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最新专利技术
  • 喷淋头用调温装置及包括其的工艺腔室和半导体加工设备
    喷淋头用调温装置及包括其的工艺腔室和半导体加工设备_盛吉盛(韩国)半导体科技有限公司_202411349377.8
    本发明涉及一种喷淋头用调温装置及包括其的工艺腔室和半导体加工设备，其结构简单且容易控制，而且能够提高在基板上形成的薄膜的均匀度，其中，所述喷淋头用调温装置包括多个调温单元，所述多个调温单元能够可拆卸地配置于喷淋头的上部，以分别调节所述喷淋头...
    2026-05-08
  • 半导体零部件及其制造方法
    半导体零部件及其制造方法_中微半导体设备(上海)股份有限公司_202411367021.7
    本发明公开了一种半导体零部件及其制造方法。所述方法包括：提供零部件本体，其包括待处理面，所述待处理面与等离子体环境接触；在所述待处理面上形成第一耐腐蚀涂层；打孔处理，形成贯穿第一耐腐蚀涂层和零部件本体的通孔；在所述通孔内壁和第一耐腐蚀涂层的...
    2026-05-08
  • 立式炉及其操作方法
    立式炉及其操作方法_ASMIP私人控股有限公司_202511362796.X
    公开了一种用于操作具有反应室的立式炉的方法，用于在多个晶片上沉积氮化钼层，该方法包括：用于沉积氮化钼(MoN)层的MoN沉积运行；和用于清洁反应室的清洁运行。MoN沉积运行包括：在晶片舟皿中提供多个晶片，并且在基本竖直方向上将晶片舟皿装载到...
    2026-05-08
  • 一种集成式CVD上腔体结构
    一种集成式CVD上腔体结构_大连皓宇电子科技有限公司_202511957353.5
    本发明公开了一种集成式CVD上腔体结构，包括：混气罐，用于混合与输送工艺气体；清洁气体输送结构，用于输送清洁气体；电磁能源，用于激励所述工艺气体形成等离子体，所述电磁能源包括射频电源分配器，所述射频电源分配器上设有可容纳部分所述清洁气体输送...
    2026-05-08
  • 防污染角阀、角阀改造方法及沉积设备
    防污染角阀、角阀改造方法及沉积设备_江苏微导纳米科技股份有限公司_202511983364.0
    本发明属于半导体制造技术领域，公开了一种防污染角阀、角阀改造方法及沉积设备。该防污染角阀包括阀体和阀芯组件。阀体具有第一连接口、第二连接口以及阀腔，第一工质能在第一连接口、第二连接口和阀腔之间流动，第二连接口用于连接工艺腔体，且第二连接口和...
    2026-05-08
  • 一种原子层沉积系统及方法
    一种原子层沉积系统及方法_季华实验室_202610247300.2
    本申请涉及原子层沉积技术领域，具体提供了一种原子层沉积系统及方法，系统包括：反应腔室；载台；升降驱动机构；工艺气体供给组件，与工艺气体进气口连接；惰性气体供给组件，通过进气管路与透气口连接，进气管路上设有加热单元和流量调节单元；控制器，用于...
    2026-05-08
  • 一种球面超薄碳碳筛网坯体的气相沉积致密化结构
    一种球面超薄碳碳筛网坯体的气相沉积致密化结构_西安航天复合材料研究所_202511880059.9
    本发明公开了一种球面超薄碳碳筛网坯体的气相沉积致密化结构，属于发动机设计技术领域。该气相沉积致密化结构包括阳模及阴模。通过阳模上表面三处凸台将超薄碳碳筛网坯体固定住，通过阳模与阴模的夹持使超薄碳碳复合材料在CVD沉积过程中不发生高温热变形，...
    2026-05-08
  • 一种薄壁大长径比复材管件CVI工艺的支撑工装及方法
    一种薄壁大长径比复材管件CVI工艺的支撑工装及方法_国投陶瓷基复合材料研究院(西安)有限公司_202511944740.5
    本发明公开了一种薄壁大长径比复材管件CVI工艺的支撑工装及方法，属于陶瓷基复合材料管件制备技术领域，解决了现有技术中对复材管件进行气相沉积时采用全模或半模约束工装抑制了反应气体向预制体内部扩散与传输，导致管件沉积速率过的问题；该支撑工装包括...
    2026-05-08
  • 舟页、石墨舟、石墨舟组合及镀膜方法
    舟页、石墨舟、石墨舟组合及镀膜方法_拉普拉斯新能源科技股份有限公司_202512044222.4
    本申请公开一种舟页、石墨舟、石墨舟组合及镀膜方法，舟页用于石墨舟中承载片材，舟页包括第一舟体以及与第一舟体绝缘连接的绝缘体；第一舟体设有第一凹槽，第一凹槽沿开口方向形成对外开放的第一收容空间，第一收容空间中的放置区用于放置片材；绝缘体至少部...
    2026-05-08
  • 托盘组件及半导体镀膜设备
    托盘组件及半导体镀膜设备_深圳市纳设智能装备股份有限公司_202512047303.X
    本发明公开了一种托盘组件及半导体镀膜设备，托盘组件包括：第一盘；第二盘，抵接于所述第一盘；驱动装置，连接于所述第一盘，所述驱动装置用于驱动所述第一盘升降，以使所述第一盘在第一状态和第二状态之间切换，当所述第一盘处于所述第一状态，所述第一盘抵...
    2026-05-08
  • 一种用于SiC衬底PECVD工艺的冷却方法及冷却腔结构
    一种用于SiC衬底PECVD工艺的冷却方法及冷却腔结构_西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)_202511820179.X
    本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种用于SiC衬底PECVD工艺的冷却方法及冷却腔结构，该方法针对SiC衬底高导热、热应力敏感、表面碳残留影响热传导均匀性的特性，基于适配的冷却腔结构，通过工艺准备、晶圆精准转移放置、阶梯式双回路动态控温...
    2026-05-08
  • 基于脉冲等离子体的集成电路高深宽比填充方法
    基于脉冲等离子体的集成电路高深宽比填充方法_至信恒睿(北京)供应链管理有限公司_202511947615.X
    本发明涉及集成电路制造技术领域，具体涉及基于脉冲等离子体的集成电路高深宽比填充方法，通过调用标准脉冲等离子体沉积参数模板设置初始参数，并实时采集反应物气体分压信号来构建分压曲线和计算消耗量，随后，基于消耗量与预设范围的对比判断当前填充参数是...
    2026-05-08
  • 用于CVD镀膜工艺的连续镀膜系统及方法
    用于CVD镀膜工艺的连续镀膜系统及方法_江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司_202511902363.9
    一种用于CVD镀膜工艺的连续镀膜系统及方法，其中，连续镀膜系统包括：第一缓冲仓，用于接收待镀膜的器件；预处理仓，设置于第一缓冲仓的下游，用于对器件进行预处理；工艺仓，用于对器件进行镀膜，工艺仓设置于预处理仓的下游；响应于器件进入第一缓冲仓，...
    2026-05-08
  • 一种单分散聚合物/金属复合微球及其制备方法
    一种单分散聚合物/金属复合微球及其制备方法_北京启航兴华科技有限公司_202512061294.X
    本发明提供了一种单分散聚合物/金属复合微球的制备方法，包括以下步骤：A)在冰浴条件下，将多巯基单体与其他单体在液相介质中进行反应，得到表面含巯基的微球；B)将所述表面含巯基的微球置于化学镀液中，进行反应，得到聚合物/金属复合微球。本发明提供...
    2026-05-08
  • 一种用于干式真空泵的复合涂层及其制备方法
    一种用于干式真空泵的复合涂层及其制备方法_北京通嘉宏瑞科技有限公司_202511920870.5
    本公开提出一种用于干式真空泵的复合涂层及其制备方法，属于真空泵技术领域。复合涂层包括依次层叠设置于干式真空泵定子和/或转子表面的磷化处理层、化学镀镍层和喷涂层；其中，磷化处理层包括：15%~25%的磷酸二氢锌、5%~10%的硝酸锌、2%~5...
    2026-05-08
  • 一种高结合力铝基表面化学镀铜的方法及铝镀铜制品
    一种高结合力铝基表面化学镀铜的方法及铝镀铜制品_湖北倬成新材料科技有限公司_202511762811.X
    本发明涉及一种高结合力铝基表面化学镀铜的方法，包括如下步骤：步骤S1. 对铝基材依次进行脱脂、活化刻蚀及预浸处理；步骤S2.对预浸处理后的铝基材进行催化处理；步骤S3.对催化后的铝基材进行化学镀铜；步骤S4.将化学镀铜后的铝基材进行清洗、烘...
    2026-05-08
  • 一种金属制品表面钝化处理设备及其工艺方法
    一种金属制品表面钝化处理设备及其工艺方法_常熟志鹏机械有限公司_202511805694.0
    本发明提供一种金属制品表面钝化处理设备及其工艺方法，涉及一种金属制品钝化处理槽技术领域，包括钝化槽和调节机构，所述钝化槽的一侧设有调节机构，所述调节机构包括支撑板，所述支撑板与钝化槽一侧固定连接，所述支撑板的一侧固定连接有气缸，所述气缸的输...
    2026-05-08
  • 无铬耐高温处理液、热镀铝锌环保涂层板及其制备方法
    无铬耐高温处理液、热镀铝锌环保涂层板及其制备方法_攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司_202511976168.0
    本发明公开了一种无铬耐高温处理液、热镀铝锌环保涂层板及其制备方法，属于热镀铝锌板技术领域。所述处理液包含缓蚀剂、硅烷、含磷酸根物质、无机酸及表面活性剂，通过特定顺序分步制备。将其辊涂于热镀铝锌板表面，经80~150℃固化，可形成0.6~1....
    2026-05-08
  • 一种耐腐蚀螺栓及其制备方法
    一种耐腐蚀螺栓及其制备方法_沙河市祥合标准件制造有限公司_202512051844.X
    本发明涉及紧固件技术领域，提出了一种耐腐蚀螺栓及其制备方法。耐腐蚀螺栓的制备方法，包括以下步骤：S1、将各组分原料配料后进行熔炼，浇铸成型，得到铸态毛坯；S2、铸态毛坯经热处理后，依次进行冷镦成型、滚丝处理，得到螺栓本体；S3、螺栓本体经热...
    2026-05-08
  • 一种环保型不锈钢皮膜剂及其制备方法与应用
    一种环保型不锈钢皮膜剂及其制备方法与应用_颖兴新材料(广东)有限公司_202610015624.3
    本发明公开了一种环保型不锈钢皮膜剂及其制备方法与应用，属于不锈钢皮膜剂技术领域；本发明的环保型不锈钢皮膜剂按重量份包括：二元酸3‑10份、多元酸0.3‑5份、聚合物酸0.5‑1.5份、活化剂0.1‑2份、氧化剂0.5‑1份、pH调整剂0.5...
    2026-05-08
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