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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
  • 本申请涉及光刻机技术领域,更为具体地说,涉及一种光刻机的曝光剂量计算方法,提供了一种光刻机的曝光剂量计算方法,该光刻机的曝光剂量计算方法包括:在匀光系统两端的第一分光棱镜和第二分光棱镜处分别设置第一反射率传感器和第二反射率传感器以获得光源发...
  • 本实用新型公开了一种高精度焦面补偿装置,包括光源、光线整形单元、投影镜头、掩膜版,还包括设置于所述光线整形单元和投影镜头之间的纠偏组件,所述纠偏组件包括焦面纠偏机构和掩膜安装机构,所述掩膜版安装于所述掩膜安装机构,所述掩膜安装机构竖直安装于...
  • 本申请公开一种自动驾驶系统的冗余控制方法及相关设备,涉及自动驾驶技术领域,所述方法包括:所述自动驾驶系统包括:域控制器和多个子系统,所述域控制器通过第一通信链路与所述子系统通信连接,以及通过第二通信链路与所述子系统通信连接,所述多个子系统包...
  • 本发明公开了一种具有动力传感器的惯性动力装置,属于惯性回收技术领域。一种具有动力传感器的惯性动力装置,包括圆腔,所述圆腔的内部开设有活动腔,所述活动腔的内部下表面开设有滑槽,所述滑槽的内部滑动连接有限位圈,所述限位圈的上表面固定连接有滑动圈...
  • 本公开涉及用于检测孔径光阑轴向定位的成像系统和方法、以及包括成像系统的光刻设备。根据本公开的用于检测孔径光阑轴向定位的成像系统可包括:集光透镜;聚光透镜;设置在集光透镜与聚光透镜之间的孔径光阑,其中孔径光阑包括标记单元;以及布置在所述聚光透...
  • 本发明提供了一种加工透明衬底的光刻工艺,包括:在透明衬底的正面镀设环状结构的增反膜,所述增反膜的宽度大于或等于光刻机探测器的探测精度;所述增反膜被配置为能够反射所述工作波段的光线;基于光刻机对所述透明衬底的正面有效区域进行光刻加工,所述正面...
  • 本实用新型提供了一种激光发生机构及曝光装置,所述激光发生机构包括壳体、设于壳体内的安装板、多个激光器及激光器驱动器,所述安装板开设有冷却水管道,所述冷却水管道两端为进水口及出水口,所述进水口及出水口开设于所述安装板的一侧,所述激光器沿所述冷...
  • 本发明提供一种针对斜边相邻短临边的OPC预处理方法及系统、OPC修正方法中,针对斜边相邻短临边的OPC预处理方法包括:获取待处理图形,待处理图形至少包括斜边以及与斜边相连的短临边,其中,短临边的尺寸小于预设分段尺寸;基于短临边的尺寸以及预设...
  • 本发明公开了一种城市轨道交通信号系统车门开关采集IO共享处理方法,包括步骤1,车载信号系统单端配置两套ATP子系统;步骤2,当主系统和备用系统两者之一采集到关门按钮IO,且另一个ATP子系统未采集到关门按钮IO时,采集到关门按钮IO的ATP...
  • 本实用新型公开了一种框架式投影幕布,包括框架,所述框架的内侧设有幕布,所述框架的左右两侧都设有条形槽,幕布的两端分别从两个条形槽中穿过,每个所述条形槽的上下两侧都设有滑槽,两个滑槽之间设有U型架,U型架的两端分别与两个滑槽滑动连接,本实用新...
  • 本发明属于剥离废液回用技术领域,具体公开了一种剥离液再生添加剂,以质量百分比计,其原料包括:六氢均三嗪衍生物3‑10%、苯醚二胺0.1‑5%、小分子胺15‑30%、非离子表面活性剂为0.5‑2%,余量为有机溶剂;一种剥离废液的再生方法,包括...
  • 本发明属于民机飞控系统验证的技术领域,具体涉及一种基于时间自动机的三余度飞控系统安全性分析方法。包括:确定各个组件的时钟周期和随机漂移范围;采用时间自动机和三余度飞控系统的组件的时钟周期和随机漂移范围构造时钟模型,其中时间自动机的建模语义包...
  • 本发明涉及一种用于冗余控制系统的装置,该装置具有第一组件载体和第二组件载体,第一组件载体设计有多个插槽,用于容纳单独的组件,这些组件模块化组装地形成第一自动化系统,第二组件载体设计有另外的多个插槽,用于容纳另外的单独组件,这些组件模块化组装...
  • 一种用于叠加计量的方法可包含产生宽带照明射束及将所述宽带照明射束导引到样本上的叠加目标,其中所述叠加目标可包含具有形成为重叠光栅结构的周期性特征的单元。所述方法可包含使用所述叠加目标的所述周期性特征来产生衍射光,其中所述周期性特征可充当衍射...
  • 提供一种能够在曝光过程之前提高光学性能的配置极紫外(EUV)源的方法、以及使用该EUV源的EUV曝光方法。配置EUV源的方法包括:生成用于掩模图案的布局的对象光谱图;生成与对象光谱图相对应的光瞳图;以及通过以下操作来配置EUV照明模式:在光...
  • 本申请公开了一种铅封装置。该铅封装置包括:穿丝机构和盖板机构,穿丝机构包括支撑架和设于支撑架上的轨迹板,轨迹板上设有轨迹槽、铅封定位口和销钉定位口,轨迹槽的一端与铅封定位口连通,轨迹槽的另一端与销钉定位口连通,铅封定位口用于接收并固定铅封块...
  • 本发明提供了一种剥离液组合物及其制备方法和应用,具体涉及光刻技术领域。该剥离液组合物包括有机碱、二醇醚类溶剂、缩酮类溶剂、尼龙酸甲酯、保护剂、β‑环糊精衍生物和纯水;所述有机碱包括位阻醇胺和双环胍类化合物。本发明通过位阻醇胺和双环胍类化合物...
  • 本申请涉及光刻机技术领域,更为具体地说,涉及一种光刻机晶圆对准系统。该光刻机晶圆对准系统包括:广角镜头,用于对晶圆上的至少两个对准标记进行成像;以及,有效成像单元,用于将经由所述广角镜头成像的图像中与所述至少两个对准标记对应的有效成像部分成...
  • 本发明公开了一种异质集成的快恢复响应型高功率限幅器及制备方法,属于射频/微波电路保护领域,依次包括输入端口、第一限幅单元、阻抗匹配与整流偏置网络、第二限幅单元以及输出端口;第一限幅单元采用Si基PIN二极管,用于承载高功率输入信号;阻抗匹配...
  • 本实用新型涉及摄影辅助设备技术领域,具体为一种用于产品拍摄的便携式背景更换装置,包括支撑柱,所述支撑柱上可拆卸安装有主背景架,所述支撑柱的上下两端均设有凸柱,所述主背景架的上下两端均设有与凸柱结构相吻合的快速接口,且所述主背景架的内部设有容...
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