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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
  • 本发明的一种直帧式无掩膜光刻的畸变补偿方法、设备及存储介质,本发明提供了一种直接帧化的反畸变修正方法,在反倾斜直帧法的基础上,通过移动帧化矩形进行截窗,对截窗图形进行畸变处理,再利用填充算法直接帧化。这种方法省去了大量的中间计算过程。基本思...
  • 本发明提供一种套刻标记、光罩组件及检测方法,具体涉及半导体领域。所述套刻标记包括第一标记图案和第二标记图案,其中,第一标记图案包括第一拼接图案和第一面内图案,第一面内图案设置在第一拼接图案的一侧;第二标记图案包括第二拼接图案和第二面内图案,...
  • 本公开的实施例涉及光刻补偿方法、设备和存储介质。在此提出的方法包括:通过对第一晶圆的多个套刻量测结果分别进行密集化处理,得到多个套刻量测结果的相应套刻密集化结果;基于相应套刻密集化结果中各个套刻密集化结果之间的差异,确定与蚀刻工艺有关的第一...
  • 本发明涉及飞机自动驾驶与容错控制技术领域,具体为一种小型飞机自动驾驶仪容错控制系统,包括:状态与故障联合估计模块,用于获取传感器测量值与上一时刻的最终执行器指令向量,生成当前时刻的飞行状态估计值,状态估计协方差矩阵与健康参数向量的估计值;控...
  • 本发明公开了基于可信状态策略判定的热备冗余切换方法、系统及介质,包括:获取DCS输入数据;基于主从控制器间的冗余通信网络,将DCS输入数据进行数据校验;基于可信状态策略同步机制,将校验后的DCS输入数据在主从控制器间进行业务数据同步;业务数...
  • 本实用新型涉及短视频拍摄技术领域,具体涉及一种便于更换背景的背景板,包括框体、夹板、插板、放卷辊和固定机构;通过将放卷辊的下端插入插板的插孔中,插入后按压放卷辊的上端,将放卷辊的上端卡入夹板中,随后牵拉放卷辊上幕布的自由端移动固定于框体另一...
  • 本申请公开了一种投影系统,包括投影光源、照明光路、显示元件和镜头。照明光路包括多个透镜和光束调制元件,其中至少一个透镜为第一透镜,第一透镜相对于投影光源的光轴倾斜设置。第一透镜倾斜设置可以使投影光束一定程度地向显示元件的方向旋转,再利用倾斜...
  • 本发明涉及半导体相关技术领域,具体包括一种芯片加工生产线监控方法及系统,包括:采集光刻工艺监测数据;设置特征矩阵;确定聚焦窗口边界;基于特征矩阵,结合聚焦窗口边界与光刻工艺监测数据,配置焦距偏移补偿量;使用边缘放置误差模型,确定偏差幅度评分...
  • 本申请提供一种曝光方法及曝光装置,涉及光刻技术领域。所述曝光方法包括:提供一待处理晶圆,将待处理晶圆放置于工件台上;提供一掩模板,掩模板包括至少一个掩模图案区域;将掩模板设置于吸盘靠近待处理晶圆的一侧,吸盘与工件台相对设置;根据第一面型调控...
  • 本发明提供了一种测试结构及测试方法,应用于半导体技术领域。在本发明中,通过第一引线和第二引线,分别沿第二方向电连接在多条第一金属线中的中间金属线的尾端和首端,测试整个均方根电流测试结构在电流的作用下产热时,发热及热耦合更加严重的第一金属线的...
  • 本发明公开了一种适用于低电压条件的多段记忆合金柔性驱动器,包括:延长套,其为圆管型结构;铜垫片,其固定设置在所述延长套的内壁上,靠近所述延长套的一端;芯轴,其一端穿过所述铜垫片后设置在所述延长套内;输出轴,其一端与所述芯轴的另一端固定连接,...
  • 本申请提供一种山体式重力储能系统,涉及重力储能技术领域,利用山体自身高度落差的优势,实现重力发电,包括重力块、坡顶储存系统、坡顶过渡系统、转换系统、坡底过渡系统以及坡底储存系统;重力块堆叠在坡顶储存系统和坡底储存系统中,坡顶储存系统的出料端...
  • 一种扫描干涉光刻装置,涉及微纳结构制造的干涉光刻技术领域,解决现有扫描干涉光刻系统结构复杂,易受处界环境影响;干涉图样参数调整需要调节两臂光路中的光路元件以及调整过程较为复杂等问题,包括固定于支撑结构上的相位测量元件、相位测量探测器和光阑;...
  • 本发明公开了一种曝光剂量确定方法、装置、设备及存储介质,应用于光刻技术领域,包括:获取目标关键尺寸,以及光刻胶曝光后形成的曝光图案与刻蚀后的功能层图案之间的线宽漂移容忍极限;获取曝光剂量斜率;曝光剂量斜率为基于不同曝光剂量下对应曝光图案的关...
  • 一种光刻设备(LA),包括:第一环境(11),污染物(9)的源位于所述第一环境中;第二环境(12);通道(10),所述第一环境与所述第二环境之间的光学路径被设置为通过所述通道,其中,所述通道至少部分地由第一壁区段和第二壁区段(21、22)限...
  • 本实用新型公开了一种弹性锁止式计量封印,本实用新型涉及计量封印技术领域,该弹性锁止式计量封印,包括壳体,所述壳体的主体为顶端单向开口结构,所述壳体的顶端面上固定连接有安装板,安装板共设有两处,两处安装板呈对向固定连接在壳体顶端面的左右两侧位...
  • 本发明公开一种幕布张紧装置,包括:幕布,用于反射投影光线, 包括端部以及中间部分;幕布框架,用于承载幕布,幕布的端部以及中间部分设于幕布框架的入光侧和背光侧;连接件设于幕布的端部,带动幕布运动;连接卡条一端与连接件相卡接,另一端与幕布框架相...
  • 投影仪。能够抑制装置结构的大型化并且高效地冷却被连接设备。光源装置具备外装壳体和第1风扇,该外装壳体具有可装卸地收纳作为第1冷却对象的被连接设备的第1收纳部和收纳第2冷却对象的第2收纳部,第1风扇收纳在外装壳体中,通过将从外装壳体的外部进气...
  • 本实用新型提出一种摄影补光结构,现提出如下方案,其包括中心环和三个反射片单体,所述反射片单体包括顶环、底环和反射弧板,所述中心环的外侧开设有三个插接槽,所述反射片单体的一侧固定安装有弧形插板,所述弧形插板滑动安装于对应的插接槽内,所述中心环...
  • 本实用新型涉及一种散热均匀的密闭式光机以及LCD投影仪,密闭式光机包括:壳体、光学器件、散热模组、内循环风机以及第一外部散热风机;光学器件包括LCD屏;散热模组包括相互连接的热端散热器和冷端散热器,冷端散热器包括沿第一水平方向依次间隔排布的...
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