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最新专利技术
  • 一种晶圆级封装结构及制作方法
    一种晶圆级封装结构及制作方法_日月新先进技术研究(昆山)有限公司_202511150338.X
    本发明公开了一种晶圆级封装结构及制作方法，包括步骤一：晶圆来料：准备待加工晶圆；步骤二：单面涂布工艺：在所述晶圆上方涂布光阻层，形成光阻层一；步骤三：半色调掩膜光刻工艺：使用光罩对在光阻层一进行曝光，所述光罩包括A区、B区和C区；所述B区的...
    2026-01-28
  • 基板处理方法和基板处理装置
    基板处理方法和基板处理装置_东京毅力科创株式会社_202510687066.0
    本公开提供一种基板处理方法和基板处理装置。在基板处理方法的工序(A)中，提供具有第一面和第二面的基板。在工序(B)中，形成介电膜。在工序(C)中，在介电膜上形成包含一种以上的金属元素且不包含结晶质膜的金属氧化膜的第一硬掩模。在工序(F)中，...
    2026-01-28
  • 形成开口的方法
    形成开口的方法_力晶积成电子制造股份有限公司_202410793006.2
    本发明公开一种形成开口的方法。形成开口的方法包括以下步骤：提供基底，基底上已形成有接垫；在基底上依序形成第一缓冲层与第一钝化层；对第一缓冲层与第一钝化层进行蚀刻制作工艺，以形成第一开口并暴露出部分接垫；将填充材料沉积在第一钝化层上及第一开口...
    2026-01-28
  • 一种半导体结构的制作方法、半导体结构及图像传感器
    一种半导体结构的制作方法、半导体结构及图像传感器_合肥晶合集成电路股份有限公司_202511574687.4
    本发明公开了一种半导体结构的制作方法、半导体结构及图像传感器，属于半导体技术领域，所述半导体结构的制作方法包括以下步骤：提供一衬底；并蚀刻所述衬底，在所述衬底上形成多个凹部，且相邻所述凹部之间的衬底形成凸部；在所述凸部侧壁上形成阻挡层；同步...
    2026-01-28
  • SOI晶圆结构的制备方法及SOI晶圆结构
    SOI晶圆结构的制备方法及SOI晶圆结构_广州增芯科技有限公司_202511340090.3
    本发明提供了一种SOI晶圆结构的制备方法及SOI晶圆结构，该方法通过在第一晶圆的第一衬底表面依次堆叠形成第一SiGe层、多孔硅层、第二SiGe层和顶硅层，其中，多孔硅层由单晶硅层通过多孔化工艺得到，并在第二晶圆的表面形成氧化层后将氧化层键合...
    2026-01-28
  • SOI晶圆结构的制备方法及SOI晶圆结构
    SOI晶圆结构的制备方法及SOI晶圆结构_广州增芯科技有限公司_202511340075.9
    本发明提供了一种SOI晶圆结构的制备方法及SOI晶圆结构，该方法通过在第一晶圆的表面依次形成SiGe层和单晶硅层，并在第二晶圆的表面形成氧化层后将氧化层键合至单晶硅层上，然后将SiGe层及第一晶圆剥离去除，从而将第一晶圆上的单晶硅层转移到第...
    2026-01-28
  • 一种基于SOI衬底的深槽介质隔离结及其制造方法
    一种基于SOI衬底的深槽介质隔离结及其制造方法_西安微电子技术研究所_202511210769.0
    本发明公开了一种基于SOI衬底的深槽介质隔离结构及其制造方法，属于半导体集成电路制造领域，所述方法包括以下步骤：S1，在SOI衬底上依次生长缓冲氧化层和第一层硬掩膜LPSiN；S2，在所述第一层硬掩膜LPSiN上生长第二层硬掩膜PETEOS...
    2026-01-28
  • 沟槽及其制作方法
    沟槽及其制作方法_杭州富芯半导体有限公司_202511195553.1
    本发明提供一种沟槽及其制作方法，所述方法包括：提供衬底，在衬底上形成掩膜层；对掩膜层进行刻蚀形成图形化的掩膜层，图形化的掩膜层暴露部分衬底；去除暴露出的衬底上的自然形成的氧化层，同时在图形化的掩膜层的侧壁形成聚合物层；以图形化的掩膜层与聚合...
    2026-01-28
  • 一种晶圆多料盘同步夹持搬运机构
    一种晶圆多料盘同步夹持搬运机构_捷螺智能设备(苏州)有限公司_202511631574.3
    本发明公开了一种晶圆多料盘同步夹持搬运机构，包括：横梁，其底部开设有呈T型的导向槽；滑动单元，其配置有多组并滑动设置于所述导向槽中，每组所述滑动单元包括两个呈T型的滑块，且两个所述滑块之间通过一个线性驱动器连接；快速连接机构，其包括基座、伸...
    2026-01-28
  • 一种电子元器件生产用封装装置
    一种电子元器件生产用封装装置_江苏瑞博光电科技有限公司_202511352642.2
    本发明公开了一种电子元器件生产用封装装置，属于电子元器件技术封装领域，该种电子元器件生产用封装装置，包括推板上料组件，所述推板上料组件一侧固定连接有送料组件，所述送料组件顶端安装有分料组件，所述分料组件一侧与推板上料组件固定连接，所述送料组...
    2026-01-28
  • 一种用于晶圆或芯片的卡盘组件及晶圆测试设备
    一种用于晶圆或芯片的卡盘组件及晶圆测试设备_苏州联讯仪器股份有限公司_202511259582.X
    本发明提供了一种用于晶圆或芯片的卡盘组件及晶圆测试设备，涉及晶圆测试技术领域。本发明中卡盘的第一调平组件与转接板和控温组件连接，第一调平组件与控温组件的中间区域对应布置。第二调平组件与转接板连接，且与控温组件的外缘区域对应布置，在卡盘处于目...
    2026-01-28
  • 一种晶圆升降装置及其晶圆加工设备
    一种晶圆升降装置及其晶圆加工设备_上海广川科技有限公司_202511255906.2
    本发明提供了一种晶圆升降装置及其晶圆加工设备，其中该装置包括：升降单元、承载单元、封接组件，封接组件包括：套筒、引导模块、动轴模组，动轴模组包括：动轴件、转接件、波纹管、法兰件，波纹管两端分别与动轴件、法兰件连接，动轴件的底座经转接件与升降...
    2026-01-28
  • 半导体剥离装置及半导体剥离方法
    半导体剥离装置及半导体剥离方法_上海超硅半导体股份有限公司_202511251279.5
    本发明涉及一种半导体剥离装置及半导体剥离方法。所述半导体剥离装置包括：承载结构，用于承载待剥离的晶圆，所述晶圆包括离子注入层以及位于所述离子注入层相对两侧的第一硅层和第二硅层；手抓组件，沿第一水平方向位于所述承载结构的外部，所述手抓组件包括...
    2026-01-28
  • 低重心高精度平台
    低重心高精度平台_苏州德龙激光股份有限公司_202511226321.8
    本发明涉及一种低重心高精度平台，包括基座，基座的侧边连接有直线导轨，基座的外侧上连接有与直线导轨平行设置的直线电机磁钢，直线导轨之间通过滑块滑动连接有滑板，滑板的端部连接有在直线电机磁钢内滑动的动子，直线电机磁钢的端部连接有吹气组件，基座上...
    2026-01-28
  • 一种基座缓冲结构及晶圆加工设备
    一种基座缓冲结构及晶圆加工设备_拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司_202511220070.2
    本申请涉及一种基座缓冲结构及晶圆加工设备，该基座缓冲结构包括：可移动组件、固定件以及缓冲件；所述可移动组件与所述基座的底部连接，用于带动所述基座上下移动；所述固定件用于固定所述缓冲件，所述缓冲件用于当所述基座向上移动时提供向上的缓冲力。从而...
    2026-01-28
  • 托盘治具
    托盘治具_京东方华灿光电(浙江)有限公司_202510985484.8
    本公开提供了一种托盘治具，属于半导体设备领域。所述托盘治具包括：托盘主体、多个立柱和多个限位柱；所述托盘主体的一面具有多个晶圆槽；每个所述晶圆槽内间隔设置有多个所述立柱，每个所述晶圆槽的边缘间隔设置有多个所述限位柱，所述限位柱的高度大于所述...
    2026-01-28
  • 升降机构、基板处理装置以及升降方法
    升降机构、基板处理装置以及升降方法_东京毅力科创株式会社_202510665424.8
    本发明涉及升降机构、基板处理装置以及升降方法，提供一种能够降低装置的高度的技术。本公开的一个技术方案的升降机构使将多张基板保持为搁板状的基板保持件升降，其中，该升降机构具有：支承部，其支承所述基板保持件；升降部，其与所述支承部连接，使所述支...
    2026-01-28
  • 升降机构、基板处理装置以及升降方法
    升降机构、基板处理装置以及升降方法_东京毅力科创株式会社_202510665423.3
    本发明涉及升降机构、基板处理装置以及升降方法，提供一种能够降低装置的高度的技术。本公开的一个技术方案的升降机构使将多张基板保持为搁板状的基板保持件升降，其中，该升降机构具有：支承部，其支承所述基板保持件；第1升降部，其与所述支承部连接，使所...
    2026-01-28
  • 一种晶圆吸附装置
    一种晶圆吸附装置_昂坤视觉(北京)科技有限公司_202511379275.5
    本发明提供一种晶圆吸附装置，涉及晶圆加工领域，晶圆吸附装置包括装置主体、设于装置主体上的吸附机构及设于装置主体上且连通吸附机构的管道机构；吸附机构包括基体及设于基体下方的背板组件，基体靠近背板组件的一侧、且由基体的中心向外间距设有多个同心腔...
    2026-01-28
  • 一种晶圆支撑平台及其晶圆吸附方法
    一种晶圆支撑平台及其晶圆吸附方法_广东华矽半导体设备有限公司_202511226213.0
    本发明涉及一种晶圆支撑平台及其晶圆吸附方法，其中，晶圆支撑平台包括展平机构和用于对晶圆提供支撑的真空吸附台，所述真空吸附台通过真空泵提供真空吸附力；所述展平机构用于对所述真空吸附台上的晶圆进行展平处理。本发明通过在真空吸附台上增设展平机构，...
    2026-01-28
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