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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
一种压印模板及其制作方法
本申请适用于微透镜制备领域,提供了一种压印模板及其制备工艺。其中,压印模板制作方法,包括:S1:通过激光直写灰度光刻,在工件上形成第一曲面,测量第一曲面的面型数据;S2:通过热回流烘箱烘烤,得到第二曲面,测量第二曲面的面型数据;S3:判断第...
一种免更换的陶瓷基板曝光限位治具
本实用新型公开了一种免更换的陶瓷基板曝光限位治具,包括弹性板与定位骨架,定位骨架呈宫格结构设置于弹性板内部,弹性板于定位骨架内开设有若干组定位内框,定位内框内部放置陶瓷基板,弹性板包括上弹性层与下弹性层,上弹性层与下弹性层上下拼接,定位骨架...
一种SIL4级门控器的控制电路及控制方法
本发明公开了轨道交通技术领域的一种SIL4级门控器的控制电路及控制方法,包括主控板和通信板;所述主控板包括CPU、安全采集电路和安全输出电路;每个工作周期内执行安全输入信号同步校验和输出表决;安全采集电路通过动态波验证机制判定输入安全输入信...
用于以基于缺陷的过程窗口为基础的校准模拟过程的方法
本文中描述关于改善与芯片的制造相关联的模拟过程和解决方案(例如,重定目标图案)的方法。方法包括获得多个剂量‑焦距设置、和基于与所述多个剂量‑焦距设置中的每个设置相关联的被印制的图案的特性的测量值的参考分布。所述方法还包括基于调整模型和所述多...
剂量控制系统
本公开涉及剂量控制系统。一种控制装置包括:被配置为控制曝光束中的能量的量的功率控制器;以及跟踪模块,该跟踪模块被配置为:确定移动穿过曝光束的区域在处于曝光束中时该区域的累积能量的量;预测在离开曝光束之前该区域的累积能量是否会超过剂量限值;以...
传感器用保护壳体、拍摄装置、焊接系统、传感器的冷却方法以及传感器的冷却控制方法
本发明提供将靠近焊接的热源的传感器输入部局部地冷却并且也能够将传感器主体有效地冷却的传感器用保护壳体。传感器用保护壳体(30)具备:壳体主体(33),其用于收容传感器主体(21)以及传感器输入部(22);以及集中冷却部(35),其以包括传感...
一种复合高分子材料光刻胶引发剂
本发明公开了一种复合高分子材料光刻胶引发剂,涉及光刻胶技术领域,解决了传统光刻胶引发剂存在光解产物易挥发、热稳定性差、与树脂相容性不足问题。一种复合高分子材料光刻胶引发剂,包括按质量百分比份计的如下组分:高分子载体60~80%,二甲苯15~...
长焦距同轴空间相机承力筒结构
本发明涉及空间光学遥感技术领域,尤其涉及一种长焦距同轴空间相机承力筒结构,包括:筒体、T形环筋和前框架,筒体分为主体区、底部加厚区和顶部加厚区;T形环筋沿主体区轴向均匀分布;前框架嵌设于顶部加厚区内。本发明的优点在于,本发明的承力筒采用碳纤...
光刻机光学系统轴心对准精度的量程设备
本实用新型涉及光刻机技术领域,尤其涉及一种光刻机光学系统轴心对准精度的量程设备。其包括用于配合照明系统顶部安装的可转动底座、均匀分布设置在所述可转动底座上用来测量轴心度的若干组测量组件以及设置在上可转动底座中心位置处且用来模拟均匀光系统光照...
镜头装置、组装有镜头装置的系统、组装有镜头装置的检查装置、以及操作用程序
本发明提供镜头装置、组装有镜头装置的系统、组装有镜头装置的检查装置、以及操作用程序,该镜头装置利用可连接多台相机装置的通用通信接口,同时可实时输出镜头动作状态。镜头装置1具有:镜头机构,其内置于镜头主体2,用于使光学像成像;驱动控制部,其内...
投影装置及投影系统
本申请提供一种投影装置及投影系统,投影装置包括:支撑组件,包括支撑架和底座,投影主机转动设置在支撑架上,支撑架设置在底座上;电路组件,包括第一电路板、第二电路板以及电连接件,第一电路板设置在支撑架内,且与投影主机内部线路连接,第二电路板设置...
散热结构及投影设备
本申请涉及投影设备技术领域,公开了散热结构及投影设备。本申请提供的散热结构,包括风机,风机具有多个排风口,每个排风口处均设置有散热器,每个散热器与至少一个热源连接。该散热结构,通过设置具有多个排风口的风机,并且在每个排风口处均设置散热器,使...
致动器组件
一种致动器组件(2),包括:第一部件(10)和第二部件(20),第一部件(10)和第二部件(20)能够在移动平面中的至少一个方向上相对于彼此移动,并且不能沿着垂直于移动平面的主轴线相对于彼此移动;以及一个或更多个致动单元(30),致动单元(...
一种稳定运行的滤光装置及电视摄像机
本发明公开了一种稳定运行的滤光装置及电视摄像机,以解决现有的电视摄像机内滤光装置运行不稳定,影响像质的问题,具体包括机架、设置在机架上的箱体、设置在箱体外且安装在机架上的滤光轮电机,以及设置在箱体内的滤光轮组件等;箱体的箱本体与机架固连,箱...
用于控制器的冗余控制的方法、计算设备和存储介质
本发明的实施例涉及一种用于控制器的冗余切换的方法、计算设备和存储介质。该方法包括由冗余交互切换单元监测第一主控单元和第二主控单元中的当前的主设备的状态信息,以便基于所监测的状态信息生成冗余监测信号;响应于确定冗余监测信号指示进行冗余切换,开...
一种机电设备故障报警救援系统
本发明涉及机电设备报警救援技术领域,特别涉及一种机电设备故障报警救援系统,其与所述机电设备主控制系统的并行设置在机电设备控制终端,通过触发模块,进行机电设备主控制系统和机电设备紧急救援系统的切换,所述机电设备紧急救援系统包括:状态预测模块,...
一种投影光刻莫尔对准装置及方法
本发明公开了一种投影光刻莫尔对准装置及,其中装置包括:照明系统、掩模标记、光刻投影物镜、对准标记、DMD空间调制器、CCD相机和传感器运动台;照明系统发射光线,光线穿过掩模标记后,经过光刻投影物镜形成空间像;通过控制传感器运动台的移动寻找空...
密封
本发明涉及一种密封(01),其具有密封体和密封带(03),其中密封体包括密封外壳(06)和密封芯(05),该密封外壳具有两个在初始状态下沿着连接片(60)可动地相互连接的密封外壳半部(61,62)。为了转换到工作状态,所述密封外壳半部(61...
掩模坯料、相移掩模、相移掩模的制造方法及半导体器件的制造方法
本发明提供不会使掩模制造工艺复杂化、且能够以期望的精度制作透射率不同的图案、能够在各个图案中得到期望的相移功能的掩模坯料。上述掩模坯料在相移膜上具有透射率调整膜,相移膜使透过相移膜后的ArF准分子激光的曝光光和仅在与上述相移膜的厚度相同距离...
一种光路清洁度检测装置、监测方法及处理系统
本发明提供了一种光路清洁度检测装置、监测方法及处理系统,涉及芯片制造技术领域;本发明利用数字微镜器件DMD生成纯白图像,通过面阵CCD捕捉光路镜片的反射光图像,再使用CCD控制器采集面阵CCD的反射光图像,并对所有像素进行累加处理,将累加值...
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