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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
在线监控曝光机杂散光的光罩、方法及系统
本发明公开了一种在线监控曝光机杂散光的光罩、方法及系统,属于半导体制造技术领域。该方法包括:提供设置有关键尺寸测试图形和多个不同尺寸遮光图形的光罩;在晶圆上对关键尺寸测试图形进行第一次曝光以形成第一潜像;对光罩与晶圆相对移位后,使用遮光图形...
一种可折叠式柔光箱卡盘
本实用新型公开了一种可折叠式柔光箱卡盘,包括:第一基座,呈开放环状结构,其外周设有第一支撑件;第二基座,呈开放环状结构,其外周设有第二支撑件;锁定机构,用于锁定或解锁第一基座和第二基座;第二基座转动连接于第一基座;第一基座和第二基座至少具有...
一种提高LCD投影机照明效果的光学结构
本发明公开了一种提高LCD投影机照明效果的光学结构,包括LED光源(1)、第一自由曲面透镜(2)、自由曲面反射镜(3)、第二自由曲面透镜(4)、偏光片(5)以及液晶面板(6),LED光源(1)、第一自由曲面透镜(2)、自由曲面反射镜(3)、...
一种相机转接麦克风新型热靴座
本实用新型提出一种相机转接麦克风新型热靴座,包括热靴座主体与活动部,热靴座主体的一侧设有用于容纳活动部的容纳槽,容纳槽的侧壁设有阻尼轴,活动部套设于阻尼轴上,活动部与热靴座主体之间通过阻尼轴转动连接,热靴座内设有电路板,活动部上设有与电路板...
曝光机载台表面检测机构及曝光机
本实用新型涉及曝光机领域,具体涉及一种曝光机载台表面检测机构及曝光机。曝光机载台表面检测机构包括四个检测组件;其中,在所述载台处于零位时,四个检测组件分布于曝光机的载台四个角部的上方;所述检测组件用于在所述载台移动的过程中扫描检测所述载台表...
一种高效散热的投影仪
本实用新型提出的一种高效散热的投影仪,涉及投影仪技术领域,现提出如下方案,其包括外壳,所述外壳横截面的前半部分呈矩形设置,所述外壳横截面的后半部分呈梯形设置,所述外壳的前侧内壁上固定安装有隔板,所述隔板与外壳的后侧内壁之间存在空隙,所述隔板...
一种双工位网版曝光设备
本实用新型公开了一种双工位网版曝光设备,包括设备基体;沿水平方向对称设置于所述设备基体两侧的第一曝光工位和第二曝光工位;设置于所述第一曝光工位的第一镜头模组和设置于所述第二曝光工位的第二镜头模组;水平活动连接于所述设备基体的联动龙门机构,所...
一种无掩膜光刻设备和无掩膜光刻方法
本申请适用于无掩膜光刻技术领域,提供了一种无掩膜光刻设备和无掩膜光刻方法,无掩膜光刻设备包括用于产生面阵光的照明装置、设置于照明装置发出的面阵光的光路上的数字微镜器件、用于承载待加工的基板的载物台组件、设置于载物台组件和数字微镜器件之间的投...
一种无掩膜光刻设备和无掩膜光刻方法
本申请适用于无掩膜光刻技术领域,提供了一种无掩膜光刻设备和方法,设备包括照明装置、设置于照明装置的光路上的数字微镜器件、承载基板的载物台组件、设置于载物台组件和数字微镜器件之间的投影物镜,以及控制单元;数字微镜器件具有多个纵横排列的微反射镜...
一种重力储能系统
本发明涉及能源发电领域,公开一种重力储能系统。所述重力储能系统包括第一储存模块、第二储存模块、提升模块、发电模块和若干个质量单元,第一储存模块用于存放释放能量后的质量单元;第二储存模块设置于第一储存模块的上方,第二储存模块用于存放已存储能量...
一种边缘光刻胶去除装置
本实用新型涉及光刻胶去除技术领域,具体为一种边缘光刻胶去除装置。包括底座、转盘、输送带设备、连接架、旋转驱动机构、清洗剂喷嘴以及氮气喷嘴;底座上开设有滚珠安装槽,滚珠安装槽的内侧安装有若干个滚珠;底座上开设有落料孔;转盘上沿环形阵列设置有多...
气体弹簧调相器及热声发电机
本发明提供一种气体弹簧调相器及热声发电机,其中气体弹簧调相器包括法兰、室温侧气缸、室温侧活塞、室温侧壁面、高温侧气缸和高温侧活塞,室温侧气缸与法兰的第一端面相连,以使法兰、室温侧气缸和室温侧活塞之间形成第一室温弹簧腔;室温侧壁面与法兰的第一...
一种适用于双重光刻技术的版图拆分方法、适用于双重光刻技术的版图拆分装置及电子设备
本发明涉及集成电路掩模设计领域,尤其涉及尤其涉及一种适用于双重光刻技术的版图拆分方法、适用于双重光刻技术的版图拆分装置及电子设备,本方法包括如下步骤:提供包括多个掩模图形的初始版图;基于第一拆分规则将多个掩模图形拆分为有冲突图形和无冲突图形...
一种双锥形多气口式动态气体锁装置
一种双锥形多气口式动态气体锁装置,首次提出了双锥形管道构型,管道中心光孔通道截面形状为双锥形,分为对流段和抑制段,连通在投影物镜腔室与硅片台腔室之间,对流段大口端朝向投影物镜腔室,对流段小口端与抑制段小口端相接形成窄喉口,抑制段大口端朝向硅...
光蚀刻系统及光蚀刻方法
一种光蚀刻系统,用于控制极紫外光微影光源中的电浆位置,此系统可包括真空腔室;液滴产生器,用以将液滴流分配至真空腔室中,其中液滴是由金属材料形成;激光光源,用以将包括至少第一脉冲及第二脉冲的多个激光脉冲发射至真空腔室中;感测器,用以侦测腔室内...
掩模版和载物台的兼容检测装置和兼容检测方法
本发明提供了一种掩模版和载物台的兼容检测装置和兼容检测方法,属于半导体检测加工领域,兼容检测装置包括相机组件、掩模版吸附框、掩模版和载物台;相机组件设置在掩模版吸附框上方,掩模版设置在掩模版吸附框处。本申请的相机组件上下占用空间小,景深范围...
金属线和通孔布图的光学临近效应修正方法及相关设备
本申请涉及一种金属线和通孔布图的光学临近效应修正方法及相关设备,该方法包括:获取原始金属线和通孔布图,在互连金属线所在层的平面内与互连金属线的延伸方向相垂直的方向为宽度方向,金属线图层中与互连金属线在宽度方向上相邻的金属线为影响金属线,影响...
一种高灵敏度光纤光栅加速度传感器
一种高灵敏度光纤光栅加速度传感器,包括基座、通纤块、中间横梁与质量块,所述通纤块的顶部开设有一号纤槽,通纤块的底部与基座的顶部相连接,基座的底部与待测物体固定连接,基座的中部与中间横梁的尾端固定连接,中间横梁的自由端与质量块的中部固定连接,...
一种基于动态规则集的资金路由系统及方法
本发明涉及金融科技技术领域,尤其为一种基于动态规则集的资金路由系统及方法,包括以下步骤:接收待路由的资金交易请求,所述请求至少包含交易金额、客户标识、产品模块标识和其他业务参数;从规则管理平台获取针对该产品模块的动态规则集,所述规则集包括若...
掩模坯料及其制造方法、转印用掩模及其制造方法、及显示装置的制造方法
本发明提供能够抑制在将图案形成用的薄膜或具有转印图案的薄膜剥离之后透光性基板的主表面的形状劣化、且能够有助于再循环时的制造成品率的提高的掩模坯料。该掩模坯料具备透光性基板、和设置于透光性基板的主表面上的图案形成用的薄膜,薄膜含有金属、硅及氮...
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农业,林业,园林,畜牧业,肥料饲料的机械,工具制造及其应用技术
食品,饮料机械,设备的制造及其制品加工制作,储藏技术
烟草加工设备的制造及烟草加工技术
服装,鞋;帽,珠宝,饰品制造的工具及其制品制作技术
医药医疗技术的改进;医疗器械制造及应用技术
家居日用产品装置的制造及产品制作技术
休闲,运动,玩具,娱乐用品的装置及其制品制造技术
木材加工工具,设备的制造及其制品制作技术
纺织,织造,皮革制品制作工具,设备的制造及其制品技术处理方法
建筑材料工具的制造及其制品处理技术
家具;门窗制品及其配附件制造技术
水利;给水;排水工程装置的制造及其处理技术
道路,铁路或桥梁建设机械的制造及建造技术
五金工具产品及配附件制造技术
安全;消防;救生装置及其产品制造技术
造纸;纤维素;纸品设备的制造及其加工制造技术
印刷排版;打字模印装置的制造及其产品制作工艺
办公文教;装订;广告设备的制造及其产品制作工艺
工艺制品设备的制造及其制作,处理技术
摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
乐器;声学设备的制造及制作,分析技术
照明工业产品的制造及其应用技术
机械加工,机床金属加工设备的制造及其加工,应用技术
金属材料;冶金;铸造;磨削;抛光设备的制造及处理,应用技术
无机化学及其化合物制造及其合成,应用技术
有机化学装置的制造及其处理,应用技术
有机化合物处理,合成应用技术
喷涂装置;染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂装置的制造及其制作,应用技术
车辆装置的制造及其改造技术
铁路车辆辅助装置的制造及其改造技术
自行车,非机动车装置制造技术
船舶设备制造技术
航空航天装置制造技术
包装,储藏,运输设备的制造及其应用技术
塑料加工应用技术
蒸汽制造应用技术
燃烧设备;加热装置的制造及其应用技术
供热;炉灶;通风;干燥设备的制造及其应用技术
制冷或冷却;气体的液化或固化装置的制造及其应用技术
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