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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
光学邻近修正方法、存储介质及终端
一种光学邻近修正方法、存储介质及终端,其中光学邻近修正方法包括:提供晶圆版图,晶圆版图中具有若干目标图形;在晶圆版图上选取测量原点;基于测量原点获取每个目标图形的特征元素;基于特征元素判断不同目标图形之间是否具有关联性;在具有关联性的目标图...
高温换热器与热声发电系统
本发明提供一种高温换热器与热声发电系统,所述高温换热器包括:集热部与换热部,集热部的一端部分布有多个槽孔,所述槽孔的开口端适于朝向太阳能聚光器;换热部的一侧与所述集热部的另一端部连接,换热部的另一侧适于与热声发电机连接。本发明通过在集热部的...
通孔图形布图的修正方法、装置及计算机可读存储介质
本申请涉及一种通孔图形布图的修正方法、装置及计算机可读存储介质,该方法包括:获取原始通孔图形布图,原始通孔图形布图包括至少一个通孔图形,通孔图形包括至少一条待修正边;获取通孔图形的待修正边的特征信息,计算待修正边的修正方向和初始修正量;基于...
抗蚀剂下层膜形成用组合物
本发明提供一种抗蚀剂下层膜形成用组合物,其包含化合物(A)和溶剂(B),所述化合物(A)含有具备链状α, β‑不饱和羰基的侧链或末端。
箱式晒版机
本实用新型公开了箱式晒版机,涉及晒版机技术领域。放置框的后侧端贯穿箱体的前侧壁,并延伸至箱体内侧,箱体内侧设置有上翻转板,上翻转板下端设置有若干个灯管,所述灯管位于放置框上方,放置框内侧设置有限位压紧机构,限位压紧机构包括支撑板和下翻转板,...
一种BCB光刻胶及其制备方法
本发明公开了一种BCB光刻胶及其制备方法,属于光刻胶技术领域。包括以下重量份的原料:60‑70份改性BCB树脂、20‑30份溶剂、1‑3份蒽醌‑2‑磺酸钠、5‑9份三烯丙基异氰脲酸酯。其中,改性BCB树脂的原料包括4‑乙烯基苯并环丁烯、对二...
一种相变散热低噪音的密闭式光机以及LCD投影仪
本实用新型涉及一种相变散热低噪音的密闭式光机以及LCD投影仪,密闭式光机包括:壳体、光学器件、内循环风机以及散热模组;所述壳体内部形成有内循环风道,所述光学器件和内循环风机均设置在所述内循环风道内,所述光学器件包括LCD屏;所述散热模组包括...
投影装置
本实用新型提供了一种投影装置。投影装置包括:光源,光源用于出射不同偏振态的光,光源包括多个发光点;超表面元件,超表面元件包括基底和设置在基底上的多个微纳结构,微纳结构为柱状的非旋转对称结构,超表面元件的相位包括多种功能相位,以使超表面元件对...
基于三棱镜折射的单参考臂多波长离轴数字全息成像装置
一种基于三棱镜折射的单参考臂多波长离轴数字全息成像装置,包括:并列设置的三个激光光源以及分别与之相连的三合一光纤、用于准直的第一透镜、分束棱镜以及依次设置于物光侧的透明待测物、第二透镜、第二反射镜和第三透镜以及设置于第一分束棱镜参考光侧的第...
OPC修正方法、半导体设备及半导体产品
本申请提供了一种OPC修正方法、半导体设备及半导体产品,涉及半导体制造技术领域,解决了相关技术中通孔圆整程度低而在显影刻蚀后容易出现短路的问题,本申请方案通过对通孔版图设计的修正,从而调整对应通孔的目标图形,提升了成像对比度,从而提升成像质...
负性感光性树脂组合物、固化膜及半导体装置
本申请涉及一种负性感光性树脂组合物、固化膜及半导体装置,以改善光敏性聚酰亚胺低温固化时亚胺化程度不足的技术问题。该负性感光性树脂组合物包括:包含聚酰胺酸脂的前体树脂、含硫脲键的光交联剂、光引发剂和溶剂。光交联剂与包含聚酰胺酸酯的前体树脂组成...
具有背印改善组件的涂胶显影机
本实用新型公开一种具有背印改善组件的涂胶显影机,包括:主控模块、具有显影腔的机台、及设置于所述显影腔内的晶圆承载组件、显影液组件,还包括清洗组件、供氮组件及监测背承载晶圆平坦度的平坦度监测组件;本实用新型通过在显影腔内增设供氮组件和清洗组件...
图形修正方法、存储介质和存储终端
一种图形修正方法、存储介质和存储终端,提供若干初始待修正版图,所述初始待修正版图包括若干初始待修正图形;根据若干初始待修正版图获取测试版图,所述测试版图包括若干测试图形,若干所述测试图形的位置与若干所述初始待修正图形的位置相对应;根据所述测...
透镜驱动装置、相机模块以及光学设备
本发明涉及透镜驱动装置、相机模块以及光学设备,该透镜驱动装置包括:第一壳体;设置在第一壳体中的线圈架;设置在线圈架上的光圈;设置在第一壳体上的板;设置在板上的第二线圈和第四线圈;第二磁体,其设置在线圈架上并面对第二线圈;第四磁体,其设置在光...
用于处理在极紫外(EUV)光刻设备内使用的物体的检查或合格评定设备
一种用于确定在EUV光刻设备中使用的物体的一个或多个特性的设备包括:支撑件;辐射系统;检测器系统;以及辐射调整模块。支撑件用于支撑物体(例如表膜、掩模版、或掩模版和表膜组件)。辐射系统可操作为产生和传递辐射束,以便入射到由支撑件支撑时的物体...
碱性显影型树脂组合物、其光固化性的干膜及其固化物以及使用其而形成的印刷电路板
本发明提供能够形成具有优异的附着力和耐冷热冲击性的阻焊层的碱性显影型树脂组合物、其光固化性的干膜及其固化物以及使用其而形成的印刷电路板。所述碱性显影型树脂组合物的特征在于,含有(A)乙烯基酯树脂、(B)光聚合引发剂、(C)玻璃粉、(D)在一...
碱性显影型树脂组合物、其光固化性的干膜及其固化物以及使用其而形成的印刷电路板
本发明提供能够形成具有优异的附着力和耐冷热冲击性的阻焊层的碱性显影型树脂组合物、其光固化性的干膜及其固化物以及使用其而形成的印刷电路板。所述碱性显影型树脂组合物的特征在于,含有(A)乙烯基酯树脂、(B)光聚合引发剂、(C)玻璃粉、(D)在一...
有机锡簇结构及其制备方法、图案化组合物、图案化方法、图案化薄膜、图案化基底和电子元器件
本申请提供一种有机锡簇结构及其制备方法、图案化组合物、图案化方法、图案化薄膜、图案化基底和电子元器件,所述有机锡簇结构包括由烷基锡化合物和/或环烷基锡化合物构成的锡团簇骨架、和配位连接于所述锡团簇骨架上的有机配体,所述有机配体包括取代或非取...
照相机装置以及电子设备
本发明提供一种能够确保驱动透镜模块以及叶片所需个数的导电路径的照相机装置。照相机装置具备透镜驱动装置以及叶片驱动装置。透镜驱动装置具有:透镜载架,其保持透镜体;导电性前侧板状弹簧,其具有在透镜载架固定的内侧部、固定于在透镜载架的外侧配置的固...
掩膜版、MEMS声学器件及其制备方法
本申请提供一种掩膜版、MEMS声学器件及其制备方法,涉及半导体加工技术领域。该掩膜版,包括:至少一个光刻区和包裹至少一个光刻区的非光刻区,光刻区和非光刻区中的一者透光、另一者不透光,光刻区上沿光刻区的长度方向交替划分有宽区和窄区,宽区和窄区...
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