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最新专利技术
  • 一种超薄压力传感器的制作与分离工艺方法
    一种超薄压力传感器的制作与分离工艺方法_上海工程技术大学_202510026077.4
    本发明涉及微机电系统技术领域，具体为压力传感器的制作与分离工艺方法。本发明采用镂空结构设计，通过精确控制的深沟槽刻蚀和外延层填充，实现高灵敏度和低成本生产。该方法包括提供掺杂砷的硅衬底、干法刻蚀形成深沟槽、填充掺杂红磷的外延层、形成惠斯通电...
    2026-02-20
  • 一种图案化二氧化钛基微纳结构的平面摩擦打印制造方法
    一种图案化二氧化钛基微纳结构的平面摩擦打印制造方法_烟台先进材料与绿色制造山东省实验室_202510114292.X
    本发明提供了一种图案化二氧化钛基微纳结构的平面摩擦打印制造方法，属于微纳制造技术领域。本发明将改性纳米颗粒分散液置于制造端头与平面基体的接触界面处，控制制造端头进行往复滑动摩擦，在平面基体表面获得图案化二氧化钛基微纳结构；所述制造端头与平面...
    2026-02-20
  • 一种磁性材料图案化微纳结构的增材制造方法
    一种磁性材料图案化微纳结构的增材制造方法_烟台先进材料与绿色制造山东省实验室_202510118055.0
    本发明提供了一种磁性材料图案化微纳结构的增材制造方法，属于微纳制造技术领域。本发明以含有磁性纳米颗粒的油基分散液作为油墨材料，在机械力(压力和剪切力)与外部磁场的耦合作用下，磁性纳米颗粒在制造端头和平面基体相对运动的剪切界面处聚集，通过局部...
    2026-02-20
  • 铌酸锂/钽酸锂单晶空腔结构的键合封装方法及其应用
    铌酸锂/钽酸锂单晶空腔结构的键合封装方法及其应用_甬江实验室_202511189151.0
    本申请公开了一种铌酸锂/钽酸锂单晶空腔结构的键合封装方法及其应用，属于半导体键合封装技术领域。该方法包括：提供空腔结构层，空腔结构层一侧的表面开设有至少一个凹腔；提供载片，以及在载片一侧的表面制备键合胶层；所述空腔结构层与所述载片中的一者材...
    2026-02-20
  • 一种MEMS器件制备方法及MEMS器件
    一种MEMS器件制备方法及MEMS器件_中芯集成电路(宁波)有限公司_202511274467.X
    本发明提供了一种MEMS器件制备方法及MEMS器件，MEMS器件制备方法包括：提供MEMS组件，MEMS组件包括第一晶圆以及位于第一晶圆上的第一金属键合层；在第一晶圆的靠近第一金属键合层的表面形成防粘结层；采用光照方式去除第一金属键合层表面...
    2026-02-20
  • 一种微热板结构背腔的刻蚀方法
    一种微热板结构背腔的刻蚀方法_山东产研微纳与智能制造研究院有限公司_202511391436.2
    本发明属于半导体制造领域，提供了一种微热板结构背腔的刻蚀方法，包括：取负载有支撑薄膜的晶圆，在所述支撑薄膜正面负载一层光刻胶，得到负载支撑薄膜‑光刻胶的晶圆；将所述负载支撑薄膜‑光刻胶的晶圆的背腔进行刻蚀，使晶圆剩余厚度为30μm‑50μm...
    2026-02-20
  • 一种用于PI上金属剥离的方法
    一种用于PI上金属剥离的方法_山东产研微纳与智能制造研究院有限公司_202511391443.2
    本发明属于MEMS制造领域，提供了一种用于PI上金属剥离的方法。本发明在进行PI旋涂固化之后，使用溅射沉积一层薄薄的铝金属(＜5nm)，光刻显影过程中，适当增加显影时间，以保证曝光区域的铝被碱性显影液腐蚀干净，或者使用铝腐蚀液进行腐蚀。本发...
    2026-02-20
  • 一种堆叠有高深宽比微结构的晶圆键合方法
    一种堆叠有高深宽比微结构的晶圆键合方法_上海新微技术研发中心有限公司_202511469422.8
    本发明提供了一种堆叠有高深宽比微结构的晶圆键合方法，提供第一晶圆以及第二晶圆，所述第一晶圆或第二晶圆表面堆叠有高深宽比微结构，所述第一晶圆、第二晶圆键合前进行清洗及干燥处理，清洗及干燥处理包括：在常温下进行预清洗；对预清洗后的所述第一晶圆、...
    2026-02-20
  • 一种氢化锂储氢材料及其合成工艺
    一种氢化锂储氢材料及其合成工艺_兰州峻英新材料有限公司_202511759994.X
    本发明涉及氢化锂制备工艺技术领域，特别是涉及一种氢化锂储氢材料及其合成工艺，将高纯度金属锂切割清洗后在惰性气氛下烘干，将得到的高纯度金属锂颗粒放入蒸发装置中，惰性气氛下梯度加热得到锂蒸汽；向反应釜中加入活化后的催化剂，将锂蒸汽冷却后得到液态...
    2026-02-20
  • 一种基于微反应合成技术制备高纯高氯酸的方法
    一种基于微反应合成技术制备高纯高氯酸的方法_烟台远东精细化工有限公司_202511366555.2
    本发明提出的一种基于微反应合成技术制备高纯高氯酸的方法，具体步骤为：将氯酸加入到含有95%以上的CO2溶液中，使其还原为二氧反高氯酸；将Cl2O2加水调制成10‑20%的溶液，用1 : 1盐酸调控溶液的PH值为1‑2；将上述溶液和30%的过...
    2026-02-20
  • 医用臭氧发生装置
    医用臭氧发生装置_山东建钢医疗科技有限公司_202511576761.6
    本发明公开了医用臭氧发生装置，涉及到医疗设备技术领域，包括臭氧发生单元、控制单元和臭氧发生电源，控制单元控制臭氧发生电源用于向臭氧发生单元供电，臭氧发生单元由外循环水冷单元、气室组件以及内循环水冷单元组成，外循环水冷单元用于外循环系统降温，...
    2026-02-20
  • 一种钠介导的硫化锂制备方法
    一种钠介导的硫化锂制备方法_兰州大学_202511493397.7
    本发明公开了一种钠介导的硫化锂制备方法，具体包括制备乙醇钠的溶液，将乙醇和钠反应后的产物溶于有机溶剂；将氯化锂加入溶液中混合反应，离心得到乙醇锂溶液；将硫化氢气体通入溶液中，收集沉淀产物煅烧即可得到硫化锂。本发明中的硫化锂制备条件温和，反应...
    2026-02-20
  • 一种通过层界面诱导强化制备高纯度硫化锂的工艺
    一种通过层界面诱导强化制备高纯度硫化锂的工艺_中南林业科技大学_202511794864.X
    本发明提供一种通过层界面诱导强化制备高纯度硫化锂的工艺，包括：将氯化锂和硫化钠溶于N‑甲基吡咯烷酮中，搅拌形成均一的浆料；将所得浆料泵入装有二硫化钼催化剂层状模块的固定床反应器中，反应，得到悬浊液；将悬浊液控温结晶，过滤分离，得到氯化钠晶体...
    2026-02-20
  • 一种高纯硫化锂的制备方法和高纯硫化锂
    一种高纯硫化锂的制备方法和高纯硫化锂_锦洋高新材料股份有限公司_202511350880.X
    为解决用高纯氢作为还原剂还原硫酸锂制备硫化锂的方法在大规模工业化生产时，存在副产物控制难、硫化锂纯度不够高的问题，本发明提出了一种高纯硫化锂的制备方法和高纯硫化锂。本发明采用一水合硫酸锂为主要原料，容易获取，价格便宜，同时一水合硫酸锂自身包...
    2026-02-20
  • 一种硒化铋氧化转化制备Bi3O2.5Se2的方法及所得Bi3O2.5Se2半导体材料的用途
    一种硒化铋氧化转化制备Bi3O2.5Se2的方法及所得Bi3O2.5Se2半导体材料的用途_南开大学_202511196186.7
    本发明公开一种硒化铋氧化转化制备Bi3O2.5Se2的方法及所得Bi3O2.5Se2半导体材料的用途，采用化学气相沉积技术，在特定含氧混合气氛反应，可将Bi2Se3粉末、纳米片、薄膜定向氧化为Bi3O2.5Se2粉末、纳米片、薄膜。化学气相...
    2026-02-20
  • 一种高缺陷态Fe3SxSe4-x的制备方法
    一种高缺陷态Fe3SxSe4-x的制备方法_南阳师范学院_202511538642.1
    本发明公开了一种高缺陷态Fe3SxSe4‑x的制备方法，包括：称取F‑MIL和Se/S混合粉，分别置于磁舟的两头；将磁舟置于管式炉中的石英管内，使F‑MIL在气流上游，Se/S混合粉在气流下游，确认密封性之后，通入高纯氩气，重复清洗石英管内...
    2026-02-20
  • 一种纳米硒溶胶、纳米硒叶面肥及其制备方法
    一种纳米硒溶胶、纳米硒叶面肥及其制备方法_焦作市佰役安生物工程有限公司_202511461438.4
    本发明涉及纳米材料制备领域及农业肥料领域，公开了一种纳米硒溶胶、纳米硒叶面肥及其制备方法，纳米硒溶胶中的硒溶度不低于20000 ppm，纳米硒溶胶中的硒颗粒表面包覆有稳定剂，稳定剂为海藻酸钠、羧甲基纤维素钠、聚乙烯吡咯烷酮中的至少一种。本发...
    2026-02-20
  • 制氮方法、制氮装置、冰箱和计算机可读存储介质
    制氮方法、制氮装置、冰箱和计算机可读存储介质_宁波方太厨具有限公司_202511129421.9
    本申请涉及一种制氮方法、制氮装置、冰箱和计算机可读存储介质，方法包括：在预设的第一制氮时间长度内，持续输出分子筛塔生成的氮气至目标舱室；根据分子筛塔的制氮能力，得到从第一制氮时间长度结束到目标舱室达到第一氮气浓度，所需的第二制氮时间长度；其...
    2026-02-20
  • 一种六八面体立方氮化硼颗粒及其制备方法
    一种六八面体立方氮化硼颗粒及其制备方法_开封贝斯科超硬材料有限公司_202511386654.7
    一种六八面体立方氮化硼颗粒的制备方法，所述的方法包括以下步骤：步骤1：混料，将复合触媒和六方氮化硼按照一定比例在行星式球磨机进行混料，混料时间2—4h，混料介质包括乙醇和丙酮；步骤2：烘干，在真空干燥箱内烘干；步骤3：压制成型，在自动四柱压...
    2026-02-20
  • 一种具有强压电效应的二维Fe掺杂C3N5纳米片的制备方法
    一种具有强压电效应的二维Fe掺杂C3N5纳米片的制备方法_广西大学_202511141691.1
    本发明公开了一种具有强压电效应的二维Fe掺杂C3N5纳米片的制备方法。该方法首先以NaCl为晶体模板与3‑氨基‑1, 2, 4‑三氮唑和FeCl3·6H2O溶于水中得到混合溶液；再将混合溶液经低温冷冻、冷冻干燥后进行球磨处理；再将球磨产物高...
    2026-02-20
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