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电镀设备及其工作方法
本发明属于半导体加工技术领域,具体涉及电镀设备及其工作方法,该电镀设备包括晶圆夹具、翻转装置和搬运装置,翻转装置用于在预定工位对晶圆夹具进行姿态切换,使晶圆夹具在水平姿态和垂直姿态之间切换;搬运装置在晶圆夹具完成姿态切换后对其进行夹持,并在...
一种表面局部电镀金设备及其工艺
本发明涉及电镀技术领域,且公开了一种表面局部电镀金设备,包括:电解池,横向设置;第一安装框、第二安装框,均固定安装在电解池的外部,第一安装框位于第二安装框的上方位置;其中,第二安装框的顶面固定安装有位于电解池正前方的电池,电池的电极电性连接...
玻璃基板电镀夹具
本发明提供一种玻璃基板电镀夹具,包括夹具基座、第一金属夹持件与第二金属夹持件。该第一金属夹持件为金属材料制成,且该第一金属夹持件的其中一侧面为凹凸连续交错排列的一第一凹凸状平面,其中第偶数个位置的凸状表面为内嵌着具有弹性材质的一第一软性接触...
一种旋转式晶圆电镀夹具
本发明涉及晶圆电镀夹具技术领域,具体涉及一种旋转式晶圆电镀夹具,包括夹具本体,所述夹具本体上设有放置晶圆的安装槽;旋转安装组件,包括设于所述安装槽外围并与所述夹具本体固定连接的若干安装钮,以及罩设于所述安装槽并与所述安装钮旋转卡合的压板;填...
一种用于平板工件电镀的阴极接触夹具及其使用方法
本发明公开了一种用于平板工件电镀的阴极接触夹具,属于电化学电镀装备技术领域,包括:绝缘框架主体上表面设有环形的台阶状安装槽;四边导电系统嵌入并固定于绝缘框架主体的台阶状安装槽底部,环绕绝缘框架主体的四边设置;绝缘挡条通过绝缘固定螺丝可旋转地...
一种电镀挂具回传装置及方法
本发明公开了一种电镀挂具回传装置及方法,属于电镀自动化技术领域,该方法周期采集挂具队列的位移、速度及驱动电机电流数据,计算空载/满载循环效率比、定位能耗离散度与队列同步延迟系数,据此评估系统综合健康指数并生成电流与时间扰动权重因子。基于权重...
基于电导率监测数据的电镀液添加剂自动补给控制方法
本发明涉及电化学加工技术领域,具体涉及基于电导率监测数据的电镀液添加剂自动补给控制方法。该方法包括:获取电镀液的温度和原始电导率以及碳酸根浓度,基于原始电导率和温度的变化趋势确定活化能系数,对原始电导率进行动态热力学解耦处理,生成电镀液的净...
用于电镀装置的金属离子供给系统以及向电镀装置供给金属离子的方法
本发明提供一种金属离子供给系统,可抑制镀覆液循环室内镀覆液稀释。其用于电镀装置,具备:阳极室、设置在阳极室内的阳极、阴极室、设置在阴极室内的阴极、配置在阳极室与阴极室之间的镀覆液循环室、配置在阳极室与镀覆液循环室之间的第1隔膜及配置在阴极室...
一种激光诱导-电解协同的硬质合金表面绿色高效脱钴方法
本发明公开了一种激光诱导‑电解协同的硬质合金表面绿色高效脱钴方法,属于硬质合金表面处理技术领域。该脱钴方法包括:采用纳秒紫外激光对抛光后的硬质合金表面进行扫描处理,激光扫描速度为50~400 mm/s,重复频率为300~500 kHz;采用...
一种用于铝合金微观组织高效表征的电解抛光液及其应用
本发明涉及电解抛光技术领域,具体公开一种用于铝合金微观组织高效表征的电解抛光液及其应用,所述电解抛光液包括氟硼酸和水。本发明还提供一种电解抛光方法,包括如下步骤:将预处理的铝合金加入所述电解抛光液中,于60~80V下进行电解抛光。本发明优化...
一种含铜钢EBSD分析用电解抛光液及EBSD分析用样品制备方法
本申请提供一种含铜钢EBSD分析用电解抛光液及EBSD分析用样品制备方法,其中电解抛光液通过以高氯酸‑乙醇‑磷酸为基体,引入苯并三氮唑、过氧化氢和钼酸盐,在进行电解抛光时能够有效平衡铁与铜的溶解速率,从根本上解决了含铜钢电解抛光时易产生富铜...
因瓦合金基材的电抛光方法
本申请提供一种因瓦合金基材的电抛光方法,适配氯化铁减薄后因瓦合金基材表面特性的专用电抛光方法。该方法包括将待处理因瓦合金基材作为阳极,将纯铅板作为阴极,阳极和阴极同时浸入到容纳有电解液的电解槽中,以对待处理因瓦合金基材进行电抛光。其中,电解...
用于电解蚀刻铜的蚀刻设备
本发明涉及蚀刻设备技术领域,具体涉及一种用于电解蚀刻铜的蚀刻设备,包括混合箱、蚀刻箱、第一连接管、过渡管和第二连接管。蚀刻箱与第一连接管的一端连通,过渡管连接第一连接管的另一端和第二连接管的一端,第二连接管的另一端与混合箱连通。本发明的用于...
可变半径电极及脉动态电化学抛光内通道方法
本发明提出一种可变半径电极及脉动态电化学抛光内通道方法,属于电化学加工领域。所述可变半径电极由介电材料弹性驱动体、柔性绝缘铰链和阴极块组成;其中,弹性驱动体为由两层介电材料和中间的刚性加强纤维板材卷曲形成的圆柱体,施加脉冲电压时,弹性驱动体...
电化学抛光处理系统、电化学抛光方法
本申请公开了一种用于金属掩膜版的电化学抛光处理系统、电化学抛光方法,采用卷对卷连续生产方式。该方法将待抛光FMM卷材从放卷单元输出,使其部分区段浸入电解液;通过放卷与收卷单元的协同控制,在传输路径上建立并维持精确的预设张力;采用一可旋转的阳...
一种高速CO2流场协同矿化固废制备文石晶须的方法及产品
本发明公开了一种高速CO2流场协同矿化固废制备文石晶须的方法及产品,属于固废资源化与无机功能材料制备技术领域。该方法以含Ca2+、Mg2+的工业固废为原料,经浸出后升温至≥60℃,并加入晶型调节剂与分散剂,利用高速CO2气流对溶液进行吹动矿...
一种基于高温高压条件制备高质量六方氮化硼单晶的方法
本发明提供一种基于高温高压条件制备高质量六方氮化硼单晶的方法,其包括以下步骤:使锶基前驱体和六方氮化硼粉末经受加热加压处理,以制得六方氮化硼单晶。在经济成本方面,氮化锶拥有较低的成本(30RMB/g),仅为氮化钡体系的1/10。因此,Sr‑...
一种大尺寸、半绝缘磷化铟单晶的生长方法
本发明属于晶体生长技术领域,提供了一种大尺寸、半绝缘磷化铟单晶的生长方法。本发明提供的磷化铟单晶的VGF生长方法,先通过优化热场结构,设置6个温区并控制各个温区的温度;然后进行装料和掺杂,其中掺杂剂分别放置磷化铟多晶柱的轴向的至少三个分区中...
一种用于硅化铈合成与分离的装置和方法
本发明公开了一种用于硅化铈合成与分离的装置和方法,属于晶体生长技术领域。本发明提供的用于硅化铈合成与分离的装置包括:坩埚主体,其内腔为横截面尺寸自上而下逐渐减小的圆台形空腔;顶出杆,设置在所述坩埚主体的内腔底部;底座,其用于承载所述坩埚主体...
一种钛酸锶单晶体生长装置
本发明属于晶体生长技术领域,尤其是涉及一种钛酸锶单晶体生长装置,包括外壳,所述外壳的侧壁固定连接有控制器,所述外壳的上侧壁固定连接有星型卸料器,所述星型卸料器的进料口连通有存放箱,所述星型卸料器的出料端位于外壳内。本发明在制备钛酸锶单晶体前...
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