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  • 本发明涉及表面处理技术领域,尤其涉及一种等离子体增强管内壁表面改性处理装置及其方法。其主要针对现有内管壁表面改性技术中均匀性差、附着力不足、膜层质量不高、操作复杂等缺陷的问题,提出如下技术方案包括等离子体电源、传输系统、匹配箱、等离子体表面...
  • 本发明属于射频等离子、大口径镀膜用离子源ICP技术领域,具体涉及一种带角度调节功能的大口径射频离子源结构,包括真空侧组件和大气侧组件;射频源头外壳的侧面与旋转轴盘转动连接,旋转轴盘与联接盒座固定相连;穿过腰型孔的螺栓对旋转轴盘和射频源头外壳...
  • 本发明提供了一种等离子体刻蚀腔的清洁方法,涉及半导体制造技术领域,为解决相关技术采用的清洁方法,难以在腔室内部形成致密的氧化膜的问题而设计。该等离子体刻蚀腔的清洁方法包括:向刻蚀腔通入清洁气体,以去除腔室内部的反应副产物,并在腔室的内壁形成...
  • 本发明提供一种半导体加工设备,包括腔体、过滤组件、第一线圈、第二线圈、第一射频电源和第二射频电源,其中,过滤组件设置于腔体中,且将腔体内部分隔形成第一子腔和设置于第一子腔下方的第二子腔;过滤组件用于对流经的等离子体进行过滤,以使通过过滤组件...
  • 本发明提供一种多带电粒子射束描绘方法、多带电粒子射束描绘装置以及用于使计算机执行的程序产品,能够在高精度的描绘装置中不进行硬件的更换而描绘由低精度的描绘装置得到的精度的图案。本发明的一个方式的多带电粒子射束描绘方法,对试样的描绘区域设定使至...
  • 本发明提供一种电子束斑的自动对中方法,属于电子显微镜中电子束斑控制技术领域。通过电子束斑图像提取电子束斑前景;以电子束斑图像中1个像素对应的长度为单位长度,以目标参考中心为原点构建坐标系,并确定电子束斑前景质心坐标;计算电子束斑前景质心与原...
  • 本申请涉及一种电子探测器及透射电子显微镜成像系统。电子探测器包括转换元件、第一反射元件、第二反射元件以及光敏元件。转换元件用于接收电子束并将电子束转化为光线。第一反射元件用于接收并反射所述转换元件出射的光线。第二反射元件用于接收并反射所述第...
  • 本发明实施例公开一种扫描电镜载物台和扫描电镜,所述扫描电镜载物台包括:样品底座、至少一个夹持组件和基座,所述样品底座与所述基座升降连接,每个所述夹持组件用于夹持一个待测样本,每个所述夹持组件的底部与所述样品底座通过万向连接装置万向连接。本申...
  • 本申请公开了一种磁极保护组件及质量分析装置,涉及半导体离子注入技术领域,磁极保护组件包括外侧板、内侧板、顶板和底板,外侧板、内侧板、顶板和底板共同组成一个两端开口的曲线形腔体。外侧板由多块外单元板拼接形成,相邻外单元板之间设置外间隙板进行连...
  • 一种梯度钨‑钽合金靶层电子加速器X射线转换靶,属于辐射源领域,包括上框架和下框架,二者之间夹持功能梯度材料靶层,其由钨‑钽合金材料构成,通过多通道等离子喷涂工艺制备,沿厚度方向钨与钽的成分由9 : 1过渡至1 : 9,梯度层为5~25。钨基...
  • 本发明公开了一种超高空间分辨时间展宽分幅相机及分幅成像方法,解决了现有的时间展宽分幅相机中电子在渡越过程中存在空间电荷效应作用引起的空间弥散,从而导致系统空间分辨率降低的问题;本发明中利用光电子在漂移磁场中运动其自旋周期只与磁场强度有关,与...
  • 本发明公开了一种宽带速调管放大器注入结构,属于高功率微波技术领域。该注入结构包括同轴波导通道、四扇形波导通道、双扇形波导通道、矩形‑扇形过渡段和矩形输入波导。该结构将一路注入矩形波导中的TE0101模式信号分成四路扇形波导中的TE0101模...
  • 本发明涉及一种跌落式熔断器用熔丝结构,包括上端连接柱、下端连接套筒、铜绞线、辅助灭弧管,该熔丝结构还包括:可卸式端帽、熔体单元、挤压绞线段,可卸式端帽与上端连接柱的顶部可拆卸连接,上端连接柱的底部通过熔体单元连接到下端连接套筒,熔体单元由螺...
  • 本发明公开了一种电动操作跌落式熔断器及控制方法,涉及供电或配电的电路装置领域,其中,该电动操作跌落式熔断器包括:防护绝缘子、智能控制模块、跌落组件、驱动机构及传动机构,防护绝缘子为纵向贯穿的凹槽结构,顶部设封闭上盖,两侧向下延伸形成侧壁,与...
  • 本发明公开了一种数控电路断路器及其断路方法,涉及断路器技术领域。包括绝缘防护壳,所述绝缘防护壳的内部设置有控制臂、限位环,所述控制臂的其中一端设置有第一延伸抵块,所述控制臂的另一端设置有,所述控制臂的中部设置有卡块,所述第一延伸抵块的外壁固...
  • 本发明提供了一种具有电动操作功能的智能断路器,所述具有电动操作功能的智能断路器包括断路器本体和电动操作装置,所述电动操作装置包括外壳体、设置在所述外壳体一侧的盖板、开关手柄、用以驱动所述开关手柄开关的驱动块,所述断路器本体包括中盖体、设置在...
  • 本申请公开一种电的开关装置,其包括,电磁系统、至少一相主线路导体、触发开关,具有状态一以及状态二;触发开关处于状态一时和处于状态二时,其中一个线圈的电流方向正好相反;触发开关处于状态一时,电磁系统为吸合动作,线圈一与线圈二通电使衔铁与磁轭产...
  • 本发明涉及断路器技术领域,具体为一种液压电磁式智能断路器,包括外壳,外壳的一端安装有端盖,外壳的另一端安装有信号端子,外壳的内部设置有电路板,外壳的内部安装有开合闸组件,开合闸组件包括蜗杆,蜗杆的一侧设置有蜗轮,蜗轮的一侧通过齿轮传动组件连...
  • 本申请提供了一种固态断路器及固态断路器控制方法,其中,磁保持继电器模块与功率开关模块串联,磁保持继电器模块与控制模块电连接,并与机械手柄模块机械连接,位置开关模块与机械手柄模块机械连接,并与控制模块电连接,控制模块与功率开关模块电连接,并连...
  • 本发明公开一种大电流断路器接口结构,包括:动触头组件,所述动触头组件为环形结构,底端设置有第一定位部和第二定位部;所述第一定位部和第二定位部分别设置在不同的高度位置上;接头,所述接头的顶端与所述动触头组件的底端连接;所述接头的顶端设置有与所...
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