于在所述处理空间中支撑衬底；气流供应单元，其安装在所述壳体...
    2025-09-21
  • 处理衬底的方法
    处理衬底的方法_细美事有限公司_202411962011.8
    公开了一种处理衬底的方法，所述方法包括：衬底处理操作，在衬底上移动安装有处理部件的臂的同时用所述处理部件处理所述衬底，所述臂根据处理方案相对于所述衬底旋转；以及验证操作，在所述衬底处理操作之前验证接收的用于所述衬底处理操作的初始方案，其中所...
    2025-09-21
  • 具有移动电场势垒的捕获离子迁移率分离器
    具有移动电场势垒的捕获离子迁移率分离器_布鲁克·道尔顿有限及两合公司_202411965207.2
    本发明涉及一种分离离子的方法，以及一种捕获离子迁移率分离器。该捕获离子迁移率分离器具有在闭合环路中延伸的离子导向器，其包含有离子所穿过的、基本上静止的气体。设置作用于离子的轴向力，该轴向力由电场势垒引起，该电场势垒具有围绕离子导向器移动的电...
    2025-09-21
  • 加工基板的装置和加工基板的方法
    加工基板的装置和加工基板的方法_细美事有限公司_202411971960.2
    本发明提供了加工基板的装置和加工基板的方法。加工基板的该装置包括：提供处理空间的腔室；设置在该处理空间中的基板支承单元；将气体引入该处理空间中的气体供应单元；提供能量的等离子体源，该等离子体源利用等离子体激发引入该处理空间的该气体；将该处理...
    2025-09-21
  • 多层电子组件
    多层电子组件_三星电机株式会社_202411965472.0
    本公开提供一种多层电子组件。多层电子组件包括：主体，包括介电层以及交替设置的第一内电极和第二内电极且介电层介于第一内电极和第二内电极之间，并包括第一部分、第二部分、第三部分和第四部分；第一外电极和第二外电极，分别设置在第一部分和第二部分上并...
    2025-09-21
  • 显示装置
    显示装置_三星显示有限公司_202411964488.X
    一种显示装置包括：显示面板，包括包含透射区域的显示区域以及与显示区域相邻的非显示区域；以及输入传感器，在显示面板上，并且包括多个导电图案，其中多个导电图案包括：第一感测电极，包括沿着第一方向布置的多个第一感测图案以及被配置为将多个第一感测图...
    2025-09-21
  • 一种油库的安全预警管理系统及装置
    一种油库的安全预警管理系统及装置_中国航空油料有限责任公司_202411965366.2
    本发明公开一种基于油库的安全预警系统，利用视频监控模块对油库内的信息进行采集，获取现场实时数据，采集的数据包括油库人员操作信息；利用气象监测模块用于监测油库现场的空气温湿度，风速以及大气压力等气象因素进行监测；利用雷电预警模块采集户外信息进...
    2025-09-21
  • 一种光照不足条件下的车辆姿态估计方法及系统
    一种光照不足条件下的车辆姿态估计方法及系统_爱泊车科技有限公司_202411958160.7
    本发明公开一种光照不足条件下的车辆姿态估计方法及系统，涉及智能停车管理领域，所述方法包括：根据交通场景视频图像数据，对光照正常的图像数据进行数据标注；根据数据增强后的所述光照正常图像数据进行模型训练，构建教师网络模型；对所述已标注的正常光照...
    2025-09-21
  • 光投影设备
    光投影设备_彼欧光电系统有限公司_202411967144.4
    本发明涉及一种光投影设备(15)，包括：光源(24)，其优选地包括发光二极管；光学引擎(35)，其包括数字微镜装置(38)，所述光学引擎(35)被配置为由所述光源(24)供给，并包含对应于主图像(30)的数据信息，以沿着预定的光路径投影所述...
    2025-09-21
  • 对安装在流体冷却气候产品中的增强型非铁磁热交换器管系进行的优化的基于云的非破坏性测试
    对安装在流体冷却气候产品中的增强型非铁磁热交换器管系进行的优化的基于云的非破坏性测试_特灵国际有限公司_202411969166.4
    本发明公开了对安装在流体冷却气候产品中的增强型非铁磁热交换器管系进行的优化的基于云的非破坏性测试。插入特定热交换器管中的测试探头用于产生特定热交换器管的非破坏性测试的测试数据。访问该特定热交换器管的非破坏性测试的测试数据。使用所访问的该特定...
    2025-09-21
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