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  • 本申请提供一种半导体材料的氧化处理方法及半导体结构;所述氧化处理方法包括:实施原位水汽生成工艺,所述原位水汽生成工艺通过向反应腔内输入反应气体,对所述半导体材料进行氧化处理;在所述原位水汽生成工艺过程中,使所述反应腔内的压力在第一压力P1和...
  • 一种半导体晶圆的制造方法包括提供基材晶圆。基材晶圆具有不为零的弯曲度并具有第一部位。第一部位具有相对的第一面与第二面。第一面为内凹的。制造方法包括对基材晶圆执行第一离子注入工艺,使得第一部位的第一面具有第一注入区域,且基材晶圆的弯曲度相较于...
  • 本发明公开了基于ICP‑氮离子注入的低损耗Si基GaN生长方法,包括:获取高阻Si衬底并清洗和烘干;对所得衬底表面采用电感耦合等离子体进行N离子注入以在该衬底表面形成一层预铺N形成的n型区;在表面依次制备氮化铝成核层、AlGaN缓冲层、Ga...
  • 本发明公开了一种图案化二维过渡金属硫族化合物薄膜及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:提供蓝宝石衬底;在蓝宝石衬底上制备图案化的镧系金属氧化物单分子钝化层;在镧系金属氧化物单分子钝化层上制备二维过渡金属硫族化合物薄膜,得到图案化二维过渡金...
  • 本发明公开了一种基于离子传输的纳流计算器及芯片,其包括纳流离子计算模块,所述纳流离子计算模块利用纳米孔道中的离子传输的行为与过程完成计算,由若干个纳流离子忆阻器组成。还包括输入模块,控制模块,纳流离子计算模块,显示模块构成。所述输入模块为阵...
  • 本发明公开了一种基于纳米限域结晶的纳流离子忆阻器,其包括纳米孔道和纳米孔道两侧的溶液池;所述纳米孔道两侧的溶液池,分别填充不同的电解质溶液;在纳米孔道两侧电压的控制下,所述纳米孔道两侧填充的电解质溶液中的离子分别由纳米孔道两侧向纳米孔道中聚...
  • 一种二维层状钙钛矿型忆阻器、制备方法及其应用,属于钙钛矿型忆阻器技术领域。通过低温溶液法制备高质量Cs22Pb(SCN)22I22薄膜,构建Al/Cs22Pb(SCN)22I22/FTO垂直结构忆阻器件,该器件具备优异的稳定性与载流子传输特...
  • 基于钴离子掺杂的铁基钙钛矿氧化物忆阻器及其制备方法,属于非易失性存储器技术领域。器件从上至下的结构为Al/La0.80.8Fe1‑x1‑xCoxxO33/FTO,其中FTO为底电极,Al为顶电极。本发明通过采用简便的溶胶凝胶法成功制备出致密...
  • 本发明提供一种相变存储器的相变材料层的蚀刻方法,属于半导体集成电路制造领域。本发明的蚀刻方法包括:积层体形成步骤,在半导体衬底上形成积层体,积层体包括从下至上依次形成的GST层,TiN层,SiN层,ARC层,以及PR层;光刻步骤,对PR层进...
  • 本申请提供了一种量子存储器件、制备方法及量子器件,涉及量子存储器件的技术领域。量子存储器件包括衬底、超导电路、至少两个支撑部、至少两个扩散区域和超导机械振子。至少两个支撑部分立设置在第一表面。至少两个扩散区域与支撑部一一对应设置。至少两个扩...
  • 本发明公开了一种芯片级电流传感器的封装方法,涉及传感器的技术领域,包括:S1、配备引线框架,将引线框架的第一面朝向上方,在引线框架的第一面贴装固定第一隔离片,第一隔离片连接于次边引脚和原边母排;S2、将晶圆芯片焊装于次边引脚,晶圆芯片平行于...
  • 本发明属于自旋电子器件技术领域,公开了一种自旋调控电子器件及其制备方法,所述电子器件包括绝缘衬底、磁性层、拓扑绝缘体、顶电极和离子源;绝缘衬底、磁性层、拓扑绝缘体和顶电极自下而上依次沉积设置;离子源放置在拓扑绝缘体上,离子源上放置有离子驱动...
  • 本申请涉及磁随机存储器技术领域,公开一种磁性隧道结和磁随机存储器。其中,磁性隧道结包括参考层、隧穿层和自由层。参考层的材料包括CrSe。隧穿层设置于参考层的一侧。自由层设置于隧穿层背离所述参考层的一侧。自由层的材料包括CrSe。本申请中,通...
  • 本发明涉及柔性压电材料技术领域,公开了一种MOF‑on‑MOF材料及其制备方法和应用、包含其的复合纤维膜和柔性压电传感器。所述MOFonMOF材料以改性后的第一MOF材料为核,以第二MOF材料为壳。所述MOFonMOF材料可作为复合纤维膜的...
  • 本发明提供一种微型注塑阵列式压电传感器及其信号处理与可视化方法,该微型注塑阵列式压电传感器主要是由顶部电极层、微针阵列压电片、底部电极层依次堆叠并被封装材料包覆,所述微针阵列压电片主要是由基片体及设置于基片体上的微针构成,所述微针呈现阵列式...
  • 本发明公开了一种压电声转换器的制备方法以及压电声转换器,方法包括以下步骤:形成一衬底;于衬底上沉积形成支撑单元;于支撑单元上沉积形成压电单元,图形化压电单元形成第一通孔、第二通孔以及第一缺口;于压电单元上沉积形成金属连接层;在压电单元上沉积...
  • 本申请提供一种热辐射单元和热辐射器件,涉及热辐射调控技术领域。所述热辐射单元包括:基底层、金属层、介质层以及结构层;所述基底层位于所述热辐射单元底部,并连接所述金属层的一面;所述金属层区别于连接所述基底层一面的另一面连接所述介质层的一面;所...
  • 本发明涉及一种提高智能传感节点温差发电单元发电效率的装置及方法。本发明提出的提高智能传感节点温差发电单元发电效率的装置,包括:集热板,用于接触热源并传导热量;温差发电模块,设置于所述集热板上方,其热端与所述集热板接触;散热结构,设置于所述温...
  • 本发明提供了一种压力与红外热电堆传感器的制备方法及其传感器,通过在SOI衬底的顶硅层的第二区内形成压敏电阻结构;在顶硅层的表面形成第一保护层;在压敏电阻结构的部分表面形成顶部延伸至第二区的外部区域第一电连接结构;在第一保护层的表面沉积第二保...
  • 本发明公开了一种蓝宝石热电制冷片及其制作方法,涉及半导体制冷领域,旨在解决目前的热电制冷片无法兼顾轻薄和产品强度的问题,制作方法包括:清洗导流片,并贴装在陶瓷片上,进行高温防氧化处理之后得到半成品陶瓷基板;将半导体粒子放置在下陶瓷基板导流片...
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